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1.總體效益量化說明
(1)廢棄物回收再生資源
a.廢硫酸作為洗滌塔藥劑(2005)。
b.針對再利用途徑之開發持續尋求廠商合作再利用計劃(EBR回收再利用(2008)、Slurry回收再利用(2013)、
NMP回收再利用(2014)。
(2)整體廢棄物回收再利用率介於70%至90%之間
(3)減量及資源循環再利用經濟效益
a.以2012年全年用電量123,437,319 kWh/年為基準，節電目標3,703,120 kWh /年(3%)，節電實績8,380,988 kWh
/年(6.8%)，節省用電費用共約2,000萬元。
b.以2012年全年用水量637,367 M3/年為基準，節水目標38,242
M3/年(6%)，節水實績60,231M3/年(9.4%)，節省用水費用共約190萬元。
c.以2012年全年廢棄物產出量1,463 ton為基準，減廢目標132 ton (9%)，減廢實績242 ton (16.5%)，節省原物料(1,367萬元) 及廢棄物處理費用 (120萬元)
，合計約1,487萬元。
2.廢棄物減量及資源循環措施
(1)短中長期目標設定
a.2015年達成UMC369+能資源生產力提升計畫。
b.用電量降低3% (基準年2012年)。
c.用水量降低6% ( 基準年2012年)。
d.廢棄物產生量降低9% (基準年2012年)。
e.目前依「UMC Green 2020」規劃，推動各項節水、節電、減廢目標。
(2)環保安全衛生委員會為主軸進行運作，開會頻率:雙月會。
(3)廢棄物管理架構廠區廢棄物管理具體作為。
(4)釐訂污染防制設施、改善、清理計畫
a.廠區廢棄物貯存設施標準作業建立及/區監督稽核。
b.落實源頭廢棄物分類收集，可利後續回再用及降低因不確之異常事故發生。
(5)廢棄物清理途徑與承攬廠商管理
a.廢棄物清理途徑管理。
b.監督實施管理及維護並作成相關紀錄。
c.辦理審查有關許可或計畫書申請。
d.辦理各項法規規定之監測、檢測、運作紀錄等工作，並定期申報。
e.擬定並協調突發事故、緊急應變計畫及措施。
3.循環經濟推動成果
(1)廢棄物減量活動過程中所推動減量措施如下：
a.降低製程機台更換硫酸頻率，減少硫酸使用與廢硫酸產出量。
b.部份產線使用一般稀釋化學品取代溶劑類清洗液，以減少廢溶劑產出量。
c.揮發性有機物防制設備清洗保養程序最佳化，以減少產生之廢液量。
d.降低污泥含水率，以減少氟化鈣污泥產出量。
(2)推行廢棄物再利用案例
a.除了進行源頭減量外， 對於已經產出之廢棄物處理策略優先以自再利用為主，其次由化工廠或廢棄物廠商進行回收再利用，再其次作為輔助燃料，最終無法回收再利用之廢棄物才以焚化或掩埋方式處理。
(3)廠內循環經濟及採行之措施
a.主要措施如污泥再製為蓄熱磚、廢硫酸導入空污防制設備Central Scrubber 再利用、研磨液Slurry 回收…等
4.設備、設施投資及操作效能改善情形
(1)Chiller耗電改善
a.主要措施：採用新型變頻節能Chiller，取代舊型高耗能Chiller，近3年總改善投資成本約712萬元。
(2)Pump耗電改善
a.主要措施：採用新型節能pump，取代舊型高耗能pump，近3年總改善投資成本約3,900萬元。
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