世界先進積體電路股份有限公司晶圓二廠
|公司簡介|資源及廢棄物主要來源掌握|廢棄物減量及循環經濟具體措施與成果|持續廢棄物減量及循環經濟管理規劃|
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世界先進積體電路股份有限公司(簡稱「世界先進」)於民國八十三年十二月五日在新竹科學園區設立。自成立以來,我們在製程技術及生產效能上不斷精進,並持續提供最具成本效益的完整解決方案及高附加價值的服務予客戶,成為「特殊積體電路製造服務」的領導廠商。世界先進目前擁有三座八吋晶圓廠,2017年平均月產能約十九萬五仟片晶圓。
本公司在顯示器相關驅動IC,電源管理IC和分離式功率元件的營運已見績效,為分散產品及市場集中度,降低營運風險,並且,同時往高毛利的市場耕耘,除既有的高壓類比、BCD、超高壓製程外,本公司持續加速感測元件、指紋辨識IC、高功率電源管理IC和嵌入式記憶體平台等計畫的執行,以因應節能減碳時代的來臨,及滿足車用電子和物聯網市場需求,相信未來都將有助於公司營運的推升。此外引進更多IDM客戶群,提高國外客戶比重的計畫也將持續進行,希望藉由深化客戶長期夥伴關係以確保特殊晶圓代工的領導地位,並成為高壓及功率半導體製程全球晶圓代工的領導廠商之一。
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1.是否完整掌握資源及廢棄物(以製程產生為主)之種類及數量
世界先進晶圓二廠之廢棄物主要可分為四種,第一種為原物料使用後所產生之廢棄物,此類廢棄物所占之比例最高,如廢硫酸、廢溶劑等使用後所產生之廢液。第二種乃處理原物料所產生之廢液後而產生之廢棄物,如廠內使用大量氫氟酸進行蝕刻製程,產生之氫氟酸廢液經由廢水系統處理後所產生之氟化鈣污泥。第三種則為員工生活時所產生的廢棄物,如廢飲料空瓶及廢玻璃瓶等。第四種則為維持設備功能所產生之廢棄物,如廢活性碳及廢日光燈等廢棄物。
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1.總體效益量化說明
依據105至106年廢棄物資料進行統計,目前廠內廢棄物種類主要以氟化鈣污泥、廢硫酸、廢溶劑為大宗,占全廠廢棄物總量81 %。上述廢棄物種類現均已實施再利用,如污泥主要是交由水泥廠作為水泥之礦化劑,另外,自106年8月後開始交給再利用廠商製作成螢石。廢硫酸則是再製為稀硫酸或濃硫酸產品給其它廠商使用,功用如作為pH值調整藥品。部分廢溶劑經由處理廠蒸餾後重新製成產品販賣,部分則作為處理廠之焚化輔助燃料。
其它廢棄物分類中,除部分有害事業廢棄物(如含砷廢棄物)及部分一般事業廢棄物(如非有害集塵灰、部分廢塑膠混合物、部分廢紙混合物及廢布/濾心等)無法回收外,其餘皆經再利用途徑進行回收(如廢離子交換樹脂可再生重複使用)。
由上述內容可得知,廠內廢棄物以氟化鈣污泥、廢硫酸、廢溶劑為大宗,因此每年廠內皆會針對這些廢棄物進行減量措施,經廠內努力,104年至106年氟化鈣污泥、廢硫酸及廢溶劑等主要廢棄物之單位晶圓片數產出量有逐漸下降之趨勢。
圖1 單位晶圓片數之主要廢棄物產出量(kg/片)
2.廢棄物減量及資源循環措施
(1)節省研磨液用量專案:藉由調整研磨液流量,降低廢液產生量,並同時降低Polymer使用量及污泥產生量,可有效降低氟化鈣污泥之產出。
(2)化學品源頭減量專案:提列機台使用化學品源頭減量措施,藉由機台參數最佳化,降低化學品使用量或更換頻率,以達到減少化學品使用同時降低後端廢水氨氮、TMAH濃度,更可減少廢水處理成本。
(3)廠區照明節能改善案(LED)專案:重新評選照明燈管,逐步汰換,延長燈管使用期限並節省耗電量。
(4)鹼性化學濾網延長更換時間專案:2B MAU鹼性化學濾網延長更換時間以減少廢棄物:化學濾網更換頻率原為每年更換一次,改以化學濾網效率檢測效率<40 %,作為更換的標準,以減少廢棄物產出。
(5)機台耗材減量專案:CDE Quartz tube減量及延長控片(C/W)回收使用次數,節省使用量。
(6)廠內自主維修專案:損壞之零件可送至維修中心進行評估,若修理完成則可減少廢棄物量並減少成本。
3.循環經濟推動成果
(1)冰水系統節能工程專案:冷卻水塔可自動調整最佳出水溫度及冰水系統運轉最佳化。
(2)熱泵節能工程專案:藉由熱泵將熱能回收再利用,供應至現場使用,降低天然氣使用量。
(3)再生電腦希望工程專案:藉由重新組裝、硬碟資料清除、軟體及作業系統灌充,捐贈至國內外之非營利組織、學校成立電腦教室、數位學習中心、課輔等,協助弱勢兒童、青年學子、婦女、銀髮及身障人士學習電腦課程,提供數位學習機會及提升數位能力,使其生活得以改善,發揮社會公益,縮短數位落差,並同時疼惜我們所居住的地球。
(4)綠色採購專案:購買有環保標章之低環境衝擊產品,進而鼓勵綠色產品的生產及使用,帶動綠色消費風氣,達到環境保護的效益。
(5)雨水回收系統專案:因應公司環保政策,減少水源使用是必要的,且水已不再是取之不歇的資源,缺水載水的事時有所聞,所以節約用水的推動已是必然的趨勢。
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自104年開始,世界先進晶圓二廠訂定10年目標,訂定114年KPI,主要廢棄物之單位晶圓片數產出量下降比例達25 %以上。為達到企業永續發展目標,世界先進於107年導入物質流成本分析(MFCA),對於原物料、能源之使用、流向、廢棄等數據以產品製造過程重新檢視,並找到物質損失熱點,衍生管理方針,使原物料與能源之使用效率提升,以符合環境永續之效益。
目前廠內產出之主要廢棄物為氟化鈣污泥、廢硫酸、廢溶劑等項目,因此廠內定期召開cost down追蹤會議時亦會針對這些廢棄物進行一連串的減量。106年主要廢棄物之單位晶圓片數產量皆有明顯之降低。未來世界先進會持續針對廢棄物進行減量,以達到設定之廢棄物減量KPI目標,對於廠內而言,原物料購買費用及廢棄物處理費亦可有效降低。