台灣積體電路製造股份有限公司 鄭文彥 先生

102年度科學工業園區優良環境保護專責人員

廢水處理專責人員

台灣積體電路製造股份有限公司 鄭文彥 先生

現職

台灣積體電路製造股份有限公司 工程師

個人工作內容摘要

  • F12B P4/5廢水處理專責人員(協助P4/5廠區廢水處理系統順利運作)
  • F12B P4/5相關節水設備評估與水處理
  • F12B P4/5相關水處理系統之運轉操作、維護及預防保養規劃

公司簡介

台積公司成立於民國七十六年,主要業務為尖端積體電路委託製造服務,在生產過程中須使用製程設備、矽晶片、化學品、氣體及水電能源,其日常運作管制不僅要符合安全衛生環保法令規定,並以國際相關規範為標竿。
本公司之目標為「預防意外事故,促進員工安全衛生及保護公司資產,營造安全舒適的工作環境;預防污染,提高資源使用效率,致力成為綠色企業。
本廠區除積極推動各項環保改善具體作為之外,亦推行全廠員工參與節能減碳做環保、節水減廢愛地球活動,期望能達到環境永續經營之目標。此外本廠區在環保改善方面亦受到外部的肯定,在101年度獲頒環保署連續三年之企業環保榮譽獎座、經濟部第一屆綠色工廠標章、環保署節能減碳行動標章、ISO50001能源管理系統及清潔生產評估系統等殊榮。

具體事蹟


  1. 法規規定應執行業務辦理情形
 

(1) 釐訂污染防制(治)設施、改善、清理計畫本人面對未來環保標準之訂定採積極配合的態度,並與研究單位合作搜尋新技術。廠內因應廢水處理及節水的措施方式如下:

  • 成立專案小組每月定期開會評估新技術。
  • 源頭端與研發單位合作進行原物料減量的實驗規劃。
  • 評估增設新處理設備,以處理氨氮為例,今年廠內增設氣提法(stripper)處理設備處理及TMAH回收處理設備。
  • 同時針對其他公司較優的環保技術派員至現場參訪學習。
  • 搜尋相關文獻,尋找新技術。
  珍惜水資源,永續發展,節約用水與水回收再利用,是企業全體員工的理念;本人針對廢水處理及節水措施自九十八年正式營運開始,配合廠區發展持續進行改善之具體措施如下:
 
改善方案執行期程 廢水處理及節水改善方案
九十八~九十九年 Tool參數設定及Drain管分流管理最佳化改善計劃
增設DIR超純水回收水系統
一般及含銅化學研磨廢液回收系統建制
濕式洗滌塔回收系統建制
低濃度HF(D) recovery 選別至AWR管理改善回收
雨水回收系統建制
九十九~一百年 增設一般酸鹼廢液AWD/CWD Reclaim system回收系統建置
Stripper/MAU reclaim system回收系統建置
Cooling Tower冷卻水塔排水回收系統建制
一百年~一百零二年 AWD(O3)製程排放廢水回收再利用
回收系統RO濃縮水再精練回收至次及系統運用
TMAH回收系統建制及運轉
氨氮廢水處理系統建制及運轉
 

(2)管理、維護污染防制(治)、處理設施之正常操作,與監督實施保養、維護、測試並作成相關紀錄

  • 定期檢討事項,並進行控管
  • 控管外排放流水水量及水質
  • 化學品使用量及污泥量控管
  • 期進行設備保養及抄表作業
 

(3)辦理、審查有關許可或計畫書申請

 每月定期檢討各項法規新增或修改之規定

  • 水措月會提出新增或修改法規,確保各廠都能掌握最新資訊。
  • 水措月會針對法規新增或修改之規定,提出各廠現況及改善方式
  • 水措總負責人員與各廠水措負責人員進行確認及稽核,以確保系統運轉都能符合法規所規定項目。
  • 針對系統新增及修改部分提出水污染防制措施計畫書修改,以符合運轉現況
 

(4)辦理各項法規規定之監測、檢測、運作紀錄等工作,並定期申報

  • 24小連續自動監控系統持續監控
  • 定期進行執行法規規定之運作紀錄填寫
  • 每半年委托合格檢驗廠商進行原水及放流水質檢驗並至EMS系統進行申報
 

(5)擬定並協調突發事故、緊急應變計畫及措施

  • 災害防救訓練計畫
     (a)定期訓練
     本廠定期舉辦每季、每年之緊急事故應變演練,訓練之目的為模擬真實狀況,以訓練成員能快速處理緊急狀況。
     (b)無預警演練
     為強化同仁緊急應變能力,每年舉行無預警之緊急應變演練。
     (c)新系統上線運轉操作及災害防救演練
     針對新系統上線運轉時人員會進行2次以上運轉操作課程訓練。


  • 緊急應變措施
     (a)異常、設施故障或意外事故之抑止或排除;必要時應即啟用備份裝置。
     (b)限制或縮小污染影響範圍,或採取減輕危害之措施。
      a.廢水處理廠之容積均採用FRP或RC加FRP內襯之桶槽,因此,即使洩漏亦將排入廠內水溝(有Epoxy舖面),並以Pump打入中和系統處理,無外排或污染地下水體之虞。﹝有機溶劑則打入有機溶劑儲存槽﹞
      b.廠區之雨水排水溝均有設置雨水遮斷閘門,若廠區污染物或廢(污)水因輸送或貯存設備有疏漏時,仍無污染至廠外水體之虞。
     (c)減少或停止服務作業量。廢水處理設施均有設置備份裝置,因此,對於操作異常、設施故障或意外事故將可有效抑止與排除,然如仍造成廢水廠喪失功能,將於暫存槽之處理時間內協調生產線進行減少或停止生產。
     (d)清除洩漏污染物質。於化學品或廢水洩漏時,均有設置沉水泵浦可將洩漏之化學品或廢水打入中和系統處理,無外排污染至廠外水體之虞。
     (e)劃設安全與管制區域,避免影響其他人員或事故。


