台灣積體電路股份有限公司12廠

事業名稱: 台灣積體電路股份有限公司12廠
事業地址: 新竹市力行六路8號
聯 絡 人 : 王俞敏
電  話: 03-5636688
傳  真: 03-5631430
資 本 額 : 2,705億
員工人數: 4,300人
主要產品: 積體電路產品
台灣積體電路股份有限公司12廠
 
獲獎事評相關優良事蹟及其推廣管理制度摘要教育訓練推動
廢棄物清理、減量、或再利用績效設備、設施投資改善績效
廢棄物清理及資源減量回收再利用研究發展之貢獻
 
獲獎事評

 
獲得節水、環保、環境維護等多項獎項。
訂立管理及政策目標,且環保安全衛生政策目標明確,並落實執行。
廢棄物處理廠址明亮乾淨,回收再利用之規劃及執行均具體完善,成效卓著。
製程改善達減廢的目標,且廢棄物減量方案持續推動中。
提案改善制度成效良好,教育訓練工作持續落實。
公司對於廢棄物分類、儲存、廢棄物處理及最終處置,建立完整的計畫、追蹤查核制度,使廢棄物再生、減量、回收之成效目標能順利達成。
2006年投資8,000多萬元之空污與廢水處理設備,改善減廢成效卓著。
製程中對於化學藥品及耗材的減量改善措施,有重要成效。
2006年公司廢棄物資源回收再利用與進焚化爐及掩埋之比例為92%:5%:3%,成效良好。
對於有害廢棄物均能委託專業廠商處理,避免造成二次公害,同時達到減量回收再利用之目標。

相關優良事蹟及其推廣

 
績效優良評鑑特優獎-台積電
通過ISO 14001驗證管理系統驗證(2001~迄今)。
榮獲節約能源績優廠商傑出獎(2001)。
榮獲環境維護競賽特優獎(2002、2004)。
榮獲節約用水廠商獎(2004)。
榮獲廠房綠美化優勝獎(2000、2005、2006)。
榮獲企業永續發展獎(2006)。
榮獲企業環保獎(2006)。
榮獲96年事業廢棄物清理及資源減量回收再利用績效優良評鑑特優獎(2007)。
績效優良評鑑特優獎頒獎-台積電

管理制度摘要

 
廢棄物清理及資源減量回收再利用政策
 
維護環境品質及確保安全衛生的工作環境。
遵守相關環保、安全與衛生法令。
提供相關教育訓練及資源,提高員工對環保、安全與衛生的認知。
引進國際環保、安全與衛生之新觀念與相關技術。
製程研發新設備及新物料使用前,需經環保、安全與衛生評估。
對供應商及承攬商在環保、安全與衛生議題上進行了解及溝通。
   
廢棄物清理、減量或回收再利用管理措施
 

項目

措施

製程節能及節水

取消定時換酸程序

製程化學品減量

改變清洗程序減少H2O2及NH4OH使用量

減少及控制IPA使用量

減廢計劃

減少控片使用量

限制無塵室人員領用無塵紙數量

會議室安裝投影機,減少紙張與投影片用量

製程零件重複使用

Slurry filter重複使用

化學品減廢回收

利用設備分流與配管回收化學品

   
廢棄物清理及資源減量回收再利用管理制度推動
 
由專人負責進行廢棄物暫存場所管理與維護。
每日執行環境自動檢查。
工安環保部不定期執行巡檢稽核。
廠商執行廢棄物清運時,必須遵守相關安全衛生規定。

進行各種廢棄物分類儲存宣導活動,包含硬體設施的建置、設置環保櫥窗、無紙化活動、宣導廠商與工程師環保觀念。

 

教育訓練推動

 
公司內部建立一個系統化的學習體系與環境,其中也設計了環保相關課程如ISO14001 / OHSAS18001。除了不定期針對不同主題進行開課介紹外,並將其製作成e-learning(由專人錄製課程講授),讓所有同仁可以隨時進入系統進行線上學習。
公司不定期指派環保業務相關人員參加環保相關說明會及研討會、毒性化學災害預防演練、環保專責人員座談會、環保法規說明或宣導會及科管局所辦理之研討會議。
新進人員最基本都要接受至少三小時的基礎環保安全衛生訓練課程。

