聯華電子股份有限公司Fab8E廠

 

聯華電子股份有限公司Fab8E廠
 
公司簡介減碳策略與未來目標減碳措施與效益減碳教育宣導特殊事蹟及貢獻|
 
公司簡介

 

  聯電成立於1980年,是台灣第一家提供晶圓專工服務的公司,也是台灣第一家上市的半導體公司(1985年)。聯華電子提供先進製程與晶圓製造服務,生產各項主要應用產品之IC 晶片,完整的解決方案能讓晶片設計公司利用尖端製程的優勢,在競爭激烈的IC市場中脫穎而出,方案包括28奈米Poly-SiON技術、High-K/Metal Gate後閘極技術、混合信號/RFCMOS技術,以及其他涵蓋廣泛的特殊製程技術。聯電現共有十座晶圓廠,在台灣、日本、韓國、中國、新加坡、歐洲及美國均設有服務據點,以滿足全球客戶的需求。

  聯電做為全球半導體製造業領先者,不僅用心實踐自身的企業責任,亦致力於傳播永續力量,由企業本身、公司員工、員工家庭、到社會每個角落,促進永續社會的成形。聯電自2008年起連續七年列名於道瓊永續性指數(DJSI)之「世界指數(DJSI World)」及「亞太指數(DJSI-Asia Pacific)」成分股。DJSI是國際最具公信力的企業永續評比工具之一,此代表本公司在永續性績效已與全球領先企業同步,並獲得國際投資界認同。

 
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減碳策略與未來目標

  為善盡企業責任配合改善全球暖化情形,聯電已擬定相關方針策略與目標。
1. 企業社會責任承諾
 
2008年成立企業社會責任管理委員會,統籌永續發展方向和目標,及檢視目標達成率。
2010年世界地球日正式公告「聯電氣候變遷策略」與「減碳333」目標。
2013年世界地球日再度提出「369+能資源生產力提升計畫」,挑戰更艱鉅的目標。
2. 氣候變遷政策
 
(1) 領先業界於2010年頒布「聯電氣候變遷政策(UMC Climate Change Policy)」
以「碳中和」為目標進行碳管理
成為全方位低碳解決方案提供者
以企業力量促進低碳經濟之發展
並訂定「聯電低碳承諾(UMC Low-Carbon Commitment)」作為推展減碳計畫之指引
(2) 於2013年4月22日正式發表中長期之『369+能資源生產力提昇計畫』
2013至2015年,用電量減少2012年用量之3%
2013至2015年,用水量減少2012年用量之6%
2013至2015年,廢棄物減少2012年產量之9%
2013至2015年,含氟溫室氣體排放強度減少2010年強度之3.6%
3. 永續供應鏈管理
 
2008年起至今(2014年)持續推廣「聯華電子供應鏈企業社會責任共同宣言」
輔導台灣主要供應商進行溫室氣體盤查,建置廠商自主盤查能力
4. 溫室氣體盤查及查證
 
參照ISO14064-1與國內外盤查指引,建立盤查標準機制
每年定期盤查,掌握溫室氣體現況,作為減量成效之驗證
分階段設定自願性之溫室氣體減量目標,並定期檢討及持續改善
台灣廠區2000年至2013年之溫室氣體盤查資料,均已通過第三者查證
5. 溫室氣體減量
 
1999年成立「含氟溫室氣體減量工作小組」推動溫室氣體減量計劃
訂定各階段溫室氣體減量目標,目前已進入第三階段
第一階段:配合對TSIA之承諾
第二階段:自主減量計劃
第三階段:超越WSC之減量目標
6. 積極推動產品碳足跡盤查與查證
 
使用產品生命週期評估工具(LCA),估算產品碳足跡
2009年完成全球第一個積體電路晶圓「產品碳足跡」及「產品第三類環境宣告(EPD)」盤查
2010年至2012年完成各廠產品碳足跡盤查,配合產品環境宣告,積極提供綠色供應鏈,提昇整體供應鏈之永續競爭力
2013年完成開發計算不同產品碳足跡的軟體
7. 碳溝通與碳排放揭露
 
