國家科學及技術委員會新竹科學園區管理局

固定空氣污染源許可申請資料填表Ｑ＆Ａ

項次

表格類別

常見問題

問題解答

許可申請檢核表
(表AP-Z)

1.	申請或公告類別勾選錯誤。

1.	應針對實際情形勾選申請種類。

專責人員未簽名。

1.	應依108年10月20日修正之「固定污染源設置操作及燃料使用許可證申請文件」重新下載，並有專責人員之簽名。

3.	申請資料列表未填寫頁次。

1.	申請資料列表中各表單之頁次，應參照檢附之污染防制措施說明書填寫對應之頁次。

4.	污染物排放總量錯誤。

1.	應總計該次申請案之各項空氣污染物之總排放量後填寫申報。

基本資料表
(表C)

1.	防制區級數漏填或錯誤。

1.	本局所轄園區範圍內PM_2.5防制區級數僅位於桃園市、新竹市、苗栗縣者為三級，其餘各項污染物皆為二級。另109年12月29日修正公告新增臭氧(O₃)八小時亦皆屬三級，惟目前許可申請表格尚無該欄位。

資本額填寫錯誤。

1.	應填寫公司登記證明文件登載之登記資本額。

製程資料表
(表AP-M)

1.	物料名稱、代碼錯誤。

1.	原物料代碼應參照環境部公佈之代碼表填寫，儘量不以「其他」之物料代碼填寫，應以較相符之代碼為優先。
2.	原料申請名稱應參照供應商提供之物質安全資料表(SDS)登載資料之填寫，避免以溶劑、清潔劑、混氣等過度簡化或無法辨識物種之名稱命名；原料為混合物時，若檢附之SDS未完整揭露原料含量(各項最大值合計達100%)或所含成分，則請廠商回覆是否含有會產出空氣污染物之物種。

2.	清潔擦拭用之有機溶劑是否要填報?

1.	請將擦拭用之有機溶劑原料使用量登載於許可內，若為同一原料同時使用於製程及擦拭用途，須另新增代碼000099填報擦拭用量。

3.	審查意見所述疑似漏報原料為何?

依環境部固定源資料檢核原則：「半導體」260012、260001製程需包含下列任一物料：二氯甲烷180216、氯仿180217、丁酮(MEK)180259、甲苯180196、乙苯180197、丙酮180258、苯180195、二甲苯180198、4-甲基-2-戊酮、乙酸丁酯180296、乙酸180293、三氯乙烷180219、異丙醇180273、四甲基胺、氯醛、四氯乙烯180223、乙基苯、丁基苯、光阻液190184、去光阻液、光阻稀釋液、丁酸乙酯、三氯甲烷180217、甲醇180266、二氯乙烯180220、三氯乙烯180222、顯影劑190153、蝕刻液/劑、三氟三氯乙烷、PGMEA、2-EEA、三氯矽烷、環氧樹脂180701、乙醇180267、銀膠。

「光電製程」270001、260039製程需包含下列任一物料：二氯甲烷180216、氯仿180217、丁酮(MEK)180259、甲苯180196、乙苯180197、丙酮180258、苯180195、二甲苯180198、4-甲基-2-戊酮、乙酸丁酯180296、乙酸180293、三氯乙烷180219、異丙醇180273、四甲基胺、氯醛、四氯乙烯180223、乙基苯、丁基苯、光阻液190184、去光阻液、光阻稀釋液、丁酸乙酯、三氯甲烷180217、甲醇180266、二氯乙烯180220、三氯乙烯180222、顯影劑190153、氫氟酸180034、蝕刻液/劑、三氟三氯乙烷、PGMEA、2-EEA。

製程說明表
(表AP-M續一)

製程廢氣流向不清。

1.	製程流程圖中物料流向應以實線表示，廢氣流向則以虛線表示；酸鹼、VOCs等不同類別之污染物建議以不同虛線標示。
2.	廢棄流向應將流向中所有支流管線繪入，並註明清楚其用途。
3.	防制設備以熱焚化方式處理VOCs廢氣，因故障時設備及管內殘氣有產生爆炸疑慮，基於安全考量可同意設有緊急排放用管線。
4.	管路列為備用流向，廢氣流向上應具備與原流向上相同處理效能之防制設施。

