旺宏電子股份有限公司晶圓一廠 黃榮祥 先生

102年度科學工業園區優良環境保護專責人員

空氣污染專責人員

旺宏電子股份有限公司晶圓一廠 黃榮祥 先生

現職

旺宏電子股份有限公司晶圓一廠 組長

個人工作內容摘要

  • 負責管理、維護、改善空污防制設備之正常操作並整理建立保養維護紀錄。
  • 實施廢氣污染物排放之檢測。
  • 空污防制法規定之廢氣排放之申報、其他申請、申報事項及管理。
  • 空調系統之節能、省水、減碳之改善。

公司簡介

旺宏電子晶圓一廠於民國79年成立後,主要生產非揮發性記憶體及邏輯性產品。民國88年起經自有產品世代轉換,開始從事晶圓代工服務,專注於6吋0.35~0.6微米以上之邏輯、類比、高壓、非揮發性記憶體及電子式可清除程式化唯讀記憶體之IC晶圓代工業務。

本廠區對於環境保護工作不遺餘力,並積極參與各項環保競賽,獲獎紀錄包括環保署企環獎、經濟部節約用水績優單位及節能優良企業獎、科管局環境維護競賽及低碳企業獎等,推行之節能、減碳、節水及環境保護措施皆多次獲得主管單位及評審委員之肯定。

具體事蹟

  1.法規規定應執行業務辦理情形
 
  • 專責人員工作執掌及各項業務申請:共三大類合計14項工作,依其頻率執行辦理。
工作分類 工作內容 執行頻率
設備操作管理 法規查核 每月
廠內空氣污染防制操作保養規範 不定期
空氣污染防制設備維護、保養及校正 每月一次
空氣污染防制設備偵測器維護、保養及校正 每週一次
沸石濃縮轉輪清洗及保養 每季一次
空氣污染採樣設施檢查、維護及保養 每4月及12月
許可及申報 固定污染源操作許可證申請 不定期
空氣污染防制操作紀錄申報 每1月、4月、7月、10月
空污定期檢測時程申報 檢測前依各月
空氣污染費申報 每1月、4月、7月、10月
溫室氣體排放量申報 每1月、4月、7月、10月
污染防制設備異常申報 不定期
檢測 空氣污染物定期檢測 每年一次
沸石濃縮轉輪SOx及NOx檢測 不定期
 
  • 負責廠內空氣污染防制設備操作,相關控管項目如下。
查核項目 注意事項
原物料使用記錄及申報 原物料表列項目及核可量與許可是否一致
比對原物料使用部分是否有異常
處理設施操作紀錄、循環水量、廢氣污染及pH是否依規定紀錄
防制設備操作參數查核 現場操作參數是否符合核可,操作參數範圍值應合乎運轉要求.
處理設施、貯槽應無溢流、滴漏情形
污染防制設備現場查核 設施標示編號、煙囪標示設施應與固定污染源操作許可最新版一致
藥劑貯槽危害標示、MSDS應完善
空污採樣設施扶梯及平台應無損壞、變形、位移及腐蝕
採樣孔應以盲板密封、凸緣無損壞及變形
防制設備供採樣作業之電源插座等相關設施應無損壞、變形及腐蝕
  2. 污染改善措施、具體效益及對任職機構之貢獻
 

污染改善措施包含污染防制設備效能提升、節能減碳與提升環境品質三大方向。

  • 污染防制設備效能提升:共計5個方案,整體節省瓦斯16,848 M3/年,沸石濃縮轉輪(RTO)保養週期由19天延長至120天。
    (1)低洗滌塔藥品用量
     動機:濕性洗滌塔採單點控制加藥(當pH<8啟動,pH>8則停止),每次加藥後pH值均大於12以上,過量加藥導致浪費。
     方案:修改加藥管徑(由4分加藥管改為2分加藥管)、變更pH sensor擺放位置、加藥電路增設Timer(控制最加加藥時間20秒)。

    (2) 減少洗滌塔廢水排放
     動機:濕性洗滌塔一時間排程進行排水控制,加藥後若遇到排程排水,除造成藥劑的浪費,亦增加廢水處理成本。
     方案:因pH變化隨藥劑添加與廢氣處理成穩定週期性變化,適合做為新增指標、修改PLC控制,將「酸鹼值」列入原有定期排水控制因素,調整為多重控制方式。
     效益:廢水排放量減少3.2噸/日(5噸→1.8噸),用水量節省1,168噸/年。

    (3) RTO爐運轉最佳化-作法1
     動機:沸石濃縮轉輪蓄熱式燃燒爐因堵塞,每兩週需進行保養。
     方案:將蓄熱磚材改為奈米材質,降低壓損增加速率。
     效益:節省瓦斯13,104 M3/年、減少CO2排放25噸/年、保養週期19天延長至76天。

    (4) RTO爐運轉最佳化-作法2
     動機:沸石濃縮轉輪RTO脫附風車(25HP),運轉時為全載運轉。
     方案:將風車改為變頻脫附附風車(40HP),提升脫附風車性能。
     效益:節省瓦斯1,872 M3/年、減少CO2排放3.5噸/年、保養週期由76天延長至120天。

