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1. |
含氨氮廢水之分流狀況 |
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2. |
減量措施、投資及額度 |
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(1) |
採行源頭減量措施(含氮原物料減量使用)說明：a.擴散製程機台recipe修改，降低NH4OH使用量：2.1%。b.廠務TMAH灌充流程優化及黃光製程機台flush/dummy quantity調整及減少filter更換頻率，降低TMAH使用量：0.5%。 |
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(2) |
採行管末處理措施(處理設備改善或新設)說明：a.新設TMAH廢水處理系統。 b.新設氨氮廢水處理系統。 |
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(3) |
其他技術或措施說明：a.利用機台排放之廢硫酸(含有5%HO2)，添加HCl去除廢硫酸中所含之H2O2後，資源再利用提供給氨氮廢水處理系統使用。 |
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(4) |
相關措施投資及額度：a.TMAH廢水處理系統，投資金額6,500萬元。b.廢硫酸處理系統，投資金額2,000萬元。 c.氨氮廢水處理系統，投資金額8,500萬元。 |
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3. |
減量前/後排放濃度、穩定度及成果
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(1) |
減量前/後廢(污)水氨氮排放濃度：依廠內定期季檢測資料，2013年8月氨氮削減前放流水氨氮濃度達296 ppm，削減後依2016年6月放流水檢測結果，本廠排放水氨氮濃度：26.4 ppm。
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(2) |
符合納管標準、穩定度及成果：於評選期間氨氮放流水外排濃度皆無超標紀錄。 |
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(3) |
計算削減後單為產品含氮原料用量：氨氮削減計畫執行後，以2016年與2015年原物料資料相比，TMAH原物料耗量下降0.48%，氨水原物料耗量下降1.7%。 |
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4. |
相關設施查驗、管理及運作情形
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(1) |
設施操作、維護機制及狀況：a.氨氮廢水處理系統：主要處理單元為活性碳塔(去除雙氧水)、RO膜(提濃)及MD膜(轉化氨氣成硫酸銨)，系統為全自動操作，並以線上儀器即時監控系統運轉狀況並每日製成報表確認系統狀況。 b.TMAH廢水處理系統：TMAH廢水處理系統主要處理單元為樹脂塔(吸附提濃)，系統亦全自動操作及每日產生報表掌握系統狀況。 |
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(2) |
是否設置即時監控設施或定期採樣檢測：本廠建置TMAH廢水處理系統及氨氮廢水處理系統均設置即時監控系統及放流水on-line監控儀器。 |
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(3) |
衍生廢棄物處理情形：a.氨氮廢水處理系統：氨氮廢水處理系統所產生的廢棄物為30%~35%之硫酸銨，處理方式為委外清運處理製成工業級之氨水及石膏循環利用。 b.TMAH廢水處理系統：TMAH廢水處理系統所衍生之廢棄物，主要將樹脂再生出的TMAX廢液清運回原物料工廠經純化、中和、提濃、電解方式後產生TMAH原物料及硫酸，其中TMAH供給電子廠使用，而硫酸則循環供給TMAH廢水處理系統樹脂再生使用。 |
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(4) |
環安人員執行績效：a.2015年竹科管理局園區安全衛生優良單位。 b.2015年環保署綠色採購績優企業。 c.2014年竹科管理局節水績優獎。 |
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5. |
特殊績效或卓越事蹟 |
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(1) |
2014年得到竹科管理局節水績優獎：其中新建氨氮廢水處理系統及TMAH處理系統每年平均節水量共：346,000M3/Year，提升廠區回收率3.5%。 |
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(2) |
2015年獲得全國團結圈雙龍圈銀塔獎：應用新技術去除廢硫酸中的雙氧水，進而應用在氨氮廢水處理系統，並大幅改善廢硫酸清運量79%(零清運)，達到廠區水系統硫酸自給自足。
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