聯華電子股份有限公司Fab8A廠

聯華電子股份有限公司 Fab8A廠
 
公司簡介減碳策略與未來目標減碳措施與效益減碳教育宣導特殊事蹟及貢獻|
 
公司簡介

    聯電成立於1980年,是台灣第一家提供晶圓專工服務的公司,也是台灣第一家上市的半導體公司(1985年)。聯華電子提供先進製程與晶圓製造服務,生產各項主要應用產品之IC 晶片,完整的解決方案能讓晶片設計公司利用尖端製程的優勢,在競爭激烈的IC市場中脫穎而出,方案包括28奈米Poly-SiON技術、High-K/Metal Gate後閘極技術、混合信號/RFCMOS技術,以及其他涵蓋廣泛的特殊製程技術。聯電現共有十座晶圓廠,在台灣、日本、韓國、中國、新加坡、歐洲及美國均設有服務據點,以滿足全球客戶的需求。

  聯電做為全球半導體製造業領先者,不僅用心實踐自身的企業責任,亦致力於傳播永續力量,由企業本身、公司員工、員工家庭、到社會每個角落,促進永續社會的成形。聯電自2008年起連續五年列名於道瓊永續性指數(DJSI)之「世界指數(DJSI World)」及「亞太指數(DJSI-Asia Pacific)」成分股。DJSI是國際最具公信力的企業永續評比工具之一,此代表本公司在永續性績效已與全球領先企業同步,並獲得國際投資界認同。


 

減碳策略與未來目標

  為善盡企業責任配合改善全球暖化情形,聯電已擬定相關方針策略與目標。
1 企業社會責任承諾
  ► 2008年成立企業社會責任管理委員會,統籌永續發展方向和目標,及檢視目標達成率。
► 2010年世界地球日正式公告「聯電氣候變遷策略」與「減碳333」目標。
► 2013年世界地球日再度提出「369+能資源生產力提升計畫」,挑戰更艱鉅的目標。
2 氣候變遷政策
  ► 以「碳中和」為目標進行碳管理
► 成為全方位低碳解決方案提供者
► 以企業力量促進低碳經濟之發展
3 綠色工廠願景
  ► 於新廠房導入綠建築認證計畫
► 導入「清潔生產評估」系統
4 綠色供應鏈管理
  ► 持續推廣「聯華電子供應鏈企業社會責任共同宣言」
► 輔導台灣主要供應商進行溫室氣體盤查,建置廠商自主盤查能力
5 溫室氣體管理
  ► 實行「2010年~2012年溫室氣體排放減量目標之減碳333」
 →2012年PFC排放強度較2009年減少33%
 →2010年~2012年用電量減少33%
6 溫室氣體排放量盤查及查證
  ► 盤查及建立全公司溫室氣體排放量清冊,並通過查證
7 積極推動產品碳足跡盤查與查證
  ► 使用產品生命週期評估工具,估算產品碳足跡
8 碳溝通與碳排放揭露
  ► 致力國內外碳揭露溝通及交流
9 EU LCA to go Project
  ► 參與歐盟FP7科研架構計畫,共同研發六大產業之「簡化既有產品生命週期評估之方法與應用工具」
10 加強公司內相關環保教育訓練,提升同仁綠色意識

減碳措施與效益

  一、省電節能
 
(1) 能資源管理組織:聯電企業社會責任管理委員會下設「節能委員會」負責各廠區相關節能措施推動及管理。2010年成立UMC提升生產能源效率推動工作小組,並擬定「節約能源獎勵辦法」,定期召開會議推動能源替代、減量等措施。
(2) 能資源管理記錄:廠區建立節能控管文件記錄方式,有效掌握節能措施之推行進度及成效。
(3) 能資源設備檢查:廠區內相關設備除依法定自動檢查頻率及內容進行檢點外,另設置PM系統負責廠務所有設施之日常保養及檢點,以確保各檢查項目皆依計畫執行及控管。
(4) 節能統計:聯電2012年節能方案成效如下,約減少4,150公噸CO2e排放量,有些方案並非一蹴即成,為延續多年的推展成果。
方案類型 方案說明 節能績效
(kWh/年)
減碳績效
(公噸CO2e/年)
節電 UPS汰換24台 1,532,872 821
Central Scrubber清洗保養 372,300 200
HEI附屬冰機製程冷卻水改善 366,420 196
RO PUMP off 一台 360,000 193
FAB頂樓太陽能發電系統建置 328,480 176
廢除聯合值班中心 318,178 171
增設冷卻水塔風筒改善熱流短循環 240,305 129
AUPS-57(由其他UPS取代)及BUPS-24減量 129,600 69
原3DIC部分機台停用 100,800 54
3DIC照明改善 79,998 43
原3DIC GOWN FFU OFF 20台,A/S停用 30,679 16
S區與M區屋頂水銀燈更改為LED燈(10盞) 6,270 3.3
安全門燈及逃生燈改LED燈(100盞) 1,620 0.9
各管道間T8燈具改T5燈具(30盞) 1,440 0.8

