環保園地
台灣積體電路製造股份有限公司八廠 謝璧晃
1.參選類別：
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廢水處理專責人員 |
2.現職（參選時之職位）：
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工程師 |
3.個人工作內容摘要
- 降低廢水排放量，提升可再利用率進而降低自來水用量
- 降低純水化學品用量
- 維護處理系統，確保其運轉穩定
- 在維持排放水質合乎標準之條件下，降低運轉成本
4.公司簡介
台積電主要業務為專業積體電路製造，在生產過程中須使用製程設備、矽晶片、化學品、氣體及水電能源，其日常運作管制不僅要符合相關環保、安全與衛生法令規定，並以國際相關規範為標竿。在此前提下，台積電之環保、安全與衛生目標為「預防污染，提高資源使用效率，成為永續發展之企業；預防意外事故，促進員工安全衛生及保護公司資產，營造安全舒適的工作環境」。為達成上述目標，台積電承諾持續改善。
5.具體事蹟
(以個人貢獻為主，在專責類別上對公司及環境之事蹟，必須有量化或具體事證，所述內容應參照評選項目，包含：1.法規規定應執行業務辦理情形，2.污染改善措施、具體效益及對任職機構之貢獻)
1.依法規規定進行廢水各項申報作業，參與有關許可及水措計劃書申請。近期申請之變更如：2019/8 申請變更八廠用水計畫書(5,800↗6,288CMD)原因為八廠已逾10年未變更用水計畫，期間廠區產能持續擴充，至2019Q2廠區平均用水量已達5,730CMD，預估2019至2023年廠區用水將達到約為6,288CMD，屆時用水需求將超出核定量(5,800CMD)，故申請以6,288CMD 為八廠用水核定量。
2.執行系統改善及定期維護保養作業，以維持廢水處理系統之放流水質穩定。
3.執行系統改善及定期維護保養作業，以維持回收水處理系統之回收水質穩定。
4.建立MAUR 冷凝水循環再利用系統以循環供水方式提供MAU 用水，自來水節水設計量達720CMD，2020/5實測最大量為632CMD。
5.設定DIW/Move 為有效DIW 節水指標執行節水：以W1905週為100%計，截至W2022週已降為80.7%，DIW 節水率為19.3%。
6.因應廠區L/S 擴充，新增LSR-2 回收製程廢水(720CMD)與節水及廢水減量(-353CMD)之目的。
7.規劃SWR 系統建置Auto filter 過濾粒徑0.1mm 以上之泥砂，減少UF 膜更換及清洗頻率，進而維持產水量至LDI-2回收系統。
8.建立TMAH 處理系統，維持放流水TMAH 濃度<30 ppm。
9.氨氮廢水處理系統建置，配合11. 氨氮分流，放流氨氮濃度由68.5ppm 下降至25~28ppm，不僅符合法規排放標準，更低於免收費標準。
10.針對使用氨水機台的排水管路進行分流工程，分作兩階段：1. FAB Tool 分流，減少放流當量約28.23ppm、2. EBO tool，減少放流當量約5.5ppm。
11.持續改善八廠NMP 廠區放流濃度，符合環保署訂定之NMP 放流水標準(<1ppm)最新(2020/5)F8廠區放流水送樣分析NMP 濃度 : <0.001ppm
12.原回收系統 LDI-1 現地改造為UPW system，進而將原 RCW 供應改為 MAUR產水供應 空汙防制設備Central Scrubber (C/S) ，煙囪氫氟酸濃度可由4.8ppm↘0ppm。
13.建立雨水排放預警pH 計/截流/抽回廢水廠處理功能，避免廢污水溢流至雨排排放至廠外。
14.執行廢水廠全面翻新，包含：(1) Dike 內牆面補漆、6S 清潔、(2) 化學品管路除漬補漆(IPA/NMP/EKC/H3PO4)、(3) 桶槽補漆(硫酸銨、鹽酸、磷酸)。
15.持續改善氨氮系統硫酸灌充管路，由原戶外加藥改至 CUB 灌充區集中管理，降低灌充作業風險。
16.規劃環廠加藥系統，化繁為簡，以circulation pump 取代各系統加藥控制及減少廠內不同廠牌/型號備品數量。最小化加藥機數量，降低洩漏風險及人員PM loading
17.廠區每季針對化學品洩漏、廢污水洩漏等情境皆舉辦緊急應變演練，近期完成H2SO4灌充噴濺應變處理之演練。