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世界先進積體電路股份有限公司晶圓五廠整廠事業廢棄物源頭減量及資源循環成效顯著，其優異成績獲得一致肯定，榮獲本屆「114年度事業廢棄物減量及循環經濟成效績優企業評鑑活動」B組優等獎。
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113年全廠產出事業廢棄物為1,097.4公噸，透過廢棄物減量措施如延長光阻去除液更換時間或者利用H2CO3液取代光阻去除液功能以達NMP減量、廢硫酸用於廢水處理系統及空污防制設備作為中和藥劑，以及重複使用VMP盤面等，減量達786.92公噸/年。
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本廠除廠內再利用廢硫酸及廢離子交換樹脂外，幾乎所有廢棄物透過委外再利用/資源化處理機構處理後為工業級產品，整體事業廢棄物資源化率達97.23%。此外，原採焚化處理之D類廢塑膠、廢紙及廢纖維布，改採製成固體再生燃料(SRF)，以逐步達成零廢棄目的。
在一般廢棄物方面，要求員工自備環保餐具、不使用一次性餐具並禁用塑膠吸管；成立二手物品交流平台，供員工進行物品交流、循環使用；員工餐食吃多拿多、吃少拿少，避免廚餘產生。落實綠色採購、綠美環境，以租代購，節省資源。
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持續性規劃將電子級硫酸納入租賃服務，達到化學品循環經濟目標。廢硫酸經專用槽車載至再利用機構並卸入專用貯槽，透過裂解、淨化、純化程序，並經由還原、氧化反應將硫重生再利用，落實電子級硫酸品質，以推動半導體產業之循環利用。
