新唐科技股份有限公司 余承澤先生

 

1.參選類別

 

廢水處理專責人員

2.現職(參選時之職位)

 

高級工程師

3.個人工作內容摘要

 1.釐訂廢水收集、處理及改善,處理設施故障之應變計畫及緊急措施並監督與執行。
2.水污染防治措施計畫申請,並依規定期間填具檢測申報資料。
3.廢水操作管理事項,包含廢水處理設施重要參數、用電度量、化學藥品使用量等。
4.監督廵檢廢水收集、處理、排放管線,若有異常狀況依規定通報主管機關。
5.負責廠務工程部節能減廢及環保相關業務。
 


4.公司簡介

 

旺宏電子為全球非揮發性記憶體整合元件領導廠商,提供跨越廣泛規格及容量的ROM唯讀記憶體、NOR型快閃記憶體以及NAND型快閃記憶體解決方案。旺宏電子晶圓一廠於西元1990年成立後,主要生產非揮發性記憶體及邏輯性產品。西元1999年起經自有產品新唐科技於97年7月由華邦電子分割,同時承襲往於電腦邏輯IC相關產品領域深耕多年的經驗,以深厚的設計實力取得客戶之信任。
本公司堅守遵守法規的原則並以成為永續發展之綠色企業為目標,我們立志成為產業領導者不可或缺的夥伴,在產業供應鏈中承擔世界級公司應有的企業社會責任,致力落實“為環境及安全衛生而設計(Design for ESH)” 之理念,透過製程最佳化的預防手段及員工參與,持續改善以降低人員失能傷害率、水電資源與關鍵化學原物料使用量、以及主要污染物排放量。
 


5.具體事蹟

(以個人貢獻為主,在專責類別上對公司及環境之事蹟,必須有量化或具體事證,所述內容應參照評選項目,包含:1.法規規定應執行業務辦理情形,2.污染改善措施、具體效益及對任職機構之貢獻)

一、法規規定應執行業務辦理情形

1.釐訂污染防制(治)設施、改善、清理計畫

(1) 105年到職之後,即建立定期查詢廢水污染防治相關法規變動狀況與實際運作情形機制,主動檢討及監督相關管理規定,共完成9次規範更新,以確保實際運作之管理規範符合法令及管理相關要求。

(2)到職後,檢視法規要求內容、廢水處理設備及現行管理制度,提出氨氮處理、設備維護改善及管理及安全等改善規劃,依重要性訂出逐步改善之三年計畫,獲得主管支持並爭取到廠長的同意逐步進行改善。

2.管理、維護污染防制(治)、處理設施之正常操作,與監督實施保養、維護、測試並作成相關紀錄

(1)檢視現有廢水處理設施維護保養、校正、測試之實際需求與水污染防治許可內容,重新建立各項保養檢查紀錄表單,並主導將水污染防制設備納入本公司全面生產保養管理系統(TPM),透過系統定期監控以確保水污染防制設施運作情況。

 

      3. 辦理、審查有關許可或計畫書申請

(1)定期檢視現場實際狀況與水污染防治許可內容,視狀況進行現場調整或操作許可變更及異動申請。

(2)建立變更管理機制,當接收到法規修訂或工廠內部變更計畫,進行水污染防治許可內容確認,如有需要並適時提出操作許可變更或異動。

(3)105年任專責人員後完成水污染防治許可展延申請及異動申請1次。

      4.辦理各項法規規定之監測、檢測、運作紀錄等工作,並定期申報

(1)每日早上檢查抄表紀錄表單及監測系統顯示資料,確認是否有異常,如有異常即於部門之晨會提出,即時進行改善與後續預防措施。

(2)每半年製作「事業廢污水納入專用下水道系統申報表」,並如期完成申報,皆無延誤。

(3) 依「水污染防治措施及檢測申報管理辦法」要求頻率及檢測項目,每半年進廢水定檢及申報,皆無延誤。

     5.擬定並協調突發事故、緊急應變計畫及措施

(1)主導規劃將水污染防治系統異常緊急應變程序列入規範,建立標準化的緊急應變程序,每年並辦理水污染防治設備緊急應變演練,並監督其落實執行,以熟習各種異常狀況之處理。

