環保園地
環球晶圓股份有限公司中德分公司
｜廢棄物資源再利用及循環經濟措施與成果｜持續性循環經濟管理作為｜
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環球晶圓股份有限公司於2011年10月18日由中美矽晶製品股份有限公司的半導體部門分割成立，主要經營項目為矽晶材料的製造與銷售，產品有磊晶晶圓、拋光晶圓、浸蝕晶圓、超薄晶圓及深擴散晶圓等，應用範圍從整流器到電源管理及驅動IC、車用功率與感測器IC、資通訊、MEMS等利基型市場。公司產品包括退火片(Annealed Wafer)、磊晶(EPI Wafer)、拋光片(Polished Wafer)等，為全球前三大矽晶圓供貨商，國內最大3~12吋半導體矽晶圓材料商。
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環球晶圓股份有限公司中德分公司在最近幾年政府積極推動「循環經濟」的政策方針－減少用完就丟的經濟發展原則而改讓投入的資源可持續回復和循環再生故遵循母公司「環球晶圓股份有限公司」所秉持循環經濟的理念、落實並促進資源循環利用，體認到經濟與科技發展必須與環境保護兩者共同兼顧的重要性，認為作為企業都具有責任來分攤對於生產行為對於環境造成衝擊的責任。
該公司之廢棄物管理重視從源頭減量的原則首先透過製程改善、源頭減量的方式減少廢棄物之產出，其次於廠內進行回收再使用、再利用，減少新購入的原物料量，同時也減少廢棄物之產生，最後才是委託外部處理單位進行處理(包含：焚化、掩埋、物理處理等方式)，目前各廠區之所有廢棄物均採行委託清運公司進行處理，並無跨國(境外)處理的情形。近三年該公司所配合的廢棄物廠商未發現有重大違規事件，且針對廢棄物廠商法令符合度建立審核機制提供是否雙方合作判定，於各廠區亦無發生重大洩漏事件及有害事業廢棄物境外處理。
該公司以積極作為落實促進資源循環利用，除了基本的環保3R：「減量(Reduse)」、「再利用(Reuse)」、「循環再造(Recycle)」之外，更為注重第4個R「能源回收利用(Redesign)」的概念，使該公司的產品與製程在設計的階段就能夠預先規劃使其具有減量、再使用、再利用等循環效果，同時並持續提升污染防治技術能力，並要求自我管制，以期達到環境永續之願景。
該公司透過ISO 14001環境管理系統之推動，透過管理系統的持續運作，導入產品生命週期之觀念，減少原物料耗用及廢棄物產出，盡可能地使用再生原物料(包含：矽原料、切削液、出貨晶舟盒等項目)，來達成永續經營、環境保護的目標。
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1.廢棄物資源再利用措施與成果
2.循環經濟措施與成果
透過ISO 14001環境管理系統及ISO 50001能源管理系統之推動，環球晶圓股份有限公司導入產品生命週期之概念，從製程及產品設計階段的改善開始做起，以真正做到源頭原物料之減量，配合環境與能源管理系統的執行，每年訂定廠內節能、節約物料使用之目標，亦持續實施水回收、減廢之措施，以珍惜資源降低資源使用量，同時達到降低溫室氣體排放之成效。
關於環境永續發展方面，環球晶圓股份有限公司秉持「負責任的成長」為原則，在提升獲利的同時亦努力達到經濟發展與自然環境之間的平衡追求產品技術創新時亦經由製程改善的方式以降低廢棄物產出。藉由推動綠色產品與綠色生產的運行，從製程設計與技術提升減少原物料之耗用不僅能從源頭減少污染源的排放，亦能夠降低整體營運成本、減少資源消耗及降低對環境之衝擊。除此之外，也透過監督工廠內量測重大能源使用設備，並提出行動改善計畫(節能方案)，定期追蹤改善措施的績效；另於內部宣導節約能源，以達到持續改善、節能減碳及電力使用減量及能源效率提升。
(1) 長晶矽原料回收再利用
