國家科學及技術委員會新竹科學園區管理局

環保園地

首頁環保園地優良環境保護專責人員 103年度

台灣積體電路製造股份有限公司三廠蔡岳奇先生

103年度新竹科學工業園區優良環境保護專責人員

廢水處理專責人員

台灣積體電路製造股份有限公司三廠蔡岳奇先生

現職

台灣積體電路製造股份有限公司三廠工程師

個人工作內容摘要

．	執行廢水系統之運作管理及處理設備維護
．	執行定期申報及配合執行政府相關環境政策
．	廠務部水處理課年度專案執行(計畫, 節水, 節能, 節省預算及人員訓練等)
．	配合公司進行節水觀念的宣導及節水技術的推廣
．	水污染防治之相關法令、規範宣導
．	水處理外包廠商人員管理

公司簡介

　　台積公司為全球首創專業積體電路製造服務的公司，為全球半導體客戶提供卓越的製程技術，依客戶之訂單與其提供之產品設計，從事製造與銷售積體電路以及其他晶圓半導體裝置；並提供產品之封裝與測試服務、光罩製作、積體電路之電腦輔助設計技術服務等。其中晶圓三廠為台積公司成立最早且產能最大的八吋半導體晶圓製造廠。

　　台積公司環保政策係以「致力於達成環境永續發展，成為世界級之環保標竿企業」為目標，以「遵守法規承諾、強化資源利用及污染預防、管控環境風險、深植環境保護文化、建構綠色供應鏈、善盡企業社會責任」作為策略，期望對環境保護與工業安全貢獻心力並能發揮拋磚引玉的效果。

　　晶圓三廠除了致力於先進製程技術的研發與生產之外，更恪守公司環保政策，惟因既有設備運轉已邁入耗損期，如何節水節能減碳與環境保護工作更是一大挑戰，故從既有設施改良到創新之環保措施，晶圓三廠均全力完成不同期程訂定廠區節水節能減碳目標。除了做好自身的環境保護、積極提升所有同仁的環保觀念外，透過產業交流與技術分享於同、異業，也領導供應商共同建立綠色供應鏈，期能為環保節能盡一份心力。

具體事蹟

1.	於101年到任職即具備廢水專責人員證照，確實依規定執行廢水系統之運作管理及申報實務，克盡專責人員職責，無違反任何環保法規。
2.	確實執行每年污染物洩漏演練，提高現場人員防護器材使用熟練度及災害應變能力。
3.	執行污染防治措施的管理及維護，如每年的地下水監測井的清洗及地下水檢測作業、每半年原廢水採樣作業。
4.	協助執行台積公司晶圓三廠產品供應鏈水足跡平台建構計畫，後續將推廣至台積公司各廠。
5.	訂定廠區雨水溝遮斷閥管理準則，規劃及執行化學品洩漏污染雨水下水道的各種預防作業、重新檢視防溢堤並進行規劃改善，避免高雄後勁溪環境污染事件重演。
6.	污泥乾燥系統的設立，於2013年完成台積三廠污泥乾燥機的設立，有效使污泥重量減低33%以上，含水率降低20%(50%→30~25%)，後續將與煉鐵廠配合回收氟化鈣污泥作為螢石之用途，達零廢棄願景。
7.	經由回收系統維護及污染源的改善，進而維持全廠回收率於80%以上：
	(1)	化學機械研磨水回收系統：因製程端更動，原回收系統移除使廢液將排至廢水廠處理，會廢水廠用藥量增加及回收率下降。故2014 Q2新設化學機械研磨廢水回收系統回收200m3 Oxide Slurry 廢水，並一併回收先前未回收之300m3 Metal Slurry 廢水。
	(2)	酸槽機台廢水回收：回收製程超音波震盪槽排水，每日回收300m3廢水至純水使用
	(3)	冷卻水塔供應水源改善：清查並與設備配合調整製程參數，使冷卻水塔供應水源TOC由100ppm下降至20ppm，降低冷卻水塔排水量每日1200m3(水質不佳，冷卻水塔不收則將排至廢水)
8.	水系統化學品減量：
	(1)	晶背研磨廢水系統：因調整晶背研磨廢水薄膜回收系統運轉參數，並重新進行Jar test，使混凝劑(PAC)用量由12,000 kg/day減少為6,000 kg/day。
	(2)	超純水系統再生藥劑減量：分析超純水水質，減少陽離子樹脂塔再生時HCl用量，減少每次再生廢水4.5m3，全月約減少630m3再生廢水。
	(3)	污泥處理系統：進行Jar test發現BG、HF沉降槽已添加調理劑，2014年5月進行調整，故取消污泥沉降槽之污泥調理劑，Polymer減量75%。

其他特殊事蹟

	1.	入圍2篇經濟部工業局「102年清潔生產暨環保技術研討會」論文，分別為廢氣與溫室氣體管理組及綠色技術與永續管理組。
	2.	協助台積公司晶圓三廠辦理「水再生利用技術研討會」。
	3.	協助台積公司晶圓三廠參加「102年行政院國家永續發展獎企業類選拔活動」獲獎。
	4.	協助台積公司晶圓三廠參加「103年遠見雜誌企業社會責任獎環境保護組」榮獲首獎。