國家科學及技術委員會新竹科學園區管理局

環保園地

首頁環保園地減碳企業績優獎 98年度低碳生產組

旺宏電子晶圓一廠

旺宏電子股份有限公司晶圓一廠

公司簡介

旺宏電子晶圓一廠於民國79 年成立後，主要生產非揮發性記憶體及邏輯性產品。民國88 年起經自有產品世代轉換，開始從事晶圓代工服務，專注於6 吋0.35~0.6 微米以上之邏輯、類比、高壓、非揮發性記憶體及電子式可清除程式化唯讀記憶體之IC 晶圓代工業務。在旺宏電子公司同仁多年之努力下，已建立一系列完整之運作體系，此運作體系已獲得多項國際認證，包含：通過TOSHMS、QC 080000、過Greenhouse Gases Emissions verification與ISO 14001: 2004等認證，如圖1所示。

圖1 驗證機構核發證書

低碳策略與未來目標

安衛管理政策(ESH Policy)，內容如下：

權利義務：	提供全體同仁於舒適、安全、健康的環境中工作，並都能善盡環保安全衛生責任與義務。
遵守法規：	確實遵守環保安全衛生法規，並落實環保安全衛生工作。
危害預防：	確實執行危害鑑別、風險評估以及環境衝擊分析，掌握各種危害源，以防治污染及預防災害之發生
教育訓練：	提供優質且完整之教育訓練，使同仁都能妥善執行環保安全衛生工作。
永續發展：	符合國際綠色產品趨勢，落實環境關聯物質管理，以國際化之職業安全衛生管理系統及環境管理系統為基準，秉持「持續改善」理念，有效應用整體資源，使環保安全衛生工作永續發展。

未來目標：
為與國際接軌，台灣半導體協會(TSIA)於1998 年和世界半導體協會(WSC)達成協議，TSIA 於1999 年同意訂定PFCs(SF6、CF4、C2F6、C3F8、CHF3、NF3) 目標排放量，其目標為PFCs 排放量至2010 年時，需減少排放量至1998*年的排放量90%以下。亦及TSIA 會員廠商至2010 年時PFCs 總排量須達到0.66MMTCE(百萬碳當量)。旺宏電子現雖非台灣半導體協會(TSIA)的會員，但身為地球村之一員，本於愛護環境及永續發展之精神，更加積極推動環保低碳活動。
在 PFCs 減量目標，原定至2010 年時PFCs(SF6、CF4、C2F6、C3F8、CHF3、NF3)全廠排放量需減至0.015 MMTEC(百萬碳當量)，而此目標已於2008 年提前達到(0.0144 MMTCE)，但本廠區並不以此為最終目標，未來將持續進行PFCs 減量及尾氣處理設備投資，期許能將PFCs 排放量降至0.010 MMTCE。
在電力使用量，旺宏電子晶圓一廠在一系列節能改善措施實行下，生產單位片數電力使用量由2006年的251 KWH/片降至2008年的226KWH/片，未來期許朝向200 KWH/片以下的目標前進。而生產單位片數CO2排放量由2006年的0.352噸/片降至2008年的0.336 KWH/片，將努力朝向 0.3 噸/片的目標

低碳措施與效益

1.省電節能

省電節能部份之低碳措施，包含基本節能設計、節能改善措施、節能策略應用等三大方向共計12項方案，相關資料彙整如表1所示，預估省電節能之效益為4,784,363 KWH/年，約可減少3,066公噸/年之二氧化碳排放。
表1 省電節能效益

2.資源回收

資源回收部份之低碳措施，包含製程減廢、廢棄物再利用、廢棄物妥善處理、水回收再利用等共計27項方案，相關資料彙整如表2所示，其中節約水資源之效益為248,550公噸/年，約可減少48.2公噸/年之二氧化碳排放。
表2 資源回收效益

3.綠色交通

綠色交通部份之低碳措施，包含減少旅次、推動自行車及步行等共計4項方案，約可減少96.5公噸/年之二氧化碳排放。

表3 綠色交通效益

4.生活減碳

生活減碳部份之低碳措施，包含辦公室節水、辦公室低碳消費等共計10項方案，相關資料彙整如表4所示，約可減少10.35公噸/年之二氧化碳排放。
表4 生活減碳效益

5.PFCs減量

廠區於90～92年間及93～95年間分別陸續設置6台及3台共計9台PFCs氣體尾氣處理設備，使得全廠PFCs產生的碳當量由93年的0.0217百萬噸碳當量(MMTCE)減至97年的0.0144噸碳當量(MMTCE)，如圖2所示，提前符合本廠區對台灣半導體協會於承諾99年達到0.015百萬噸碳當量的目標。

圖2PFCs減量效益

低碳教育宣導

	新進人員環保安全衛生教育訓練新進人員教育訓練至少6小時，其中包含3小時之危害通識課程與1小時以上之環境保護概論課程(訓練教材內容除環保規定宣導外，包含低碳措施之宣導傳達)。
	內部查證人員訓練委託BSI驗證公司開立內部查證人員訓練專班，培訓查證種子人員，種子人員分佈部門包含風險管理部(環安衛部)、工程一部(黃光工程部、蝕刻工程部)、工程二部(薄膜工程部、擴散工程部)、廠務工程部等各部門成員，各部門培訓成員具查證資格人數如下表所分佈，其中風險管理部更派員接受主導查證人員訓練，所有派訓人員接通過考核，獲得查證人員資格及證書。
	在職人員之訓練與內部宣導 (1)教育宣導：旺宏電子晶圓一廠每年皆會對於在職人員進行教育訓練及不定期內部宣導，並邀請主管機關如環保局、管理局長官或學界專精教授到廠進行環保、減碳及再利用等專題演講。 (2)公告欄：各項環保、減碳及再利用議題資訊將於實體環保安全衛生公告專欄中張貼宣導海報資訊，並於季刊中定期刊出宣導文章，以不斷提醒同仁注意環保最新訊息。 (3)網路宣導：透過公司的實體公告欄及內部網路之環安衛 (ESH)專欄進行宣導，內容包括環保法規、環保教材及每日報報(國內外環保新聞)。

特殊事蹟及貢獻

	經濟部節能服務團積極參與經濟部能源局主辦之”節能服務團隊”，並於公司內部成立”節約能源服務團”，其成員包含各廠區之專業人員，且多數成員具節能豐富經驗，並曾榮獲節能多項獎項，以此機制作為節能諮詢及能源查核之對象並將心得推廣至公司內部執行。
	碳足跡盤查在現今「節能減碳」的趨勢帶領下，於組織型溫室氣體盤查(ISO14064-1)之後，碳揭露及碳標示已成為下一世代企業社會責任的實踐。因應國際環保概念已從組織環保責任延伸至產品的環保性考量，旺宏電子於98 年積極參與科管局「碳足跡盤查計畫」，期與綠化供應鏈，與原物料供應商形成Green Partner，尋求產品?碳機會。
	QCC手法進行節能活動: 為有效達到節能減碳之目的，透過QCC(品質管制圈)手法精神，改善廠區無塵室外氣空調供氣量，大幅打破既有系統運轉現況，達到節省129 萬度電力，相當於82 公噸 CO2減量，相關研究及成果獲得「97年全國QCC 競賽北區會長獎」。