    (5) RTO爐運轉最佳化-作法3
     動機:沸石濃縮轉輪蓄熱式燃燒爐蓄熱磚保養時程過長。
     方案:蓄熱磚模組化,方便拆卸以提升拆卸速率、破損馬鞍過篩並填充新馬鞍,降低壓損、以高壓水柱代替CDA清洗,有效完全清除附著之SiO2。
     效益:節省瓦斯1,872 M3/年、減少CO2排放3.5噸/年、保養時程由24 hr/次降為8 hr/次。


  • 節能減碳:共計5個方案,整體減省電力2,930,365 KWH/年、節省瓦斯219,876 M3/年。
    (1) 提升冰水系統馬達用電效率
     動機:冰水系統泵浦馬達絕緣狀況不佳,轉子多處有發熱現象,且馬達型號老舊已無生產,重新繞線經濟效益不佳。
     方案:選購散熱能力更佳且運轉電流更小的馬達。
     效益:節省電力50,281 KWH/年、減少CO2排放31公噸。

    (2) 提升冰水及冷卻水塔運轉效能
     動機:冰水及冷卻水泵浦全年皆以最大流量運轉,相對耗能。
     方案:改變泵浦流量,利用「平衡管溫度」判斷現場需求,外加自動控制程式以節省整體用電量、空調箱入口增設露點溫度計處搭配「分散式系統控制」器,以露點溫度17℃作為泵浦啟停之標準。
     效益:節省電力1,085,975 KWH/年、減少CO2排放665公噸。

    (3) 檢討廠內空調設備實際負載
     動機:部分空調設備(外氣空調箱、洗滌塔及製程真空分區)實際負載用量低於設定值,有浪費之虞。
     方案:以現有機台代替負載偏低機台,供應裕度仍足以供應,遂進行空調箱風管連通並關閉負載偏低空調箱、考量以Main fab供應兩區真空度需求,著手進行兩區PV管路連通,測試後供應品質正常、調查SC-12目前機台使用狀況,發現僅廠務端一般排氣使用,進行該段負載改管後,SC-12可進行節能停機。
     效益:節省電力920,209 KWH/年、減少CO2排放563公噸。

    (4) 沸石濃縮轉輪燃燒爐由直燃式改為蓄熱式
     動機:直燃式焚化爐廢熱回收率僅65%,回收率偏低導致耗能。
     方案:評估並執行將直燃式燃燒爐改為蓄熱式燃燒爐,為園區第一家現有設備改裝之半導體廠。
     效益:節省瓦斯219,876 M3/年、減少CO2排放413噸/年。

    (5) 提升空污設備風車運轉效率
     動機:超重載之風車其運轉溫度較高,除較耗能外,另零件也較容易損壞。
     方案:透過皮帶輪放大及風車軸更改為支撐力較強之連座式軸承,加大風車送風量,使其負載降低。
     效益:節省電力873,900 KWH/年、減少CO2排放535噸/年。


  • 提升環境品質:共計2個方案,以敦親睦鄰為考量,建置優良工作環境,打造綠色環保科技工廠。
    (1) 冷卻水塔隔音牆更新工程
     動機:既有冷卻水塔隔音牆設置超過15年,為作好敦親睦鄰,全面更換隔音牆,另在效能評估,除整體防護效果外,另考量各單頻噪音之隔音量。
     方案:利用模擬音源發生器產生特定頻率,量測其隔音前後之削減率。
     效益:全頻率(20HZ~20MHZ)皆可符合第四類管制標準,另特定頻率隔音量皆達到20~25dB以上。

    (2) 推動室內空氣品質管理
     動機:打造科技生態健康工作職場。
     個人貢獻:擔任廠務部室內品質推動委員,訂定夏季室內空調外氣(OA)及內循環氣體(RA)比例,確保室內CO2<1000ppm及訂定空調系統保養週期及保養手法。
     效益:獲99年新竹市公共場所室內空氣品質自主管理三顆星認證。


  • 個人貢獻
     貢獻1:外部稽核無稽核處罰記錄(任職94~迄今),協助廠區達成連續11年無處罰記錄。
     貢獻2:落實污染防制管理,針對記錄管制、空污防制設備維護保養校正,推動電腦化管理。
     貢獻3:空氣污染物排放管理,酸/鹼/有機廢棄均優於法規、As、酸排、VOCs及臭味皆無異常。
   

其他特殊事蹟

  1. 參予廠外研討會及專案競賽,共計獲得1項團體獎及2項個人獎。
  2. 99年:科學工業園區廠務技術研討會空調組論文競賽佳作。論文題目為RTO爐運轉最佳化及保養手法實例分享。
  3. 101年:QCC北區會長獎。以QCC手法進行空調系統用電量改善,節省用電量2,140千度/年,減少CO2排放1,309噸/年。
  4. 101年:環保署模範環境保護(空氣污染防制專責)專責人員。