環保園地
台灣積體電路製造股份有限公司五廠 林志穎
1.參選類別：
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空氣污染防制專責人員 |
2.現職（參選時之職位）：
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資深工程師 |
3.個人工作內容摘要
1. 空污防治設備運轉操作及維護
2. 廠區排氣系統供應設計及擴充規劃
3. 空污申報
4. 空污防治設備持續改善
5. 參與專案計畫
4.公司簡介
台積公司業務主要為積體電路晶圓製造，秉持「誠信正直、承諾、創新、客戶夥伴關係」等核心價值，致力達成「環境永續發展」目標。策略是「持續推動綠色廠房、綠色製造與綠色供應鏈，並管控環保風險。追求能源與資源最佳使用效率，並積極投入減廢與污染防治。與外界攜手合作，共同降低環境風險」。
環境保護面之執行方針
1.遵守或超越國內外環保相關法規、標準與承諾。
2.關注全球氣候變遷趨勢議題評估風險與機會，執行有效的管控措施。
3.採取環境友善行動，持續提升能資源耗用等環保績效，並與 供應商和客戶共同建立半導體綠色
供 應鏈。
4.深化全體員工對環境保護的認知、責任承擔與文化塑造。
5.對外分享環保之知識與經驗，希望透過與產官學界及全體社會的合作，攜手因應氣候變遷的嚴
5.具體事蹟
(以個人貢獻為主，在專責類別上對公司及環境之事蹟，必須有量化或具體事證，所述內容應參照評選項目，包含：1.法規規定應執行業務辦理情形，2.污染改善措施、具體效益及對任職機構之貢獻)
(一 )法規規定應執行業務辦理情形
1. 釐訂污染防制 治 設施、改 善、清理計畫
廠務單位設置依各種管末 處 理 設備 (c entral scrubber 、 VOC 沸石轉輪、 clean vaccum ....)之相關維護與保養的作業指導書，依指導書規定確實執行各設備維護與保養，並依相關規定留下紀錄。
2.管理、維護污染防制 治 、處理設施之正常操作，與監督實施保養、維護、測試並作成相關紀錄
所有設備管理已納入電子管理系統（FAM )，系統會每日發出設備維護、保養與測 試通知，依檢查項目於系統回報，結果須經主管審核通過才能結案，異常部分會發出提醒，達到主動管理的目標。
3.辦理、審查有關 許可 或計 畫書申請
藉由 e 化系統設定，提醒定期辦理業務。 例許可證展延、定期檢測等
4.辦理各項法規規定之監測、檢測、運作紀錄等工作，並定期申報
4.1 e.化空污申報及管理系統 (TSM 系統為避免人工申報及管控所造成的疏失，建立 e 化空污申報及管理系統 (TSM 系統 進行交叉比對 ，如有申報資料有誤，電腦表格字變紅色，提醒人員達到預警的機制。空 污專責人員及工安環保部工程師確認 季申 報資 料，經由 e 化系統會同廠務 部、工安環保部主管核對無誤後簽核完成。核對中有發現錯誤，將該申報資料退回重審，系統自動退回上個步 驟，待主管核對無誤後 ( 系統才會到下個步驟。
4.2.辦理各項法規規定之監測、檢測、運作紀錄等工作，並定期申報現地監測的數據會回傳至廠務監控系統 (Facility Monit or and Control System, FMCS) FMCS)，廠務值班室為 24 小時有人員在場，能第一時間掌控廠區污染防治設備狀況， 系統設有預警機制，達第一警報值自 動 傳 簡訊 至廠務手機，達第二警報值 自動傳 簡訊至工安環保部手機。
5.擬定並協調突發事 故、緊急應變計畫及措施
