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事業名稱: |
新唐科技股份有限公司 |
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事業地址: |
北部科學工業園區管理局新竹市研新三路4號 |
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聯 絡 人 : |
古叢誌 |
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電 話: |
03-5770066#3242 |
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傳 真: |
03-5792606 |
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資 本 額 : |
20億元 |
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員工人數: |
1211人 |
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主要產品: |
積體電路(IC) |
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整體管理組織架構完善，廢棄物廠商稽核機制落實完整。 |
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針對廢棄物管理之理念與政策，管理階層有具體的宣示及明確方針。 |
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製程改善減費有數項具體實績，而且均為小地方巧妙構思。 |
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公司設置減廢規劃小組，提供技術與經費，投入各項製程減費措施成效卓著。 |
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減碳成效佳，並已取得產品碳足跡認證。 |
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針對廢棄物貯存管理之投資達1千餘萬元 |
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廢棄物每單位晶元產出量98年降至1.93 kg，再利用率提昇至91.6%。 |
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榮獲SONY綠色夥伴認證(2009)
榮獲通過IECQ QC080000無有害物質驗證(2006)
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取得ISO 14001及OHSAS 18001 認證(2006) |
榮獲企業環保獎
榮獲工業減廢績優廠商
大氣層保護獎之成效傑出獎 |
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環境政策 |
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致力於符合國際先進之安全、衛生、環保標準與健康促進理念，承諾提供與維持一個合於法令規定與工業實務的工作環境，並持續改善，以盡力杜絕任何可能導致人員疾病傷害、環境污染、財產損失等可預見之風險。 |
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災害與損失可經由完善的管理與全體同仁的積極參與，而達到事先預防的效果。防範災害與損失乃是各級主管人員與現場同仁的直接責任。 |
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在廠區內活動的所有人員皆應遵守本公司安全衛生環保的要求，所有同仁亦應依照訂定之作業標準方法與操作理念執行工作。 |
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零職災、不破壞環境、促進同仁健康乃世界級公司應有之責任。 |
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透過製程最佳化的預防手段及員工參與，持續改善以降低人員失能傷害率、水電資源與關鍵化學原物料使用量、以及主要污染物排放量。 |
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致力落實 “為環境及安全衛生而設計(Design for ESH)” 之理念，成為永續發展之綠色企業。 |
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依循本公司環境政策，對於廢棄物管理及資源回收再利用的要求在符合法規要求下降低原物料使用及廢棄物產生、減少掩埋處理、優先以再利用處理並積極推動優質回收。 |
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環保安全衛生管理組織與運作 |
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公司為了能讓廢棄物管理與減量相關業務能更有效率的執行，除依部門組織之執掌來進行廢棄物規劃、分類收集、儲存、清理、申報及減量再利用等管理業務外，並透過位階最高之環安衛組織環安衛暨風險管理委員會，推動相關廢棄物減量及資源回收與再利用相關業務，下圖說明有關之廢棄物管理架構及運作情形。 |
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廢棄物管理運作圖
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員工教育訓練：每年12月審視國內外法規、環保趨勢及年度環安衛需求，編定次年度環安衛教育訓練計畫。
98年度環安衛課程共計開課80班次，完成訓練1,703人次，詳如下表。
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課程 |
新進人員訓練 |
ISO14001簡介及程序書訓練 |
危害通識 |
緊急應變編組人員訓練 |
消防訓練 |
輻射防護訓練 |
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班次 |
13 |
1 |
26 |
22 |
15 |
3 |
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人數 |
150 |
42 |
712 |
217 |
522 |
60 |
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總授課班次 |
80 |
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總上課人數 |
1703 |
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環保專責人員：環安衛暨風險管理部人員並隨法規之更新，即時與相關專責人員討論法規變革的影響及相關因應措施。相關人員參加主管機關或其他環保及學術單位辦理之環保法規訓練或相關環保宣導會、研討會及觀摩會總計17場次。 |
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廢棄物減量、資源回收再用情形
相較於87年推行ISO 14001以來原物料減量經濟效益已達每年2億元，於此基礎上持續努力，在98年之具體績效如下： |
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類別
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方案
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具體作法
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績效
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經濟效益(千元)
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降低原物料使用量
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B-ARC減少用量
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降低B-AR噴量
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減少用量50%
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5,600
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Sputter 控片減量
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增加回收使用次數及比例
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減少控片用量30%
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IMP控片減量
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修改測機方式
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減少控片用量20%
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減少顯影液用量
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Recipe更新
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減量用量30%
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減少PH3/N2用量
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降低空瓶殘量
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減量用量5%
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減少硫酸用量
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Route skip 195 layer ( 2layer , 1mask )
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減少硫酸用量0.21kg/片
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減少TRANS-LC 量
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修改BOTTLE 結構降低空瓶殘量
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減少用量10%
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GSD-1 & 2 BF2 GAS 使用減量
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L/T/K/T 時 ，調低GAS FLOW .更換 MFC RANGE 由 10 SCCM → 5SCCM
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減少用量10%
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降低紙本OI用量
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採用E-化OI
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減少用量97%
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減少WF6用量
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降低空瓶殘量
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減少用量10%
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減少晶舟盒使用
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從下游封裝廠商回收
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減量20000個/年
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減少廢棄物產生量
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減少光阻去除液廢溶劑量
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減少更換溶劑頻率及清洗次數
調整製程排氣冷凝溫度
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降低廢溶劑量%
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2,003
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Polyimide廢夜減量
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降低空瓶殘量
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廢夜減量30%
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降低1500W LAMP廢棄量
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更新lamp廠牌，延長更換時數
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降低廢棄量30%
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降低SCR Support Pin廢棄量
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延長更換時數
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減少廢棄量20%
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降低SCR 刷頭廢棄量
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延長更換時數
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減少廢棄量50%
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減少DI filter使用量
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延長更換時數
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減少廢棄量30%
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減少測試機台Socket廢棄量
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檢修回收再利用
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減少廢棄量25%
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COLLIMATER使用減量
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延長更換時數
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減少廢棄量20%
