環保園地
台灣積體電路製造股份有限公司二廠 楊賾翰
1.參選類別：
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廢水處理專責人員 |
2.現職（參選時之職位）：
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資深廠務工程師 |
3.個人工作內容摘要
- 廠區廢水處理系統統合管理
- 每月及半年定期申報檢核
- 環安衛演習規劃及執行
- 水系統設備持續改善
- 參與特殊汙染物專案計畫
4.公司簡介
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台積公司成立於民國七十六年，台積公司業務範圍主要為積體電路晶圓之專業製造。公司秉持「誠信正直、承諾、創新、客戶夥伴關係」等核心價值，致力於達成「安全零事故、環境永續發展」的目標，成為世界級環保、安全與衛生標竿企業。
為達成目標，台積公司的策略是：
針對水資源部分，台積公司視成為世界級水資源管理的標竿企業為目標。推廣節水以降低單位產出的用水量，將放流水依水質分級收集，具回收價值的廢水經處理後回收再使用於製程或改供至其他次級用途，達到大幅降低水資源消耗的目的。
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5.具體事蹟
(以個人貢獻為主，在專責類別上對公司及環境之事蹟，必須有量化或具體事證，所述內容應參照評選項目，包含：1.法規規定應執行業務辦理情形，2.污染改善措施、具體效益及對任職機構之貢獻)
1.法規面業務執行
1.1定期申報：檢核每月水平衡圖申報及半年EMS定期申報。
1.2主動管理：安排廢水量及化學品每日抄表並建立trend chart，並依2*sigma標準設置管制上下限，若數據超越管制界線，可提早查察異常。
1.3源頭管制 - 原物料日常追蹤：
原物料日常追蹤：特定原物料(ex. 氨水/氫氧化四甲基銨/…etc)，依2*sigma標準設置管制上下限，變異超越管制界線，制定相對應處理應變措施
1.4管末監測 - 增加納管廢水水質監控：
設置廢水氨氮與氫氧化四甲基銨(TMAH)即時監控系統，針對放流水水質即時管制與制定緊急應變程序。
1.5演習訓練：
定期安排環安衛緊急應變演習，邀請各部門工程師及承攬商共同參加，提高廠內對於各種環境保護意外的應變能力，確保能防止化學品或廢水外排造成環境污染，同時呼應台積公司管控環安衛風險的策略。
1.6預防保養：
利用e-PM系統管控和排程，確實執行各項水汙染防治措施規範設備之定期保養工作，確保各系統運轉正常，而放流水水質穩定。
2.節水主動事蹟：
2-1. SWR(Slurry Wastewater Reclaim)回收系統
運用薄膜(Ultra Filter)科技，將CMP廢水中之懸浮物顆粒分離，加上 RO 逆滲透過濾等操作單元進行回收處理；處理後之回收水(RCW, Reuse City Water)可供給次級用水或超純水(UPW)系統之前處理單元。估計可節省約33,000噸/年的廠內次級用水量。
2-2. 氨氮系統RO提濃系統
運用RO技術，將廠內含氨廢水進一步濃縮，高濃度之RO濃縮水以氨氮處理系統處理後排放，而較為乾淨的RO產水可回收至次級用水，估計可節省約30,000噸/年的廠內次級用水量。
3.節約化學品主動事蹟：
3.1硫酸零外購專案
運用硫酸回收系統，將廠內廢硫酸再生成為工業級硫酸，供應給廢水中和系統調整pH值，以及氨氮處理系統的硫酸銨吸附使用，估計可節省約360,000kg/年的廠內硫酸使用量。
4.節電主動事蹟：
4.1純水中處理泵浦節能改善
F2&5純水中處理系統泵浦增設變頻器，並透過回流閥將多餘的流量降低，平衡中處理與後處理的總需求量，以達到節能效果，估計總共節省約611,773 kw/年。
5.污染防治主動事蹟-新管制標準改善
5.1設置TMAH處理系統
成功降低外排廢水TMAH濃度至12.2 mg/L。與長春化工合作設計樹酯吸附塔，以廠內吸附/廠外再生的運轉模式，達到去除廢水中TMAH，相關設備於2014/12/31正式啟用，以符合2015/01/01新放流水納管管制標準30mg/L。
5.2設置氨氮處理系統
成功將外排廢水氨氮濃度由55mg/L降低至20mg/L以下。利用MD膜硫酸銨吸附系統，達到去除廢水中氨氮，相關設備於2016/12/31正式啟用，以符合2017/01/01新放流水納管管制標準50mg/L。
5.3綠色製造
根據廠區附近逕流水水質標準為基準，著手規劃多項計畫，以改善廠內廢水處理系統，進一步降低放流汙水的汙染物濃度，未來達到零排汙的目標。