廠內人員 定期 進行 管末處理設備 發生 異常之教育訓練VOC異常切換緊急應變演練已納入電子管理系統 (e PM) 未 來 將 擴 充 系 統 至 自動 化 F AM 管理 系 統 精進 通 知 功能， 更 有 效 確認 定期 通知 回 覆 效 率 ，達到 主動 管理 的目標。
6.其他法規規定事項辦理情形
6.1 空氣品質惡化緊急防制通報依據空氣品質惡化緊急防制通報規定制定空氣品質惡化緊急防制通報流程並進行通報，及辦理教育訓練。
6.2 內部稽核 ：定期安排環保稽核主題確保法規符合性及系統穩定度
6.3 參與外部單位訓練及演練:晶圓五 廠空污 專責人員設置皆為 N+1 ，確保專責人員職務與權責，每年皆參與 竹科管理局及新竹縣環保局舉辦法規說明、 節能減碳說明等會議 。
(二 污染改善措施、具體效益及對任職機構之貢獻
1.已採 行污染改善措施之困難度、技術創新性、完整性
1.1節能減碳改善措施
1.1.1central scrubber 煙囪分流
空氣污染防制設備皆須要利用煙囪將廢氣排放至大氣，當防制設備後端有共管或共煙囪因紊流等因素容易使背壓升高，而造成的能源損耗也隨之增加；全球 暖化，溫室效應加劇的時期，在相同使用條件下，有效降低能源的使用，是有助於 CO 2 的排放趨緩，經評估新增煙囪使空氣污染防治設備使用各別煙囪；可節省 30.5 萬元 年電費， 10 萬度 年，有效減少溫室氣體 CO 2 減量排放 55.8 公噸 年，相當於 0.15 個大安森林
1.1.2 Cooling Tower 節能改善 冷卻水塔更新升級逆交流塔
既有橫流式水塔銹蝕散熱材結垢嚴重，有倒塌與散熱不足，影響冰機運轉風險，因此進行水塔全面翻新。原本型式橫流塔改為逆交流塔，由於熱交換的形式改善，提高運轉效率並降低風扇耗電。目前完成 1 台，可節省 6 萬元 年電費， 2 萬度 年，有效減少溫室氣體 CO 2 減量排放 10 公噸 年，相當於 0.03 個大安森林。
2.污染改善具體效益
2.1溫室效應
2.1.1溫室 效應氣體盤查
對抗氣候變遷與全球暖化，溫室氣體減量是重要 手段，盤查則可提供減量依據。經由盤查結果可以訂出減量目標與優先順序，讓後續的減量過程更有效率，並且可以藉以確認減量成果，越早進行越好。民國九十五年起，台灣半導體產業協會展開全體會員廠商溫室氣體排放量盤查專案，本人亦參與此項專案，負責廠務部分 相關資料收集分析及技術 支援，盤查部分包括揮發性有機排氣污染防治 設備、鍋 爐、緊急發電機、及廚房所使用之天然氣、液化石油氣、汽油及柴油等燃料，以及冰機設備等逸散性排放源。每年廠區之溫室氣體排放與減量資訊，皆取得符合 ISO 14064 1 標準的 第三 方 驗證，最後將結果申報給台灣半 導體產業協會及行政院環保署。盤查結果 20 19 年共排放約 1 7 2 萬公噸二氧化碳當量、 20 20 年共排放約 1 5 5 萬公噸二氧化碳當量，減少了相當於 4 3 .7 個大安森林公園
2.1.2 溫室效應氣體減量措施
台積公司對於溫室效應氣體減量 的對應減量策略，可概分為取代、製程最佳化及安 裝全氟化 物處理設備等三個步驟，公司制定出上述三項溫室效應氣體減量策略後，廠務配合相關實際執行部分如下：
1.以量測的方法取得實際之全氟化物排放係數，精 確的計算出全氟化物排放量。
2.製程最佳化，並且評估使用全氟 化物排放較低的氣體替代較高者，例如全氟丙烷及三氟
化氮替代四氟化碳、六氟乙烷等。
3.安 裝 有效之局部全氟化物處理設備，裝設於全氟化物排放量大的 8 吋晶圓生產設備。