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REATOR CHAMBER O-RING使用減量
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延長更換時數
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減少廢棄量20%
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減少FAB PE手套用量
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更新OI取消使用
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全面取消PE手套使用
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減少FAB 棉手套用量
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採配發方式重複使用\
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減少用量33%
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提昇再利用率與品質
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光阻去除液以主成分純化再生取代回收熱值回收
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降低不純物及含水率以符合廢棄物處理廠商回收標準
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純化再生比率100%
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1,610
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廢光阻液(EBR)&SOG混合溶劑 以主成分純化再生取代回收熱值
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廢光阻液(EBR)&SOG分流收集提高回收價值
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純化再生比率100%
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廢光罩回收再利用
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清洗後回收使用
申請個案再利用
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再利用率100%
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離子交換樹脂回收再利用
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與通案再利用廠商合作
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再利用率100%
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增加廢硫酸回收率
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增加水洗段回收
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增加回收率20%
減少中和使用液鹼量
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水電能資源減量
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純水系統用水量減量
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延長沙濾、2B3T、活性碳塔反洗時間
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減少8%年用水量
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988
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降低冷卻水塔用水量
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減少Blow Down排水的次數
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減少生活用水量
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加裝自來水節水器
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減少高真空機組用電量
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最適化調整
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減少用電量3%
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6,521
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減少冰水機冷卻水塔用電量
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改善冷卻水質
夜間降低運轉頻率
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減少鍋爐耗電量
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夏季工作壓力調整
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減少空調耗電量
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配合設備減少ACT 排氣量
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溫室效應氣體減量
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EB 製程SF6以C3F8取代
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製程變更及產品測試並新增管路
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減少排放
4400噸-CO2/年
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－
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CVD製程C3F8減量
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更新機台及製成最佳化調整
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減少排放
4400噸-CO2/年
|
－
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廢溶劑減量 |
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主要項目 |
執行內容 |
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降低ACT690含水率 |
1.換酸時水洗次數由3次降為1次
2.調整冷凝溫度並加強防水遮蓋
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主要項目 |
執行內容 |
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減少顯影劑使用量 |
1.增加一段PREWET， 使得顯影液在晶片表面可覆蓋完整。
2.顯影液噴灑量可由55cc減少至38cc，降低30%使用量。 |
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總體效率提升 |
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單位產品廢棄物產生量降低20%，如下圖左。
廢棄物再利用比率提升3%，如下圖中。
單位廢棄物處理費用降低38%，節省廢棄物處理費用80萬元，如下圖右。
相較於97年度用水量降低8%，用電量降低3%，原物料化學品較97年節省480萬元。 |
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投資設備
建廠期間至今對廢水、廢氣、及廢棄物之處理，投入相當多資金，累計已超過二億元以上，每年操作維護費用98年達三千五百萬元。
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項目 |
金額(千元) |
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設備最初設置費用 |
空污最終處理設備
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126,152
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local scrubber or其他空污中間處理設備
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23,126
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空污處理監測設備
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5,507
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廢水處理設備
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32,772
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廢水處理監測設備
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3,811
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廢棄物收集貯存設施
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12,295
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其他(監測井 毒化物監測等)
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5,892
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合計 |
209,555 |
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98年操作運轉費及維護保養費 |
空污設備
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20,512
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廢水設備
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10,815
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廢棄物處理費用
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809
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其他
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3,027
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合計 |
35,163
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設施操作管理及改善
廢棄物清理、減量或再利用（再生資源再利用）設備設施投資及操作效能蓋述如下
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設備設施投資 |
費用(千元) |
投資前後改善情形 |
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廢光阻收集管路系統
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4,250
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節省人力回收
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廢硫酸收集系統
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5,100
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回收廢硫酸約300噸/年，年節省液鹼費用約280萬
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廢溶劑收集系統(NMP&ACT)
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2,945
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分流回收NMP約50噸/年
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廢棄物分類儲存區設置
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2,000
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建立分類儲存區域，方便收集儲存並符合主管關要求
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廢光阻去除液清洗次數降低
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－
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降低含水率15%，符合回收規格並減少廢液量
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光阻去除液廢氣處理冷凝溫度最適化
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－
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降低含水率15%，符合回收規格並減少廢液量
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廢光阻及SOG收集分離(SOG改由機台端收集)
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－
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廢光阻及SOG分開提高回收價值
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改變設備端硫酸收集設定，增加水洗段硫酸收集
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－
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在符合廠商規格下增加回收廢硫酸20%，減少中和液鹼用量
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