合晶科技股份有限公司園區分公司
|廢棄物資源再利用及循環經濟措施與成果|持續性循環經濟管理作為|
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合晶科技成立於1997年,創始團隊來自美國矽谷及國內半導體產業,歷經超過20年的耕耘,該公司已名列世界第六大半導體矽晶圓製造商,擁有六座先進的半導體矽晶圓製造廠,廠房面積超過12萬平方公尺,全球員工總數將近兩千人。2007年,更榮獲富比士雜誌 (Forbes Asia) 評選為2007年亞洲區「Best Under a Billion」企業之一。隨著IC朝向極小化及省電化,合晶科技產品已廣泛用於製造車用功率元件、輕電與重電電源管理元件、資通訊元件、MEMS元件之上。所生產之SOI (Silicon on Insulator),其領先業界的厚度與均勻度控制,能滿足先進傳感器對精準度與可靠性的嚴苛要求。
合晶科技致力於成為綠色製造的全球領導者,已將環境安全行為納入製造過程的每個步驟。每年持續推展水資源管理及碳管理,追求能源與資源最佳使用效率,並積極投入減廢與污染防治,透過回收及再利用,將傳統的清理與處置轉化為有效管理資源的觀念,落實永續生產。
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合晶科技產品銷售為矽晶圓,而製成流程分為長晶→成型→表處→拋光,四大流程,其中成型製程為切片:將晶棒切片成片狀。切片過程的好壞對晶片翹曲度有決定性的影響,合晶為了晶片品質使用先進的線切割機,生產翹曲度(Bow Warp)小的晶圓。
線切割機利用鋼線使用切削油潤滑加上切削粉之菱角摩擦帶動,進而將矽晶棒切片為矽晶圓片,此製程所產生之廢棄物為D-0903非有害油泥。
合晶科技利用切削油回收機進行回收再利用,回收效能達75%,2019年度因減少使用原物料量切削油+切削粉共計738.75公噸,相對非有害油泥減少產出約略738.75公噸,相對省下664萬元。
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1.廢棄物資源再利用措施與成果
2.循環經濟措施與成果
晶圓切片機所需之原物料於廠內設置IHI回收機,將切削油與切削粉回收後回製程切片機使用,減少原物料使用,降低資源損耗。
切削油回收機運用遠心分離機差速的原理,將原為wire-saw使用過後的slurry中的粉與油回收、並將雜質做分離,以達到切削粉及油最大利用率。並依據可靠及精準的儀器控制,調合出能符合wire-saw切削時所需的比重之slurry,使其降低油品及切削粉的使用成本。切削油回收機建置成本總投資金額約3千萬元,2019年切削油回收機節省成本達=11,633萬元。
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1.源頭管理
廠內設置IHI切削油回收機,內循環篩選油泥製程規格後再回製程使用,減少切削油+矽粉使用量。
2.廢棄物管理
進行廢棄物個案再利用處理廠評估申請案,將廢油泥進行蒸餾篩選出切削油、碳化矽,製成產品賣至相關產業使用。
3.產品追蹤管理
每年進行再利用/處理廠現場稽核,確認營運狀況,最終產品之銷售紀錄及妥善處理相關確認。
>特殊榮譽/貢獻