五廠經上述改善及評估後，開始協助廠區安裝，期間如有使用全氟化物因機台 製程改變或新裝機，皆要求 加裝局部全氟化物處理設備， 統計 201 9 年及 20 20 年 已完成 5 台安裝，累計局部全氟化物處理減量績效 經轉 換 相 當 於 2.88 個大安森林公園 並 於 2 020 年 開 始
著手 規 劃 十 年 減 量 計 畫， 預計 2 030 年 含 氟 氣 體 減 量 全 廠 削減 率 大 於 85% 。
2.1 .3 晶圓五廠碳足跡盤查計畫
台積公司這幾年已陸續完成組織性碳盤查、碳揭露及晶圓的碳足跡盤查等部分，本人亦參與此項專案，負責廠務部分相關資料收集分析及技術支援 ，盤查部分包括廠務輔助原物料資料及廠商運輸里程計算，以及冰機 設備等逸散性排放源，並遵循「 PAS2050 」 與「 ISO
14067CD 」國 際碳足跡標準，經由驗證機構台灣立恩威驗證公司查證後，核發第三 方(third--party)獨立查證且為合理保證等級之聲明書。碳足跡計算結果排放總量為為298.741kg CO2e(原料階段到客戶大門階段)
3.於業務上之表現 如：作業管理、操作、維護及保養制度等之推動
3.1.1污染防治設施持續改善計畫
揮發性有機廢氣 VOC 0 2 處理設備熱交換器更新計 畫揮發性有機廢氣VOC 處理設備燃燒塔燃燒後的高溫廢氣具有較高之熱能，因此可在煙道氣之間裝置熱交換器以作為熱脫附及脫附後廢氣進行二次熱交換作為升溫使用，降低天然氣使用量，但因為脫附完的含高濃度有機廢氣會含有高沸點有機物，而在熱交換器內部形成結晶 或碳化成硬塊，造成熱交換器阻塞風量減少或 是熱交換效率降低而增加天然氣
使用量，如相同操作條件下則會影響處理效率降低；當此情形發生時，及 須進行熱交換器清理作業，可以使處理效率由 91% 提升至 95% 。以 VOC 02 為例，出口濃度可以由10~12ppm 降低至 3~4ppm ，有效減少 揮發性有機污染物的排放量約 1,800 公斤 年。
3.12 空污及煙流模擬改善運轉廠區 AMC 微污染
半導體廠房因土地空間的限制將煙囪設計於廠房的屋頂，當煙囪與 外氣空調箱 進氣口設計不良時 導致 污染物 被 MAU 吸入至廠房內， 形成 AMC 微污染 。 為 減少 MAU 進氣口受到 污染物的 影響， 利用 IC 放樣 發現冬天 東北季 風 時 進氣口 污染物的濃度 較高同時比較煙囪排放量 與 檢視 煙囪設計 發 現高度不足 導致短循環， 為了預測改善效率 應用計算流體力學 ( 軟體 Ansys FLUENT 用於工程輔助設計 根據模擬結果 與實際量測比 對後發現 當 煙囪高度 提升從 9.6 米 至 15 米 可以有效地降低煙囪排放之空氣污染物對進氣口的影響 達 31%
4.對任職機構之貢獻度
4.1 除鏽專 案：制定 污染防治區 鋼構除鏽進度、油漆工法再精進
半導體 廠 廠 務系統設計通常將空汙防制 設備及煙囪鋼構貓道設置於戶外經長年風吹雨淋鋼構已經生鏽有結構上的問題， 根據 SIS 05 5900 標準區分鏽蝕程度， 已固定工法除鏽油漆及更換熱浸鍍鋅,使設備能穩定運轉。
4.2 Central Scrubber 無感切換
以往C/S PM 時或是 年度比檢測時均須和 MF G 借 機切換 影響 FAB 產能 在風車出口加裝逆止風門降低風車 切換時所造成的 靜壓波動，如此一來不須再借機增加 wa f er moveou t 增加 工廠 運 轉 穩 定 性 。
4.3 新 積五 專 案 工地 空 汙防制 紀錄
新積五 專 案 建 立 工地安委會及管 理專案， 針對空汙進行控管塵土 防治進出車輛灑水等且環保局營建工程空氣污染稽查結果合格。