廢棄物清理、減量、或再利用績效

 
資源回收再利用及廢棄物處理與最終處置措施與成效
 

2004

2005

2006

回收再利用

60%

62%

64%

能源回收

24%

22%

28%

焚化處理

15%

15%

5%

垃圾掩埋

1%

1%

3%

   
2006年廢溶劑、污泥、硫酸、硫酸銅再利用成效
 

廢棄物項目

方式

再利用量(公噸/年)

廢溶劑

再利用為輔助燃料

654

蒸餾回收

976

NMP再利用為工業級原料

108

氟化鈣污泥

再利用為水泥原料添加劑

1,205

硫酸

再利用為工業級原料

1,730

硫酸銅

再利用為銅粉

400

   
該廠單位晶圓產出的廢酸量由2004年的5.372公斤下降至3.485公斤
  該廠單位晶圓產出的廢酸量由2004年的5.372公斤下降至3.485公斤

設備、設施投資改善績效

 
NH4OH減量計劃
 
主要內容 藉由實驗測試,將廠內CMP製程使用之化學品用量調整至最佳化配方。 改善方法說明:
1. 利用2%NH4OH取代29%。
2. 改變加酸順序。
投資金額 2萬元。
效益 1.減少29%NH4OH使用量,每年可減少3,831 L/tool。
2.減少31%H2O2使用量,每年可減少1,915 L/tool 。
   
異丙醇減量計劃
 
主要內容 改善擦試手法,以降低擦試時異兩醇及無水酒精使用量。
投資金額 0萬元。
效益 1.異丙醇每週設備PM使用量由140公升減量降至24公升(減量率82.8%)。
2.無水酒精:每週設備PM使用量由35公升減量降至9.5公升(減量率72.8%)。
改善擦試手法,以降低擦試時異兩醇及無水酒精使用量。
   
機台換酸設定改善
 
主要內容 完成機台製程評估,確認可以將機台內兩個Mixing tank由原先每300分鐘執行一次的時間予以延長,並將換酸之設定予以廢除。
投資金額 0萬元。
效益 每天可節省廢酸產出量380公升。
製程節能/節水評估
   
Wafer包裝材料再利用計劃
 
主要內容 Wafer包裝材料,拆開後轉送至成品倉再利用。
投資金額 0萬元。
效益 1.平均每月回收1,372組包裝材料(紙箱與緩衝材)。
2.每月可使成品倉節省包裝材料費25.8萬元。
改善前:清潔人員做分類回收 改善後:送至成品倉再利用

改善前:清潔人員做分類回收

改善後:送至成品倉再利用
   
減少晶片報廢量及頻率計劃
 
主要內容 機台元件定期委外清洗,並與廠商合作找出最佳清洗流程。
投資金額 14.4萬元/年。
效益 1.減少晶片報廢量。
2.減少成本3,936萬元/年。
減少晶片報廢量及頻率計劃
   
控片回收改善計劃
 
主要內容 添加少量無機酸有效的將film上微粒去除增加洗滌效果,可提升16%控片回收率。
投資金額 2萬元。
效益 1.每個月降低了全新晶片2,000片使用量。
2.每月可節省成本10,08萬元。
控片洗滌成功率


控片洗滌成功率

廢棄物清理及資源減量回收再利用研究發展之貢獻

 

與新加坡阿克蘇諾貝爾(股)公司進行空桶(D-0299)及矽酸鉀原料(D-1502)個案再利用。
與雙慶化工進行廢液pH值小(等)於2.0(C-0202)之再利用,作為助熔劑原料。
與李長榮化工進行廢液閃火點小於60℃(C-0301)之再利用,純化作為光阻稀釋劑。
與榮成紙業進行廢液閃火點小於60℃(C-0301)及非有害有機廢液或廢溶劑(D-1504)之再利用,作為輔助燃料。