漢磊科技股份有限公司 黃冠綿 小姐

99年度科學工業園區優良環境保護專責人員

空氣污染防治專責人員

漢磊科技股份有限公司 黃冠綿 小姐

現職

漢磊科技股份有限公司 資深工程師

個人工作內容摘要

  • 空氣污染防治相關事項管理:設置及操作許可申請、揮發性有機物及無機酸污染防治紀錄申報;空氣污染防制費計算、繳費及申報;固定污染源定期/操作檢測規劃、申報、追蹤;相關設備基本資料及運作掌控;法規查核及改善;建立操作部門人員法規觀念;外部相關環保問卷填寫;柴油充填檢測、報告製作等。
  • 事故應變、巡檢等。
  • ISO 14001推動及執行:規範制定、管審會資料製作及召開、內部稽核、外部稽核應答、環境管理方案推動及追蹤、內外部溝通參與及諮詢、環境考量面評估、不符核矯正與預防、外來文件分類管理等推動及架構建立到取得證書。

公司簡介

漢磊於1985年設立於新竹科學園區,目前員工人數約1400人,資本額約1億美金,是國內第一家矽磊晶片(Epitaxial Process)製造廠,產品定位於少量多樣,能針對客製需求生產,並使用特殊製程以生產性能符合高元件密度、高轉換度及高功率負載要求之磊晶,廣泛運用於功率元件、Bipolar及BiCMOS 元件等。漢磊選擇以此技術進入商品市場,在半導體代工產業中,創造了獨特的經營利基,多年來在台灣也一直居於領先地位,根據Garter Dateguest統計:目前漢磊為日本以外亞洲區最大供應商。

漢磊因在磊晶技術方面的卓越表現,也在1992年跨足半導體元件代工產業,成立全球第一家雙載子積體電路(Linear Bipolar IC) 之專業代工廠,更在1996年開始提供功率半導體(Power MOSFET)元件之代工。直到今天,漢磊也成為台灣專攻『功率』及『類比』元件代工技術最具代表性的專業廠商。多年來在這個由晶圓代工大廠稱霸的市場生態下,漢磊早已穩建的開創出一個同中求異的利基空間,逐年突破市場佔有率,自1999年以來不斷擴充產能,目前除擁有2座矽磊晶廠外,也擁有2座5吋及1座6吋之晶圓代工廠,使漢磊成為台灣小尺吋晶圓代工廠中最具市場價值及發展潛力的企業。

漢磊注重企業對環境保護及廠區安全應有之社會責任,並於2001年及2002年積極推動ISO 14001及OHASA 18001管理系統,取得認證後一直維持至今。
 

具體事蹟

自88年進入漢磊以來,即陸續執行環保相關業務(廢棄物、廢水…等),自接手空污業務開始即著手進行全盤review各項相關基本資料及法規更新並建立及更新相關資料庫,以達符合法規及善盡環境保護之責任,詳細說明如下:

  一、法規規定應執行業務辦理情形
 

(一)釐訂污染防制(治)設施、改善、清理計畫
1.原物料普查及資料庫建立:整合建立化學品淨重資料庫、化學品全部換算為純物質、不同品名同性質化學品歸同類(如:FH-6400L、FH-6400LD許可統一申請為光阻液)、不同濃度相同化學品歸同類(如:1%HF、49% HF許可統一申請為HF)、歷年使用量統計建立、申請之使用量重新評估、各製程設備使用之品項調查建檔與建立每月更有效率的申報報表,以提升數據正確性及管控效率。
2.調查建立各製程設備產生之污染源流向,以確實掌控公司污染物及防制狀況,降低對環境衝擊。
3.排放管道採樣設施,重新review及工程改善,如:採樣平台鏽蝕更新、採樣孔開孔位置及相關規格之改善,以達採樣人員安全、法規要求及增加採樣數據正確性。
4.EMS基線資料調查及建立,以符合環保署要求及加強廠區共同資料一致性。

(二)管理、維護污染防制(治)、處理設施之正常操作,與監督實施保養、維護、測試並作成相關紀錄
1.防制設備操作控制參數重新review及許可修正,以確保防制設備確實有效運轉,降低對環境衝擊。
2.建立固定污染源防制設備操作部門人員應有法規正確觀念及態度,以能自我控管良好,增加對防制設備掌控度,避免異常污染排放。

(三)辦理、審查有關許可或計畫書申請
固定污染源95年設置許可變更及97年操作許可重新review及異動申請,已取得核准,符合法規要求,落實現況操作。

(四)辦理各項法規規定之監測、檢測、運作紀錄等工作,並定期申報
1.固定污染源定檢及操檢事宜處理及申報,皆照預定時間完成,符合法規要求。
2.建立更有效率及正確性的半導體製造業揮發性有機物及無機酸污染防制紀錄申報書報表資料庫,供廠務部門日常紀錄核對及申報環保局使用,提升早期檢視功能並符合法規要求。
3.空污季報及空污費每季申報/繳交,以符合法規要求。