(2)觀察到化學品大量洩漏事件,往往因廢水處理應變能力不足,而導致嚴重的環境污染。因此呈報廠長同意自106年下半年起,要求廠內大型化學品洩漏演練應將廢水緊急處理納入演練範疇之內,透過各種狀況之演練及沙盤推演,強化當異常發生時緊急應變處理程序,通報機制及狀況反應,於真實狀況發生時,減少人員損傷及財產損失,避免對環境或科管局污水處理廠之衝擊。

(2)105年至107年共完成辦理7場次的緊急應變演練。

         6.其他法規規定事項辦理情形

(1)每月如期彙整廢水相關資料提供用水平衡圖申報,皆無延誤。

(2)每月檢視增、修訂法規內容,105年7月~107年6月,共完成15筆水污染防治相關法規查驗,確保符合法規要求。

二、污染改善措施、具體效益及對任職機構之貢獻

       1.符合法規,無違法任何水污染相關法規

從106年擔任水污染防治專責人員起迄今,克盡管理職責,遵守法規要求,本廠無受到主管機關相關處分紀錄。

       2.加強水污染防治設備的監控管理

                  (1)監控硬體改善

A.增設二組氨氮濃度監測設施,提高控制效率

105年提案編列費用,並於106年完成硬體設置,完成放流槽及含氟廢水緩衝槽監控點設置,運用在自動控制及放流濃度監控,大幅提高監督及控制效率,減少人員操作之負荷並有效監督放流濃度。

B.增設放流水溫度監測設施,即時監控放流水溫度。

105年提案並完成放流水溫度監控設施,即時監控放流水溫,若有異常能及時發現有效追查發生原因。

C.檢討舊有監控設施提案更新,於106年共完成蹼輪式流量計更換為電磁式流量計及廢水處理設施機械電錶更換為數位型電錶,確保能提供正確的資訊。

      D.鑑於值班人員無法全天候在監控室監看,提案完成設置中控警報無線傳輸系統,當水污染防治設備統發生警報時可藉由隨身的PAD直接了解警報狀況即時處理,大幅減輕值班人員壓力並提升效率。

                    (2)現場監控參數設定與調整,以確保符合許可之要求

檢討監控設施之操作參數警報界限,參考許可範圍與實際運轉正常範圍,重新予以設定,確保超出正常運轉範圍時,即早警報與處理。

(3)水污染防治設備異常警報管理

每日晨會,均針對前一日水污染設備異常警報,追蹤現場處置狀況及檢討處理方式與處理結果,探討異常再發生之預防措施,並建檔記錄,以利後續若有類似異常狀況再發,有效參考處理方式。

                     (4)強化監測設備校正管理

針對pH、氟離子等重要Sensor每週委外進行校正一次;為避免廠商異動影響校正品質,訂定各Sensor校正標準作業流程,對新的廠商進行訓練,每次完成校正後並進行比對測試以確保儀器的可靠性。

         3.研究改善確保氨氮排放符合納管標準

                   (1)整合製程及排放現況進行分析

排放狀況分析:

歷史資料氨氮排放濃度起伏,呈不規則變化,平均濃度小於30mg/L; 但峰值仍有大於106年起第三階段納管標準50 mg/L的風險,仍有須要在105/12/31前進行改善。

製程來源分析:

製程使用氨氮之來源為清洗及蝕刻使用之氨水、蝕刻液(BOE10:1、BOE50:1、BOE130:1:7)及顯影液(TMAH);使用量換算成氨氮排放之比率為50:40:10。

排放方式可以分為噴洗類型的持續排放及酸槽方式之批次排放,依特性分別排入酸鹼中和及含氟廢水處理系統。兩股廢水分析結果,主要造成氨氮排放濃度起伏的是排入氟系廢水處理系統的BOE廢液,而其中高濃度部分佔總氨氮量的39.4%,排放量約6噸/月。

       (2)針對問題進行改善,大幅減少氨氮處理設備設置費用

分析結果顯示,氨氮平均排放濃度低於30mg/L,若將影響濃度起伏最大批次排放的高濃度BOE收集後以定流量持續排放,將可確保排放濃度小於50 mg/L,並省下數千萬以上的氨氮處理設備的設置。因此分階段完成下列改善,確實控制放流水氨氮濃度。 