方案類型 方案說明 節能績效
(M3/年)
減碳績效
(公噸CO2e/年)
節省天然氣 增設HDI熱泵系統 657,000 1,373
增設VOC 3rd熱回收器 305,931 639
HEB#1鍋爐煙囪熱回收 30,530 64

 

  二、節水措施
    為徹底落實工業減廢與妥善運用水資源,自設廠以來,即持續藉由節水措施之顏就與推動,進行製程設備改善及引進新式節水技術,以增進用水效率及促進水資源回收再利用,目前全廠製程用水回收率皆維持85%以上的水準。廠內持續進行之各項節約用水工程推動,包含用水循環回收及設置節約用水設備等方案。本廠2012年及2013年節水方案實例如下,兩年內約節省124萬度的自來水,有些方案並非一蹴即成,而是延續多年的推展成果。
方案類型 方案說明 節水績效
(M3/年)
節水 LSR回收系統 438,000
RO濃縮水回收(DI系統) 310,000
UF濃縮水回收(DI系統) 237,000
CMP Slurry廢水回收系統 124,000
CS IPA Scrubber停用 28,800
2B3T再生回收管路(DI系統) 27,000
AC反洗Rinse & Service Rinse水回收 25,500
砂濾塔及活性碳塔反洗水回收 23,652
外圍用水減壓供應 9,125
污泥脫水機濾布清洗用水改用CMP回收水 7,300
景觀魚池補水量最佳化 3,650
分析儀器水回收(DI系統) 3,600
雨水回收再利用 122

 

  三、資源及廢棄物回收
 
(1) 製程減廢
    為落實公司環保政策「主動引進及發展環境友善技術,強化源頭減廢及污染預防,以達到綠色設計、生產與經營之目標」,在不影響產品品質之前提下,研擬減廢方案並設定方案目標,經管理階層審核同意後,成立專案小組執行方案。
  執行過程運用ISO 14001管理循環機制「PDCA」(規劃(Plan)、實行(Do)、檢討(Check)、審查及矯正(Action))持續改進,直到達到成效後結案,並將成效較好方案透過廠際技術委員會與各廠交流,更列入部門及個人年度考績,激勵員工提案創新方案。
  2012年~2013年推展執行之製程減廢方案如下。
部門 方案說明

減量績效
(公噸/月)

ET H2SO4 lifetime延長 5.856
FE-WTS 污泥的氯化鈣減量 1.461
FE-ESS UPS電池減量 1.2
TF 少Slurry用量 0.974
ET ACT加裝Bath Seal(可減少6%用量) 0.751
ET EKC270 lifetime延長 0.642
TF SS-25E減量(break in 使用DIW) 0.352
LT Mvia layer TOP ARC用量調降 0.191
TF W2000 Dilute用量調降 0.147
DF CS FILTER延長lifetime 0.135
ET CS-IPA lifetime延長 0.118
LT US01C PAD用量調降 0.046
LT D-AQUATAR用量調降 0.036
LT TI產品PB30用量調降 0.026
LT TI產品PFI38A9用量調降 0.013
LT TARC filter lifetime延長 0.008
(2) 廢棄物回收再利用
    為落實公司環保政策「順應國際環保趨勢,善用與回收能源與資源,以作為世界級之環保楷模」,本廠以傳統的污染防治手段(即管末處理)滿足對環境的基本要求,進一步讓生產的過程儘可能不讓污染物產生,即使最終產出之廢棄物亦可作為另一產業的有效資源,即以資源回收再利用為廢棄物之第一處理目標。
  本廠持續推動各項資源回收廢棄物再利用方案,廢棄物回收再利用總量逐年提高,廢棄物回收再利用總量自2010年至2012年分別為2,934公噸、2,761公噸、2,907公噸。廠內單位積體電路之廢棄物產量(ton/m2)則分別為0.116 ton/m2、0.114 ton/m2及0.117 ton/m2。
  2012年度廠內主要回收再利用項目有:廢溶劑、廢硫酸、廢光罩、廢空桶、木材、廢紙、廢活性碳、廢鐵、廢保麗龍、廢塑膠…等項目,回收再利用總量2,644公噸,總回收率達90.96%。

 