  • 十二廠四期/五期緊急應變小組
    緊急應變小組(計有廠務、急救、救災、管制及疏散各小組)平時排定ERT訓練進度,並在每月安委會中報告訓練之內容、成果及達成進度。在演習的過程中讓ERT成員對於緊急事故之危機處理有更深入之認識,並使員工對於廠區安全的危機意識有明顯著提昇。
  2. 污染改善措施、具體效益及對任職機構之貢獻
  (1)已採行污染改善措施之困難度、技術創新性、完整性

本廠區為台積公司的研發廠區,因此在運轉上需面臨到各種最新製程所需用到的特殊化學品於使用過後的廢水處理問題,為避免製程使用過後的廢水在後段處理時的問題,本廠區採以源頭把關的機制進行管控,希望能將污染最小化,效益極大化的目標,以下列舉範例進行工程改善說明。

  • 新化學品及機台評估平台。
  • 新系統評估範例<污泥減量>
  • 新機台評估範例<節水要求 源頭減量>。
  • 廢顯影液(TMAH;氫氧化四甲基銨)回收。
 

(2)污染改善具體效益

  • 廢水防治方面

由於本廠區主要的水水來源為製程廢水,因此若能提高製程廢水回收率,除了可以減少外排放廢水量之外,亦可以大幅減少水資源的浪費,截至今年六月底,本廠區製程廢水回收率已由98年時之85%提升至89%,成效卓著。

 (a)水污染防制改善項目-(純水系統內部再利用)
 (b)水污染防制改善項目(純水系統排放再利用)
 (c)水污染防制改善項目-(製程現場排放再利用部分)

  • 節水方案及效益說明

有鑒於晶圓廠的用水量越來越大,而水資源的獲得越趨不易,節水變成為相當重要的問題,因此於建廠初期即設置多項回收水系統,以降低對原水的依賴,及廢水排放,於廠區運轉後又針對參數調整、水質評估等進行節水減量計畫。利用100%回收聚丙烯(Recycled Polypropylene)為建材施作,有效減少工期,立即投入回收,環保建材亦對環境傷害降至最低,效益平均每年收集約6000公噸的雨水,有效利用雨水資源、減少珍貴自來水的耗用。 減量方式首先先進行製程排水水質分析評估,在經由設置各獨立管排分別收集,將較乾淨的用後水回收循環再使用於製程或改用作其他次級用途。次級用途則包括供應冷卻水塔補充水、廢氣洗滌設備補充水、廢水處理之污泥脫水機濾布清洗,或用於沖廁所等不與人體直接接觸之用水。而這些次級用水的耗水量也全都需要合理化以減少不足時所需新鮮自來水的補充量,其每年節水量達3,907,690噸/年。

 
 

重點節水措施如下:

年份 方法 節水成效 經濟效益
(千元/年)
102年 回收系統濃縮水再精練回收至次及系統使用 109,500m3/年 1,314
101年 AWD(O3)製程廢水回收再利用 109,500m3/年 1,314
100年 Cooling Tower冷卻水系統排水回收處理系統建置 73,000m3/年 876
99年 MAU回收處理系統建置 262,800m3/年 1,206
98年 AWD/CWD Reclaim system 回收系統建置 496,400m3/年 14,892
98年 一般及含銅化學研磨廢液、濕式洗滌塔回收系統 1,649,800m3/年 53,655
98年 DIR回收水系統及Drain排水設定最佳化 1,498,690m3/年 44,961
 

(3)於業務上之表現(如:作業管理、操作、維護及保養制度等之推動) 廢水作業管理方面主要透過系統化及績效考核的方式以確認各系統皆在合理的操作範圍下運轉:

  • 異常監控系統-各用水點用量若超出設定,系統將送出警報給操作人員,預防水源浪費,即時追蹤
  • 統計申報-每月定時統計並申報相關廠務系統運轉績效
  • 操作維護管理制度-系統工程師制定相關保養制度 (PM OI) 及工作標準程序 (SOP),TXM人員依據系統保養需求進行相關保養動作,系統工程師檢驗保養成果,對系統操作負責,相關文件修改需受系統監控,以符合 ISO 文件控管要求。
  • 電子交接系統-設立電子交接簿紀錄異常事件,值班人員每日須至現場巡檢,確保系統穩定操作,並將巡檢結果紀錄於電子交接簿內,以供後續追蹤處理,並成為傳承系統操作經驗之知識庫。
  • 績效考核 – 統計分析,藉由比較每日主要系統相關指標,判斷資源消耗是否合理
  • 硬體改善-廠區安裝節能節水設施及感應器減少資源浪費。
  • 教育訓練與宣導-公司內有完善的e-learning系統,故我們也將廠務系統的課程放入,以期由製程、設備同仁對系統的瞭解,從而產生更多節省資源的觀念與作法。
 
   異常監控系統        統計申報         電子交接系統

     及時監測           績效考核            教育訓練

其他特殊事蹟

  本人積極推廣節水經驗,舉辦多場外部參訪活動以分享節水經驗,並藉由觀摩當天其他公司所提出的問題,重新檢討系統可改善空間。
此外本人在環保改善方面亦受到外部的肯定,在99~101連續三年獲頒環保署之企業環保獎、101年經濟部第一屆綠色工廠標章、99年科管局節水績優獎、99年經濟部水利署節約用水績優單位環保署節能減碳行動標章、ISO50001能源管理系統及清潔生產評估系統等殊榮。