2.	設有緊急排放管道及備用防制設備之規定

1.	設有「緊急管道及閥件、進排氣口、備用防制設備」，須繪入廢氣流向圖啟用及通報機制。通報機制。

3.	廢氣流向圖與表AP-G不符。

1.	廢氣流向應與表AP-G之污染源、防制設備、排放管道等欄位一致。

污染防制／計畫目標
(表AP-G)

1.	污染源排放貢獻量錯誤。

1.	應以污染源為分配比例之計算依據填寫。

排放標準填寫錯誤。

1.	屬各行業標準規範者，應填寫其適用之排放標準，另依固定污染源空氣污染物排放標準第七條計算者(應於表AP-P(續一)詳列計算)，如有加嚴標準者，應載明。

3.	污染物排放量填寫錯誤。

1.	屬備用之排放管道，為不重複計算，不需填寫其排放量。

4.	防制設備總處理效率錯誤。

1.	應與表AP-A登載效率一致，屬多管道出口者，應計算出口端總排放量與入口端排放量之比值，方不致高估處理效率。

製程設備資料表
(表AP-E)

1.	物料用量與表AP-M不符。

1.	各設備用量之加總與製程總用量應一致。

2.	物料用量時間單位錯誤。

1.	本表配合環境部資料庫，應填寫小時用量。

3.	原物料使用量、產品產量等鍵入數值為0.001或更小者。

1.	應更換為較小之計量單位(如原公噸改為公斤、原公斤改為公克…等)鍵入。

4.	審查意見所述疑似漏報汙染源為何?

1.	依環境部固定源資料檢核原則，「半導體」260012、260001製程需具有：電子作業區包含氧化區、擴散區、研磨區、黃光區、切割區、離子植入區(9030、9031、9032、9033、9034、9035)、蝕刻區(9040~41)、化學沉積(9027)、薄膜區。
2.	「光電製程」270001、260039製程需具有：電子作業區包含氧化區、擴散區、研磨區、黃光區、切割區、離子植入區(9030、9031、9032、9033、9034、9035)、化學沉積(9027)、薄膜區。

防制設備資料表
(表AP-A)

1.	吸附設備濾材更換頻率計算與功能計算書不符。

1.	應依設備功能計算書計算更換頻率及濾材更換量。

2.	未符合半導體/光電行業別標準規定應設監測設施。

1.	屬個別行業法規標準規範者，應依規定設置相關監測設施。

3.	監測儀表未依規定設置。

1.	重要操作條件應設置儀表並每日紀錄。

操作條件不合理。

1.	應以實際操作並能確保防制設備妥善運作之狀況填寫申報操作範圍值，而非以大於或小於表示。

5.	防制設備\處理效率如何填報?

1.	未檢測效率者，於「設計值」及「實際值」欄皆以設計值填寫，並檢附佐證資料。
2.	檢測有效率者，「設計值」欄同上，「實際值」欄則以實際值填寫，並檢附檢測報告或連續監測數據(可檢附多次資料以填報最小效率)。

排放管道基本資料表
(表AP-P)

1.	採樣孔距上下游擾流距離未符合8D/2D。

1.	應向所在地環保局申請煙道1.5D/0.5D設置核備函。
2.	屬新設製程排放管道採1.5D/0.5D設置者，依建築技術規則規定具電梯廠房其排放管道高度需達9公尺以上。

2.	採樣孔及設施資料錯誤。

1.	應設置採樣孔、安全採樣平台、扶梯及足供使用之水電設施及其他必要器材符合採樣設施規範之規定。

排放管道設置狀況資料表(表AP-P續一)

1.	半導體業排放標準為規定全廠總排放量之計算問題。

1.	查「半導體製造業空氣污染管制及排放標準」第４條相關規定，係規範工廠總排放量或排放削減率，並無管道排放標準之規定。因此其管道高度之計算需先依固定源標準第7條規定計算其排放管道之排放標準，再依第8條規定計算新污染源排放管道高度。

檢驗測定機構基本資料表
(表AP-AT3)

檢測方法錯誤。

1.	檢測方法應為環境部環檢所公告最新之NIEA檢測方法(可於環境部國家環境研究院網站查詢)。

排放管道檢測資料表
(表AT-AT5)