  四、綠色交通
 
(1) 減少旅次:建置e化多方會議系統,提供竹科、南科及新加坡各廠同仁使用,減少商旅次數。
(2) 使用低污染車輛:警衛、廠務及工安同仁騎乘自行車執行巡邏及巡查業務。
(3) 推動自行車、步行及設置電動機車充電站:廠內增設淋浴措施供同仁盥洗、取消部分機車格位,改增設自行車位並設置電動機車充電站。
(4) 推動共乘減碳:新增互助式「交通共乘平台」,便利員工尋者共乘夥伴。
(5) 推動低碳駕駛(提醒同仁進行機車定期檢測):每年配合新竹市環保局到廠進行機車定期稽核,提醒同仁按時進行定檢。

 

  五、生活減碳
 
(1) 辦公室節能省電:辦公室照明加裝下拉式開關、更換T5燈具、減少照明數量、中午休息時間關燈、人少區域控管照明時間、各層指示燈/路燈/部分探照燈,更換為LED燈具、辦公室維持在26℃以上、取消擦手紙供應、取消紙杯供應、影印紙回收使用、開發電子表單系統,推行無紙化、電腦主機下班即關機、餐廳不提供免洗餐具和BBS設置資源交換及二手市場平台等作法。
(2) 辦公室省水:加裝省水設備,改為噴霧式供水。
(3) 宣導落實垃圾分類:張貼各種廢棄物回收相關資訊於各區公佈欄及電子佈告欄系統,或於各部門月會進行宣導,並在各回收桶上均張貼回收物品照片,提醒同仁落實綠色生活。

(4) 低碳消費(如綠色採購、綠色產品等)
(5) 環境綠化減碳
(6) 綠建築(8A特色:全國第一家八吋晶圓綠色工廠):Fab8A廠為既設廠區,運作已逾17年,但仍不斷努力創新,引進新技術、新科技、以務實精神不斷地自我要求,致力於推動綠色環保與節能減碳,取得綠建築認證。Fab8A廠於2012年完成既有廠房進行綠色改造並同時取得清潔生產之認證,順利取得綠色工廠標章;成為「全國第一家獲此榮譽的八吋晶圓廠」。

減碳教育宣導

  一、推動環境教育工作組織
    聯電電成立全公司教育訓練委員,整合公司訓練資源加以運用。其中,環境教育是由風險管理暨安環處教育訓練委員會負責統籌規劃,目前每年定期開立各類環保教育相關訓練課程、舉辦環保講座、環保月活動等,以供同仁學習與參與。
  此外,聯電於1996年成立之「聯華電子科技文教基金會」,多年來持續社會公益之推廣,目前以長期的教育協助為重點,並鼓勵同仁擔任志工參與各類公益活動,於環境教育方面,主要包含定期與社區環保站合作,共同推動資源回收分類眷屬親子環保體驗教育,及定期於學校之舉辦環保志工說故事活動。

  二、環境教育訓練宣導管道
 
(1) 教育訓練管道:新進員工教育訓練、在職員工教育訓練、廠區E-Learning教育訓練及外部教育訓練。
(2) 環保訊息宣導交流管道:公司內部設有e化之宣導平台(如:工安環保電子公佈欄、E-learning教育訓練系統等)、廠區1F公共區域設置工安環保佈告欄,及透過ESH信箱及提案改善系統提出,藉由系統追蹤執行狀況。

  三、減碳教育宣導活動
 
(1) 設置「環保節能愛地球,減碳抗暖動起來」環保節能宣導專區。
(2) 每年舉辦環保月活動推廣減碳觀念:2012年環保月活動內容包含,環保講座、綠色影展、綠手指(盆栽DIY)、綠市集、環保攝影、綠色印記(參加鼓勵獎)。
(3) 響應夏至關燈活動:聯電於每年「夏至」關掉竹科及南科所有廠區及聯園活動中心之外牆景觀燈及裝飾燈,並於eUMC宣導同仁響應夏至關燈活動。



特殊事蹟及貢獻

 
民國101年取得經濟部工業局頒發之「綠色工廠標章證書」,為全國第一家獲此榮譽的八吋晶圓廠。
台灣地區自民國99年起,至民國101年度,每年均通過ISO14064-1第三者查證之溫室氣體排放量盤查查證,溫室氣體的先期減量成效亦取得BSI驗證通過。
民國102年完成101年度各廠之碳足跡盤查。
民國99年率先產業完成8吋與12吋積體電路晶圓產品水足跡盤查與查證,亦於民國102年自行完成101年度水足跡盤查,未來亦將持續進行盤查,以追蹤節水措施之成效。