羅門哈斯亞太研磨材料股份有限公司(美商杜邦竹南廠)
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羅門哈斯亞太研磨材料股份有限公司,為美商杜邦(DuPont)成員企業,本廠位於臺灣竹南科學園區,主要產品為CMP研磨墊及研磨液。
化學機械研磨(CMP)為近年來IC製程中成長最快,最受重視的一項技術。其製程目的即是要把晶圓(wafer)表面磨平,CMP可去除在製程中發生在晶片表面的凹凸不平。半導體元件中分層的增加與導線材料多樣性增長,皆能使應用持續成長。
本廠自2006年成立以來,研發、業務及工廠團隊緊密合作,提供在地化客戶支援,快速回應客戶需求,且以高度靈活性因應未來技術、新產品與製程的發展,提供了整個亞太地區的工程與技術支援。
因應電子產品輕薄短小的需求我們所提出的CMP 技術,對於目前平板電腦、行動電話和其他電子設備走向輕薄短小的趨勢,展示出卓著的貢獻。
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1.是否完整掌握資源及廢棄物(以製程產生為主)之種類及數量
本廠產生的廢棄物以製程產生為主,包含廢塑膠混合物、非有害有機廢液或廢溶液、廢潤滑油等,本廠善盡企業社會責任,完整掌握資源及廢棄物之種類及數量,以確保廢棄物受到妥善處理,且過程中不致汙染環境,以達到資源使用效率最大化及環境衝擊最小化二大目標。
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1.總體效益量化說明
(1)減量及資源循環再利用情形、數量及比例
本廠以符合環保法規、不造成環境汙染為最高宗旨,除來自總部的規章、政策外,針對空氣汙染、廢水、事業廢棄物、毒性化學物質等項目本廠皆備有完整的管理計畫,落實企業永續責任。
(2)整體效益量化說明
本廠透過能資源管理、製程原物料減量、污染防治等三大面向達到循環經濟及廢棄物減量之目的。
2.廢棄物減量及資源循環措施
(1)原物料A減量
原物料A為環保署認定的毒性有害事業廢棄物,本廠為因應總公司之環保政策及呼應國際對環保議題的重視,主動針對此一物質的處理做改善,將使用率提高,減少廢棄物的產生,降低對環境的危害。為增加桶裝原物料的使用量,本廠採取了增加吸管的長度以及使桶身傾斜放置兩個措施,此一改善每年約可為本廠節省約新台幣一千萬餘元,最重要的是,降低了廢棄物對環境造成的負擔。
(2)毒性事業廢棄物減量
因本廠產能日益提高,連帶影響廢棄物量以及清運處理費用,且增加環境負擔,為改善此一情形,本廠將原物料B手套箱改為自動漏料系統,此系統可大幅減少毒性事業廢棄物的產生,且實際降低清運處理費用支出,每年約可減少4.4噸的毒性事業廢棄物產生。
(3)推動水資源節用措施
本廠透過設置雨水回收設備、設置製程回收水處理系統、設置CEDI濃縮廢水回收系統、設置JW空調導水鋪面等措施推動水資源節用,每年約可減少21,000噸用水量。
(4)與供應鏈共同尋求減量成果
A.原物料上架裏膜作業減省改善
原物料上架前,貨物會使用塑膠膜裹膜機做裹膜作業之後上架,以防止原物料傾倒掉落。經過同仁的改善專案,改以可重複使用的粘扣帶取代塑膠膜,每年為公司在原材料耗用節省、廢棄物處理費用以及人工成本部份可每年約節省新台幣四十萬元。
B.紙類包材節省
藉由同仁運用『六個標準差』的專案改善理論,儲運部同仁陸續提出各項的紙類包材回收再利用專案,包括瓦楞紙板、蜂巢紙板、角紙等等。每年同樣為公司在原材料耗用節省、廢棄物處理費用以及人工成本部份每年約節省新台幣四十八萬元。
3.循環經濟推動成果
(1)NMP廢水回收再利用
為推動製程廢水減量,本廠藉由清洗機管路改善、加裝過濾系統以及優化製程條件等措施,讓NMP清洗用水從一次性排放改善為可使用十次以減少清洗廢水的產生量,效益驚人。
4.設備、設施投資及操作效能改善情形
(1)落葉堆肥區
垃圾回收部分,除落實垃圾分類外,本廠特別設置落葉堆肥區,等落葉腐熟後,使用於景觀植栽。落葉堆肥區每年約可回收900公斤的落葉量,每年9至11月,每日可產出約8公斤的肥料,其餘每月約2公斤,因此在啟用落葉堆肥區後,本廠就不再使用化學肥料,除省下一筆開銷,也落實環境友善的理念。
(2)JW防災空調導水舖面
本廠為新竹科學園區第一家採用JW空調導水鋪面之事業單位。『JW防災空調導水舖面施工法』是以海綿城市為構想,以永續發展的理念,所發明出的施工法,利用混凝土與空調導水管打造出地表的毛細孔,接著再由碎石層分散承重,讓雨水能夠滲透與過濾,等到第三層地底吸收雨水後,便能涵養地底的生態系統,地底宛如是一座小水庫,供給本廠的用水。
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杜邦(DuPont)為國際百年企業,本廠始終遵循來自總部的可持續發展目標,且不以此為滿足。以2019年為例,杜邦總部要求廢棄物減量減少5%,經本廠決議,自行提高目標至減量10%,目前已擬定相關減量措施並開始執行,展現出深耕臺灣這片土地,建造永續未來的決心。