自2006年起受邀參與CDP國際碳揭露專案,至今已連續8年
2013年參與CDP獲得91A的高分,並成為唯一同時獲選列名CDLI (Climate Disclosure Leader Index)與CPLI (Climate Performance Leader Index)的台灣企業
主辦國內外減碳相關會議或參與相關計畫
於年報、網頁、問卷揭露減碳訊息
8. EU LCA to go Project
 
參與歐盟FP7科研架構計畫,共同研發六大產業之「簡化既有產品生命週期評估之方法與應用工具」
9. 加強公司內相關環保教育訓練,提升同仁綠色意識
 
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減碳措施與效益

  一、省電節能及節水措施
 
(1) 能資源管理組織:聯電企業社會責任管理委員會下設「節能委員會」負責各廠區相關節能措施推動及管理。2010年成立UMC提升生產能源效率推動工作小組,並擬定「節約能源獎勵辦法」,定期召開會議推動能源替代、減量等措施。
(2) 能資源管理記錄:廠區建立節能控管文件記錄方式,有效掌握節能措施之推行進度及成效。
(3) 能資源設備檢查:廠區內相關設備除依法定自動檢查頻率及內容進行檢點外,另設置PM系統負責廠務所有設施之日常保養及檢點,以確保各檢查項目皆依計畫執行及控管。
(4) 節水方針:為徹底落實工業減廢與妥善運用水資源,自設廠以來,即持續藉由節水措施之研究與推動,進行製程設備改善及引進新式節水技術,以增進用水效率及促進水資源回收再利用,目前全廠製程用水回收率皆維持85%以上的水準。廠內持續進行之各項節約用水工程推動,包含用水循環回收及設置節約用水設備等方案。
(5) 節能及節水統計:聯電Fab8E廠2013~2014年方案成效如下,約減少948公噸CO2e排放量,有些方案並非一蹴即成,為延續多年的推展成果。
 
方案類型 方案說明 節能績效
(kWh/年)
減碳績效
(公噸CO2e/年)
節能 冰水主機添加Frigaid節省耗電(8台) 969,340 506
Exhaust減量專案 452,572 236
UPS減量(UPS-29,30,32,B09) 405,014 211
外熱式 Dryer 改裝 201,384 105
WWR 一般酸回收系統 RO by-pass 計劃 167,469 87
S-FAB照明更換成LED燈管 146,869 77
DI 系統更換超低壓抗污膜(第一、二套) 135,282 71
辦公室溫度調升25.5℃→26.5℃ 108,203 56
電熱式 Local Scrubber 爐溫降溫計畫 92,856 48
逃生方向指示燈更換成LED(523盞) 73,167 38
#1 冰水機 蒸發器銅管清洗 46,058 24
化學站高風險加熱槽設計改善節能 25,550 13
GAS YARD C10B 分子篩異常跳脫減少用電 20,900 11
GAS YARD 年度歲修減少用電 17,400 9.1
更換LED燈管(Gowning room & 樓層指示燈) 16,095 8.4
UP區建物外圍水銀燈換裝LED燈(12盞) 5,241 2.7
CDA廢熱回收for鍋爐進氣節能專案 4,782 9.0
男、女廁照明更換成LED燈管 3,191 1.7
UP Solvent 排風車區水銀燈換裝LED燈(6盞) 2,621 1.4
GAS YARD C80 維護保養減少用電 2,055 1.1
TR-2F 水銀燈換裝LED(4盞) 1,747 0.9
#1VOC 水銀燈換裝LED燈(1盞) 641 0.3
 
方案類型 方案說明 節水績效
(M3/年)
減碳績效
(公噸CO2e/年)
節水 LHF 分流改善 27,500 4.6
WWR 一般酸回收系統 RO by-pass 計劃 3,720 0.6
   
