台灣積體電路製造股份有限公司八廠 張家豪

 

1.參選類別

 

廢水處理專責人員

2.現職(參選時之職位)

 

資深工程師

3.個人工作內容摘要

  1. 降低廢水排放量,並提升可再利用率。
  2. 降低自來水用量。
  3. 降低純水化學品用量。
  4. 維護處理系統,確保其運轉穩定。
  5. 在維持排放水質合乎標準之條件下,降低運轉成本。


4.公司簡介

台積電主要業務為專業積體電路製造服務,在生產過程中須使用製程設備、矽晶片、化學品、氣體及水電能源,其日常運作管制不僅要符合相關環保、安全與衛生法令規定,並以國際相關規範為標竿。在此前提下,台積電之環保、安全與衛生目標為「預防污染,提高資源使用效率,成為永續發展之企業;預防意外事故,促進員工安全衛生及保護公司資產,營造安全舒適的工作環境」。為達成上述目標,台積電承諾持續改善。


5.具體事蹟

(以個人貢獻為主,在專責類別上對公司及環境之事蹟,必須有量化或具體事證,所述內容應參照評選項目,包含:1.法規規定應執行業務辦理情形,2.污染改善措施、具體效益及對任職機構之貢獻)

 

  1. 依法規規定進行廢水各項申報作業,參與有關許可及水措計劃書申請。
  2. 執行系統改善及定期維護保養作業,以維持廢水處理系統之放流水質穩定。
  3. 執行系統改善及定期維護保養作業,以維持回收水處理系統之回收水質穩定。
  4. 建立Low DI-2系統處理FAB 化學機械研磨及鹼排廢水加以回收,自來水節水量計畫達840CMD。
  5. 建立MAUR冷凝水循環再利用系統以循環供水方式提供MAU用水,自來水節水量最大可達720CMD。
  6. 改善晶圓清洗製程,將化學品氨水(NH4OH)減量40%,由1600 kg/day 降低至960 kg/day,並且修改機台排水管達到濃稀分流收集,減少30%氨氮排放量,放流廢水氨氮濃度自105 ppm降至53 ppm。
  7. 氨氮廢水處理系統建置,廢水排放氨氮減少220kg,氨氮整體削減總量已達到>80%;放流氨氮濃度已下降至25~28ppm,不僅符合法規排放標準,更低於免收費標準。
  8. 氨氮最佳化管理,以機台排放管路分流管理及MD (membrane degasifying) 方法去除廢水中氨氮,調整系統參數最佳化,兼具符合法規排放標準及硫酸銨減廢目的。
  9. 以冷凝式除濕乾燥系統去除污泥中含水,改善後減少污泥含水率至30~40%,F8污泥量降低約292噸/年,全台積污泥量估算可降低約1,200噸/年。
  10. 建立TMAH處理系統,維持放流水TMAH濃度<30 ppm。