台灣積體電路製造股份有限公司十二廠六期
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台積公司民國七十六年在新竹科學園區成立,是全球第一家專業積體電路製造服務公司。身為業界的創始者與領導者,台積公司是全球規模最大專業積體電路製造公司,提供業界最先進的製程技術。製造生產過程需使用的能源、化學品及氣體,廠內所有運作皆符合相關環保、安全與衛生法令規定,並以國際相關規範為標竿。公司秉持「誠信正直、承諾、創新、客戶夥伴關係」等核心價值,致力於達成「安全零事故、環境永續發展」的目標,為達成目標,台積公司的策略是「遵守法規承諾、促進安全健康、強化資源利用及污染預防、管控環安衛風險、深植環安衛文化、建構綠色供應鏈、善盡企業社會責任」。公司承諾持續改善並做到:
1.遵守或超越國際環保、安全與衛生相關之法規、標準與承諾。
2.建構安全的工作環境,預防職業傷害與疾病,維護員工身心健康。
3.強化綠色設計與綠色製造、提供綠色產品及服務、興建綠色廠房,致力於改善地球環境。
4.關注全球性環保、安全與衛生議題,評估其風險並執行有效的管控措施。
5.深化全體員工對環保安全衛生的認知、責任承擔與文化塑造。
6.建構綠色供應鏈,經由分享經驗與合作改善,共同提升環保、安全與衛生績效。
7.加強與各利害相關者之溝通,主動揭露相關資訊與經驗,促進產業界安全衛生與地球環境的良性改變。
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1.是否完整掌握資源及廢棄物(以製程產生為主)之種類及數量
台積公司成立專責單位統籌廢棄物再利用及清除處理。主要目的為藉由統一單位規劃整合台積公司廢棄物資源。為了達到資源永續利用的目標,台積公司對於廢棄物的管理優先性為:(一)製程減廢、(二)廠內再使用,以及(三)廠外再利用,最後才是處理或處置。十二廠六期本著如此管理模式,生產最初,新材料就先完成評估過末端廢棄物處理方式,落實廢棄物分類收集,已達廢棄物充分資源化回收再利用。
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1.總體效益量化說明
廢棄物減量與資源再利用,一直是本廠全體員工不遺餘力持續推動的活動。首要為原物料的循環再利用,如晶片、空桶等原物料材料重複使用、廠內廢棄物推廣自行再利用,除了省下大量原物料購買成本外,更能達到資源循環再利用目的,減少有限物料取用資源。
106年執行至今廢棄物減量如廢硫酸自廠處理2,500噸/年、廢硫酸銅自廠處理250噸/年、晶片包材重複使用13,963噸/年、空桶廠商回收再使用11,204噸/年…等,整體效益達新台幣1,182,601 (千元)。
2.廢棄物減量及資源循環措施
(1)採行措施說明及目標設定
對於原物料的使用,十二廠六期一向秉持最小化的原則,盡可能減少原物料的使用,除節省生產成本外更可以減少廢棄物的產生量,兼顧環保經濟雙贏的目的。公司成立了廢棄物專責單位,定期檢討全廠區廢棄物減量績效。對內,原物料使用參數不斷調整達到最適化與最少化要求。對外,則與供應商共同合作研發原物料使用量最小化與無害化之使用原料。
(2)組織架構及運作情形
台積公司將廢棄物轉視為有價值的資源,為達到資源永續利用之目的,在可行技術及經濟成本為基礎下,對於廢棄物的管理,首先著重於製程減廢與污染預防,持續減少廢棄物的產生量。優先考量再使用,依序為物質再生利用、能源回收。台積公司所有單位共同齊心努力,包括的研發、製造、廠務、工安環保與廢棄物管理等單位都參與持續改善方案並做出貢獻。
103年為使廢棄物管理更具成效,特別成立廢棄物管理工作小組,小組成立目的直指廢棄物減量、與廠商研發新的廢棄物回收技術,更完善的廢棄物廠奢管理。由資材處、企業環保處、廠務處主管共同領導。訂定工作目標,定期開會審視各單位執行減廢進度。
十二廠六期環境保護管理組織由廠長負責,下轄工安環保部門,負責落實公司環保政策、辦理廠區教育訓練、協助各部門執行日常環境保護相關業務。工廠轄區內相關部門需鑑別其硬體設施及日常作業的環境風險(空水廢毒)、擬訂各項管理方案並提出年度環境保護管理目標。廠長除了每月主持廠區環安衛委員會議外,也主持廠區年度審查會議,確保能達到持續改善環境的目標。
3.循環經濟推動成果
(1)廢硫酸廠內再利用
十二廠六期於106年初正式啟用廠內廢硫酸廠自行處理設施,將廢硫酸中雙氧水經與鹽酸反應去除後,所得之再生硫酸得以使用於廠內氨氮去除系統,減少工業硫酸外購,使廢硫酸得以在廠內循環使用。不僅減少原先需委外處理硫酸廢液,也節省需外購的工業級硫酸。106-107年共減少5000噸硫酸廢液委外處理,也減少需外購的工業級硫酸。效益預估約新台幣2800萬元。
(2)硫酸銨除水提濃再精進
十二廠六期透過透氣膜技術,將廢水中的氨氮與製程使用後的廢硫酸再生成為硫酸銨液。有鑑於資源化後的硫酸銨液含水率高達75%,且後續再利用製程需耗費能源除水結晶,十二廠六期透過測試、調整處理系統操作參數,找出最佳化條件,運用迴流技術提高薄膜水測之濃度,使其反覆吸收氨氮,進而提高硫酸銨濃度由25% 至33%。。106年至今經過提濃精進技術,再減少300餘噸硫酸銨廢液委外處理,效益約新台幣100餘萬元。
(3)「液」中求「銅」 - 硫酸銅廢液再生系統
106年十二廠六期建置廠內銅廢液電解還原系統,以提煉硫酸銅廢液中銅離子成再生銅管,取代硫酸銅廢液委外處理,將原先需委外處理廢硫酸銅在廠內轉化成紅銅,再生製成為紅銅。106-107年共減少408噸硫酸銅廢液委外處理,並回收產製約12噸的紅銅金屬回收,整體效益達新台幣1900萬元。
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1.未來是否訂有明確減量及循環經濟目標並設為KPI
台積公司未來仍將持續擴充產能,以因應全球半導體需求。雖然能源、水資源密集度績效已經達到全球半導體業的頂尖水平,但公司仍將持續減少單位產品所需要的各種能資源,提高效率,降低環境衝擊。並依氣候變遷、水資源管理、綠色產品、污染預防、環境管理系統及綠色觀念推廣活動等,持續不斷的改善。以達到源頭減廢或廢棄物減廢目標。
十二廠六期廠配合台積公司廢棄物減量目標,擬定晶圓十二廠六期減廢目標。減廢目標:民國109年每單位產品產出之廢棄物量較107年減少5% - 10%。
2.所訂目標及KPI是否符合管制需求及具挑戰性
如需達成109年減量目標5% - 10%,源頭減量與廢棄物減量約需575- 1150噸的年產量。
3.所訂減量措施是否具體可行且有效益
為使順利達成減量目標,採取減量措施計畫評估為,有害溶劑廠廠內蒸餾處理,氫氟酸與污泥廠內處理,化學容器廠內處理等措施。效益評估:若上述目標達成可以減少1100噸的廢棄物減量;預估節省處理費用約7500萬元。