  二、廢棄物及資源回收
 
(1) 製程減廢
    為落實公司環保政策「主動引進及發展環境友善技術,強化源頭減廢及污染預防,以達到綠色設計、生產與經營之目標」,在不影響產品品質之前提下,研擬減廢方案並設定方案目標,經管理階層審核同意後,成立專案小組執行方案。
  執行過程運用ISO 14001管理循環機制「PDCA」(規劃(Plan)、實行(Do)、檢討(Check)、審查及矯正(Action))持續改進,直到達到成效後結案,並將成效較好方案透過廠際技術委員會與各廠交流,技術成熟之減廢措施予以標準化,成效卓越之部門或個人更列入部門及個人年度考績,激勵員工提案創新方案。
  聯電Fab8E廠2013年~2014年推展執行之製程減廢方案如下。
 
部門 方案說明

減量績效
(公噸/年)

LT TRS DUV顯影液減量 1.42
LT DUV 430光阻減量 0.03
LT DNS BARC光阻減量 0.38
LT PR/PR AQ8/DEV DI/Rinse filter減量 0.00
LT DI 水 Back side Filter lifetime延長30moth-->36month 0.13
LT DUV Skip TARC減量 0.02
LT DNS DUV42 BARC光阻減量 0.03
LT UV26光阻 usage down 0.02
LT CFA 3000L G/R光阻減量 0.00
LT CFA 5000L B/R光阻減量 0.00
LT TRD DUV顯影液減量 0.61
ET APM measuring tank 秤量方式改造降低NH4OH用量 1.12
ET H2O2 使用減少(秤量管改造) 1.45
ET GSS-A7 H2SO4延酸 0.44
ET OK-82減量 0.43
DF 化學槽NH4OH (氨水)減量計畫 0.21
DF RCA1 measuring tank 秤量方式改造降低NH4OH用量 1.18
DF KTD/KND機台 HF減量 0.50
DF KHD機台 HF減量 0.06
TF CMP post cleanner 氨水減量 2.56
TF RWS HF用量減量 0.70
FE 污泥減量(運轉參數最佳化) 2.03
 
(2) 廢棄物回收再利用
    為落實公司環保政策「順應國際環保趨勢,善用與回收能源與資源,以作為世界級之環保楷模」,本廠以傳統的污染防治手段(即管末處理)滿足對環境的基本要求,進一步讓生產的過程儘可能不讓污染物產生,即使最終產出之廢棄物亦可作為另一產業的有效資源,即以資源回收再利用為廢棄物之第一處理目標。
  聯電Fab8E廠持續推動各項資源回收廢棄物再利用方案,廢棄物回收再利用總量逐年提高,廢棄物回收再利用總量自2011年至2013年分別為962公噸、1,088公噸、1,053公噸。廠內單位積體電路之廢棄物產量(ton/m2)則分別為0.108 ton/m2、0.100 ton/m2及0.109 ton/m2
  2013年度廠內主要回收再利用項目有:廢溶劑、廢硫酸、廢光罩、廢空桶、木材、廢紙、廢活性碳、廢鐵、廢保麗龍、廢塑膠…等項目,回收再利用總量1,053公噸,惟回收率較2012年稍低,其原因為部份廢棄物處理途徑變更為焚化處理,而造成回收率下降。
 
(3) 廢棄物妥善處理
    聯電Fab8E廠在2001年一舉通過DNV國際驗證機構之ISO14001環境管理系統及OHSAS18001職業安全衛生管理系統整合驗證,及於2013年9月接受認證單位(DNV)進行稽核亦順利通過,取得DNV ISO 14001 & OHSAS 18001三年複核合格證書,本廠稟承此精神及成績持續推動環安衛管理系統之運作。
  聯電考量廢棄物管理的全面性與各部門的專業性,聯電廢棄物管理組織涵蓋風險管理暨安環處、採購以及物管等部門,力求管理面更加完善,並針對廢棄物管理訂定相關規範,完整涵蓋各類廠內管理作業及清除處理廠商稽核作業,且均已納入ISO14001管制文件。
  三、綠色交通
 
(1) 減少旅次:建置e化多方會議系統,提供竹科、南科及新加坡各廠同仁使用,減少商旅次數。
(2) 推動自行車、步行及設置電動機車充電站:廠內增設淋浴措施供同仁盥洗;取消部分機車格位,改增設自行車位並設置電動機車充電站;張貼標語,鼓勵同仁走樓梯及乘自行車。
(3) 推動共乘減碳:新增互助式「交通共乘平台」,便利員工尋找共乘夥伴。
(4) 推動低碳駕駛(提醒同仁進行機車定期檢測):每年配合新竹市環保局到廠進行機車定期稽核,提醒同仁按時進行定檢。
  四、生活減碳
 