  1.    105年完成設備端設置暫存儲槽以人工控制方式定流量將高濃度BOE分散排入廢水處理系統。
  2. 105年購入二套氨氮分析監控設備,分別監測氟系廢水及放流水濃度,並於106年完成自動控制設備設置,依監控值控制高濃度之廢水排入量,減少人工控制之負擔並避免可能之疏漏。

                   (3)因應長期節水目標,提早完成改善規劃

長期節水目標為相對基準年降低40%,屆時氨氮排放濃度將升高,107年完成高濃度氨氮(含氟)回收設施設置及合格回收廠商合約簽訂。

           4.建立廢水來源管理制度

半導體產業的特性是設備機台多,收集廢水的管線複雜,而且製程變化快,為了確保各製程排放管道排入適當的廢水處理設備或是回收再利用,避免無法適當處理或有效再利用,因此建立廢水來源管理制度,以確實掌握廢水來源及變動。

        (1)重新清查排放管道掌握來源並檢討去處合理性

105年組成管路清查小組,現場實地進行廢水來源管線清查,並建立管路圖,確實掌握廢水來源與去處現況,確保廢水均經過適當之處理。

(2)連接製程變更管理制度(PCRB),確認所有製程變動對污染防制之影響

本公司原本就建立嚴謹的製程管理平台(Process Change Review Board)以確實掌握製程變動對產品的影響。為確實掌握所有製程變動,要求新增加環保相關會簽需求,以評估對污染防制可能的影響。並於106年透過此系統提早掌握製程變動的資訊,要求有機廢水進行現場回收委外處理,避免排入無有機處理能力之廢水廠。

5.重視安全,進行廢水廠實際作業風險檢討,完成相關改善

重視操作人員安全,接任廢水專責人員時即會同相關作業人員進行評估,105年提出改善計畫,獲得廠長同意,逐年完成改善。

       (1)完成廢水桶槽護欄增設處理槽護欄修改工程,降低墜落風險

評估人員有可能進行檢視維修之中和桶槽(NT1及NT2)之上方,增設護欄,並於106年上半年完工,降低人員墜落風險。

        (2)完成化學品灌充區域防護加強工程,降低化學品噴濺風險

廢水化學品灌充區之馬達及閥件區域,馬達運轉時為正壓,若發生管線閥件破損,容易因壓力將化學品噴出造成人員噴濺風險,於106年第三季完成該區包覆改善工程,降低人員化學品噴濺風險。

                   (3) 廢水戶外區鏽蝕改善及EMT管更換工程

觀察廢水區樓梯及平台已有多處鏽蝕,有危害人員安全之風險;EMT管多處破損恐影響系統運轉,規劃維修更新,並於105年完成。

6.用心探討解決污染防治設備問題,降低成本提升效率

(1)廢水系統馬達加裝變頻器,有效調整水量並節省電費16萬元/年。

中和處理系統及氟處理系統之馬達為全頻運轉,遇到廠內批次大量排出廢液時,易造成瞬間高負荷及過量加藥的狀況,106年完成變頻器裝設,以頻率降載方式運轉減緩瞬間負荷狀況,並能節電達 8萬度/年。

(2)細心檢視廢水來源,檢討回收的可行性,減少廢水排放量約3.7萬噸/年。

105年排水管線清查同時檢討廢水及回收水特性及合理性,於106年完成下列改善,減少廢水排放量約3.7萬噸/年,省水約4萬噸/年,減少水費含納管處理約80萬元噸/年。

  1. 發現Clean及BOE及HPO各同型機台QDR槽之回收水量落差大,有檢討的空間;實際了解每個機台設定的秒數120~300秒,沒有一定的標準,協助製程單位量測及進行最佳參數設定,減少廢水排放量約80噸/天。
  2. 查出同型機台QDR槽有回收,但BOE-9未回收,協同製程人員確認後,重新配管予以回收再利用,減少廢水排放量約32噸/天。
  3. 從來源判斷來自WAT震盪槽排水水質應有回收可行性,量測後符合回收要求,重新配管予以回收再利用,減少廢水排放量約14噸/天。