採樣流程錯誤。

1.	屬各行業標準規範者，應符合其特定之採樣次數及時間限值。

檢測點數錯誤。

1.	內徑大於56公分，採樣孔距上下游擾流區距離未符合8D/2D者，採樣點數應為20點。

許可管理

1.	固定污染源設置與操作許可證記載之內容是否得有容許差值？

1.	依許可管理辦法第22條第1項規定，許可證記載之各項許可條件、數值，得有10%之容許差值，但仍應符合相關管制及排放標準。

2.	因經營公司更換應否重新申請設置或操作許可證？

公私場所組織變更或經營主體移轉，包刮因合併、收購、分割、繼承或贈與等，涉及公私場所名稱、負責人姓名、身分證明文件字號及住址等基本資料之變動，且污染源未經任何改裝、加裝、變造或拆卸等行為，仍設置於同一位置且污染源之運作條件亦無任何變動者，公私場所應檢附繼受前手改善義務及違規紀錄切結書，向許可審核機關提出固定污染源設置操作及燃料使用許可證之換發，不需重新申請許可證。

3.	防制設備操作條件瞬間值未落在許可證條件範圍內是否違法？

1.	固定污染源應依許可證書上核定污染源及相關設備操作條件操作以維持設備正常運轉，其實際操作值應不得超出許可證記載之許可數值10％之容許差值。

排放量推估

1.	若所提空氣污染物排放檢測結果低於方法偵測極限以下，應如何推估其年許可排放量？

1.	倘公私場所所提固定污染源空氣污染物排放檢測結果係低於方法偵測極限以下，則顯示受測污染源空氣污染物排放濃度遠低於標準規定之排放限值以下，至無法量測到之程度，排放至大氣之空氣污染物數量極為輕微，對空氣品質影響並不大，可忽略不計算，故核發該固定污染源操作許可證時，其年許可排放量得依檢測結果註明亦應在方法偵測極限以下作為規範。

檢測作業

1.	固定污染源緊急排放管道是否可免進行許可檢測？

1.	依空污法第22條第2項規定，經指定公告應設置連續自動監測設施以外之污染源，主管機關認為有必要時得命其自行或委託檢驗測定機構檢驗測定。上述檢驗測定一般係指污染源於製程、設備正常操作情形下所為之檢測作業，故固定污染源於辦理操作許可時，針對污染源異常或故障期間方有污染排放之緊急排放管道得准免進行檢測。

2.	同一公私場所有數個相同之固定污染源，其排放管道口徑不一致，申請操作許可或定期實施之污染源檢測是否可擇一進行檢測？

過去半導體及光電業多有依「固定污染源自行或委託檢測及申報管理辦法」第5條規定予以擇一定數量進行定檢者，近來經環境部檢討發現，因其排放管道採效率標準或全廠總排放量標準，若僅擇部分管道進行檢測，其結果無法代表其餘未受測之管道皆符合法令要求，故不應擇一定數量進行檢測。惟公私場所仍得提具替代方案(如：監測各排放管道風量及操作條件確認一致性)報經所在地環保局同意後，據以施行。

若確有擇一定數量進行檢測之需求，請於許可申請前先行向所在地環保局發文申請認可（過去未取得環保局核備函者亦需重新申請），以免影響後續許可審查核發期程。未能取得核備函者，需依規定全數進行檢測。

3.	試車期間進行檢測作業前是否應發文通知審核機關？

1.	依許可管理辦法第53條，應於檢測前7日通知審核機關。
2.	依環境部110年3月19日環署空字第1101036184號函(竹科管理局已於110年3月23日竹環字第1100008134號函轉知園區各事業)，廠商自110年7月1日起得以「固定污染源管理資訊系統」申報固定污染源檢測日，故無需發文通知，但仍請同步電話或e-mail通知審查人員。

4.	檢測報告應檢具幾份送審?

1.	同上，廠商自110年7月1日起應以「固定污染源管理資訊系統」申報固定污染源檢測結果，請於送資料前完成系統提報作業。
2.	因系統中檢測報告僅有鍵入摘要資料，故送審時請提供完整檢測報告電子檔(pdf檔)，檔案得以e-mail、雲端空間、隨身碟等方式提供。

展延申請

1.	展延申請時，應於一年內檢測之項目為哪些?

1.	申請展延操作許可證時，依原許可證「貳、許可條件、三、空氣污染物之排放種類、年許可排放量及其推估依據、收集排放方式規定」所載估算依據為「　檢測」者，應檢具一年內最近一次之檢測報告。

２.	展延申請檢測能否擇一檢測？

1.	展延前檢測目的在驗證符合原核定排放量，不適用擇一檢測規定。

許可填表Q & A

固定空氣污染源許可申請資料填表Ｑ＆Ａ