(1) 辦公室節能省電:辦公室照明加裝下拉式開關;高耗能燈具水銀投射燈改LED燈;中午休息時間關燈;人少區域燈光照明減半及控管照明時間(設定節能迴路,以Timer及檢滅器兩種方式管控設定);各層指示燈/路燈/部分探照燈,更換為LED燈具;辦公室維持在26℃以上。
(2) 辦公室省水:加裝省水設備,改為噴霧式供水,並張貼省水標語。
(3) 辦公室作業減碳:明顯處張貼日常節能減碳標語或提醒標示;取消擦手紙供應;取消紙杯供應;影印紙回收使用;開發電子表單系統,推行無紙化;電腦主機下班即關機;熱水開飲機分時段供應;餐廳不提供免洗餐具;於BBS設置資源交換及二手市場平台;公司內商店自備茶杯優惠。
 
(4) 宣導落實垃圾分類:張貼各種廢棄物回收相關資訊於各區公佈欄及電子佈告欄系統,或於各部門月會進行宣導,並在各回收桶上均張貼回收物品照片,提醒同仁落實綠色生活。
(5) 低碳消費:配合政府「推動民間企業與團體之綠色採購實施計畫」,聯電也推行及鼓勵辦公室用品購買環保標章產品,促進綠色產業發展及減少對環境負面衝擊。
(6) 環境綠化減碳
 
 
  五、單位產品減碳成效
 
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減碳教育宣導

  一、推動環境教育工作組織
    聯電電成立全公司教育訓練委員會,整合公司訓練資源加以運用。其中,環境教育是由風險管理暨安環處教育訓練委員會負責統籌規劃,目前每年定期開立各類環保教育相關訓練課程、舉辦環保講座、環保月活動等,以供同仁學習與參與。
  此外,聯電於1996年成立之「聯華電子科技文教基金會」,多年來持續社會公益之推廣,目前以長期的教育協助為重點,並鼓勵同仁擔任志工參與各類公益活動,於環境教育方面,主要包含定期與社區環保站合作,共同推動資源回收分類眷屬親子環保體驗教育,及定期於學校舉辦環保志工說故事活動。
 
  二、環境教育訓練宣導管道
 
(1) 教育訓練管道:新進員工教育訓練、在職員工教育訓練、廠區E-Learning教育訓練及外部教育訓練。
(2) 環保訊息宣導交流管道:公司內部設有e化之宣導平台(如:工安環保電子公佈欄、E-learning教育訓練系統等)、廠區4F、7F公共區域設置工安環保佈告欄,及透過ESH信箱及提案改善系統提出,藉由系統追蹤執行狀況。
  三、減碳教育宣導活動
 
(1) 設置「環保節能愛地球,減碳抗暖動起來」環保節能宣導專區
(2) 每年舉辦環保月活動推廣減碳觀念:2014年環保月活動內容包含,【生態旅行】、【環保知識挑戰擂台賽】、【綠市集】、【環保講座】、【環保手工皂DIY教學】。
(3) 響應夏至關燈活動:聯電於每年「夏至」關掉竹科及南科所有廠區及聯園活動中心之外牆景觀燈及裝飾燈,並於eUMC宣導同仁響應夏至關燈活動。
 

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特殊事蹟及貢獻

  一、獲獎事蹟
 
  (1) 2014年環保署節能減碳行動標章
  (2) 2013年竹科管理局節水績優廠商
  二、合格證書事蹟
 
  (1) 2013年經濟部工業局「清潔生產評估系統」合格廠商
  (2) 2009~2013年環保署GHG先期專案減量額度申請核准廠商
  三、合格證書事蹟
 
  (1) 2014年世界地球日發起「Eco-echo生態保育希望工程」
  (2) 2013年參與新竹縣環保局植樹活動
  四、歷年得獎實績
 
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