(五)擬定並協調突發事故、緊急應變計畫及措施
1.磊晶製程管路及local scrubber安全風險評估與監控,以減少事故發生時之污染物排放。
2.與空污設備操作部門溝通良好,其有任何狀況即會立即告知,並立刻共同商討最佳預防及應變措施。

(六)其他法規規定事項辦理情形
1.柴油含硫量灌充監控,以符合法規規定及減少對環境危害。
2.依法申請核備:如採樣孔位置無法符合8D:2D設置,申請1.5D:0.5D核備,以及免申報個別物種排放量之核備,以符合法規要求。
3.配合政府單位每年進行環保問卷調查、計算及填寫:TSIA之ESH -DATA、半導體砷化物使用量及相關資料調查、環保署95年環保支出統計調查等資料填報。
 

  二、污染改善措施、具體效益及對任職機構之貢獻
 

(一)已採行污染改善措施之困難度、技術創新性、完整性
因磊晶製程(M01)製程條件須使用大量高純度的H2當載氣,在安全考量下local scrubber防制設備須為完全密閉規格設計,若將所有71隻local scrubber匯集進入central scrubber會有產生連鎖爆炸疑慮;但主管機關顧慮到製程內使用HCl及三氯矽甲烷(TCS)氣體,需有污染處理設備,所以只能將local scrubber列入空污處理設備。但目前法規訂定均以central scrubber的狀況訂定,local scrubber在執行上有許多困難須一一克服:
1.因腔體必須密閉設計,故循環水流量計是無法安裝且無法維修保養,但為符合法規循環水流量紀錄之規定,與科管局溝通後,改以紀錄進水量參數取代,並進行許可異動,以達到水量確實監控,同時又符合法規要求。
2.使用製程廢水替代自來水:評估利用製程廢水處理local scrubber效果,發現其處理效果與自來水的效果是一致的,同時又可達節約用水、減少加藥量,降低環境的負擔。
3.因在生產時local scrubber內的氫氣濃度甚高,所以在檢測時風險亦甚高,所以在檢測時,特別與檢測公司溝通如何避免危險發生,至今均能符合檢測規定與安全需求。

(二)污染改善具體效益
1.磊晶製程之local scrubber,多年來檢測值皆為 ND,顯示此local scrubber處理廢氣是很有效率的,讓磊晶生產不衝擊環境。
2.local scrubber使用製程廢水替代自來水,此改善措施,減少每天約358噸的自來水使用量。
3.進行磊晶製程及local scrubber設備安全防制,預防事故發生率降低,及降低損害範圍,減少事故時空氣污染物釋放大氣之機率。

(三)於業務上之表現(如:作業管理、操作、維護及保養制度等之推動)
1.安排local scrubber之煙道檢測與磊晶製造run 貨時間ㄧ致,確實掌控磊晶製程設備污染防制之有效性。
2.防制設備監控系統由專責人員評估確認其效果後,才移交防制設備操作部門人員運作及維護,確保防治設備監控系統之有效性。
3.適時提醒監督操作部門注意洗滌塔流量計及拉西環乾淨度,以確保洗滌塔之去除效率減少對環境之衝擊。
4.教導防制設備操作部門人員操作對於參數異常不可忽略應立即處理觀念,以確保防制設備一直運作正常,不因設備異常而衝擊環境。

(四)對任職機構之貢獻度
1.評估活性碳塔內活性碳使用效率,變更更換頻率由原設計之半年一次增加至每季一次,以避免脫附,減少對環境之衝擊。
2.評估活性碳槽體密合度,進行工程改善及更換活性碳後再度密合加強,避免外界因素影響活性碳壽命而減少支出。
3.活性碳塔經上述改善後,已能達到控制效率要求之規定,同時又能減少空污費支出。
4.持續不斷review法規及ISO14001條文要求,還有國際趨勢,以掌控最新資訊並及早因應。
5.持續監督操作部門,以確實監控空污設備操作的有效性,符合環保法規要求。
6.建立空污運作相關資料庫,以便於傳承業務。

(五)任職機構環境貢獻度
基於以上努力及改善,讓漢磊創新廠在環保方面有良好的成績,說明如下
1.於2001年取得ISO 14001認證,並持續維持有效性。
2.於2009年取得Sony GP證書。
3.ISO 14064(GHG)溫室氣體於2000年開始盤查認證。
4.近十年來漢磊創新廠環保紀錄,無任何違規及罰款事項。

其他特殊事蹟

  創新廠榮獲新竹縣98年環保企業評鑑特優獎。