台灣積體電路製造股份有限公司八廠 林思帆

 

1.參選類別

 

空氣污染防制專責人員


2.現職(參選時之職位)

 

工程師


3.個人工作內容摘要

1. 廠區無機酸檢洗滌塔、VOC廢氣防制設備、THC監控儀器穩定運轉,落實定期保養及設備維新

2. 定期進行操作許可參數視察,監督依許可內容操作並提升污染防制效率

3. 協助廠區空污排放量申報,空污費繳納及會同外部稽核

4. 協調實施突發事故之緊急應變措施。每年定期安排二次以上之大型演習 五級地震或防制設備故障

 

4.公司簡介

  台灣積體電路製造股份有限公司(以下簡稱台積電)提供專業的積體電路製造服務,在生產過程中須使用製程設備、矽晶片、化學品、氣體及水電能源,其日常運作管制不僅要符合相關環保、安全與衛生法令規定,並以國際相關規範為標竿。在此前提下,台積電之環保、安全與衛生目標為「預防污染,提高資源使用效率,成為永續發展之企業;預防意外事故,促進員工安全衛生及保護公司資產,營造安全舒適的工作環境」。為達成上述目標,台積電承諾持續改善,並做到:
  • 維護環境品質及確保員工安全與衛生,並提供相關教育訓練及資源,提高員工對環保、安全與衛生的認知。
  • 遵守相關環保、安全與衛生法令,在致力符合先進國際相關環保、安全與衛生標準的同時,引進國際環保、安全與衛生之新觀念與相關技術,以提高管理效能。
  • 製程研發設備及新物料使用前,經過環保、安全與衛生評估,以降低風險。

 

5.具體事蹟

(以個人貢獻為主,在專責類別上對公司及環境之事蹟,必須有量化或具體事證,所述內容應參照評選項目,包含:1.法規規定應執行業務辦理情形,2.污染改善措施、具體效益及對任職機構之貢獻)

1. 穩定運轉-落實空污專責人員應辦各項業務,確實執行操作管理及保養
  擔任台積電八廠空氣污染防制專責人員,期間內恪遵執掌,經歷環保主管機關數次稽查,皆符合國家空氣污染物排放標準,無任何受罰紀錄。設備各項參數,如洗滌塔循環水流量與pH、VOC去除效率、煙囪風量及系統運轉壓力等均符合法規操作條件,另設置即時監控系統可預知警報,並列入每日交接重點追蹤項目,詳細掌控空污防制設備運轉品質,達到異常預知功能,避免異常污染排放事件發生。
  除了上述即時監測資料,人員抄錶會於每日交接時一併以圖表方式進行確認檢視,落實每日設備巡檢。訂定空污防制設備保養項目及週期,透過廠務E化系統自動依排程產出表單,人員可簡單依循,確保設備保養如期實施、如實完成,使全廠設備妥善率維持99.5%。
  在空污設備操作許可變更維護申請的部分,2020及2021年廠區各新設了一套VOC處理設備及洗滌塔,本人偕同廠內相關環保管理單位,經審查與確認污染源種類及流向皆與現場相符合,依法進行污染源設置及操作許可證完成變更及新設。
2. THC 升級改善 - 改善環境與法規風險,煙囪增加不透光量測
  既有THC量測系統於RF戶外無空調,長時間運轉儀器及元件鏽蝕接觸不良故障,且棧房空間不足擴充,儀器數量不足採樣時間過短,恐有違反法規風險。此外煙囪風量計位於採樣平台(離地面>10m),人員日常維護保養會有爬高安全風險,早期設置的量測管路為塑材軟管,日曬老化破損會導致測值失真有違反法規風險,因此藉機會進行系統改善。
  另煙囪增加不透光率儀器對排放煙氣進行監測,如有異常可即時應變。
3. 綠色製造 - 主導廠區空污專案,處理設備運轉參數最佳化調整及老舊設備升級
  隨著社會業責任與環保意識逐年提升,本人主導廠區空污減量專案以「邁向淨零排放的決心」執行減量計畫。在處理設備部分,本人主導C/S 參數最佳化(水力薄膜安裝、pH 調整、潤濕因子提升、水質改善以及排水量提升),並於2021/10擴充1套酸排洗滌塔(50,000CMH),降低系統loading (72.4%, 123,000/170,000CMH),改善既有臥式洗滌塔停留時間0.7→0.9秒(法規0.5秒)。
  在VOC 處理設備方面,2020年新增一套VOC 處理系統(8D),降低運轉loading(90%→68.5%),改善既有燃燒爐熱交換器阻塞問題影響處理效率問題(VOC減量0.5 ton/Y)。2021年進行VOC 8A 燃燒爐翻新(熱交換管排鏽蝕, 熱交換間距調整28.5*28.5→38.1*34.3 mm, VOC 減量0.038 ton/Y),同時將其停產變頻器以及PLC一併更換,延長PM 週期(1週→6月),並解決停產無備品風險。2022年持續更新VOC 8C 燃燒爐(運轉>15年)及安裝轉輪高溫Seal(氣密提升)。
  除了持續針對廠內老舊空污設備進行改善及升級汰換外,也持續標竿學習300mm 廠區,評估成效減量方法於廠內之適用性。綜合上述處理設備改善方向,2022年目標全廠空污總排放量再減量29% (6.75 ton/Y→4.73 ton/Y)。
 
4. 洗滌塔供藥自動化 - 自動供藥取代人工運輸與灌充,避免洩漏及人員受傷風險

  自建廠以來,洗滌塔用藥(NaOH 與H2SO4)以人工使用堆高機經貨梯運送至6F洗滌塔區灌充,在搬運過程(1F 搭乘貨梯至6F)及人員灌充時藥液恐有洩漏風險,造成人員受傷影響系統穩定性。為改善作業環境,本人主動跨課協調與溝通,與水課專業同仁討論擬定管路配置及桶槽安裝空間,工程歷時將近8個月完成廠區洗滌塔自動化供藥系統,取代人工運輸與灌充,避免化學品洩漏及人員受傷風險。

5. 友善環境 - 空污硬體設備全面翻新

  台積電八廠已運轉超過20年,多數設備已老化鏽蝕,多數零件已停產斷料,除了影響系統運轉也影響了人員作業環境的安全。本人自2020年開始執行各項翻新計畫,並積極爭取預算以達再運轉30年的決心,其中包含煙囪/風管/設備本體除鏽翻新落實、設備(循環泵/洗滌塔風機)汰舊換新、閒置設備拆除空間有效運用、管路(洗滌塔排水管路動線規劃)重劃、友善工作環境(洗滌塔區域Dike 地面耐酸鹼epoxy 重整)等,皆為近年部門團隊改善的重點工作。

6. 廠區空污處理設施故障之應變計畫及緊急措施

  每年定期協同廠內緊急應變單位,進行大型演練(例如空氣防制設備故障、環保設備異常通報、五級地震、瓦斯減壓站火災),並製作相關教材及對新進人員辦理相關教育訓練,提升值班人員緊急應變處理之專業知識與環保通報觀念。