該公司於長晶晶體生長完成之後，切割雜質較高的晶棒頭部以及尾部未成形的晶棒區域，集中後依照廠內規範的流程進行檢驗。若品質結果符合廠內生產規格者，經過清洗處理以回爐料的使用方式再度投入長晶爐進行生產，不但可節省公司購買原物料的額外成本，亦可減少整體廢棄物之產出。
(2) 12吋出貨晶舟盒回收再利用
廠內經由客戶端回收出貨晶舟盒，委託認證合格之外包商進行出貨晶舟盒品質確認與外觀挑選，合格者進行清洗，經過清洗之出貨晶舟盒經過品質確認符合客戶要求後，即可進行出貨晶舟盒回收再利用，重覆使用可有效減少新購買量及廢棄物產出。
(3) 12吋切削油再利用系統
12吋晶片使用過後之切削油經過品質確認之後提供給生產8吋晶片的機台使用，減少廢棄物產出及減少購買原物料本，每年減少廢油泥產出量約為1,022噸。
(4) 廠內研磨漿料離心回收製程
將已用過的漿料投入離心回收機之中，離心回收機內有備有兩個離心轉子，離心機利用向心加速度使物體因密度不同的原理將液體與固體分離，而兩個不同的離心設定不同向心速度，從此達到製程所需的液體與固體，留下後重新製作成切割機需要的漿料，此方式可降低新油與新研磨粉的使用量，每年減少廢油泥的產出量為278噸。
(5) 廠內12吋邊拋漿料回收再利用系統
利用高低差重力排放的原理，將12吋邊拋使用過的研磨漿料排放至廠務端回收系統內，再藉由回收漿料系統不斷的循環過濾的原理，將12吋邊拋回收漿料內的雜質過濾，再與12吋邊拋新鮮漿料混合。
混合之後取樣確認此混合漿料的pH值與比重是否在製程所要求的規範內，若確認無誤後，此混合漿料會透過回收漿料系統供應至8吋邊拋機台使用。
(6) 出貨棧板箱Hybox包裝盒回收再利用流程
針對出貨至客戶端之棧板箱Hybox包裝盒，進行回收再利用，可有效減少廢棄物產出及減少新品購入費用。
(7) 鑽石線切割冷卻水內循環製程
原本製程中所使用的切削用冷卻水是從廠務系統端供應之後使用直接排放至廢水廠進行廢水處理後改為將水存於機台端Tank並使用機台內循環的方式重複使用。其重複使用的改善原理為每次切割所使用Tank所加入的150L冷卻水重覆在機台中循環多次切割晶棒減少水的使用，製程結束後將Tank中的水排空再添加新的150L水繼續生產。此方式將原本用水量從40噸/天降到0.675噸/天。
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遵循環球晶圓股份有限公司之規範與展現良好的企業社會責任，並且落實減量及循環經濟之目標、策略及短中長程規劃，依照目標任務分成短程(1至2年)、中程(3至5年)、長程(6至10年)三種階段性目標。規劃公司營運生產過程中可以做到改善的污染減排、能資源節用、妥善處理廢棄物等目標及執行項目，訂定相關策略及監督管理機制(其中包含年度、執行內容、期程及預期目標)、KPI指標及執行內容(如節水、節電、減碳、廢棄物減量、再利用率、污染物削減率或排放總量等)，落實持續改善，以降低產品及營運過程對環境的影響。
依據集團事業活動及產品所產生之環境衝擊與風險，所訂定環保目標、執行期程與相關說明內容如下表所示。
1.節能
(1) 將長晶爐底部所使用的保溫材由最初單層結構修改成雙層結構，以減少底部熱能散失，109年節省電量1,318,750KWh、減少碳排671.3公噸CO2e、經濟效益節省金額達3,296,873元。
(2) 將長晶爐底部保溫材上方蓋板由半片式碳纖壓合材料改為全罩式的硬質石墨板，以有效減少底部熱能散失，109年節省電量190,349KWh、減少碳排96.9公噸CO2e、經濟效益節省金額達475,872元。
(3) 將長晶爐側邊保溫材材料進行變更，由長碳纖壓合材料改為短碳纖繞曲材料，經由變更後可有效減少側邊熱能散失，109年節省電量275,533KWh、減少碳排140.2公噸CO2e、經濟效益節省金額達643,831元。上述共節電1,784,632KWh、減少碳排908.4公噸CO2e、經濟效益節省金額達4,416,576元。
2.節水
廢水廠污泥機濾布清洗改用回收水重複使用、SCR系統改用回收水、冷卻水塔配置為回收水管路，上述共節水27,330公噸。