台灣積體電路製造股份有限公司十二廠 袁阿欉 先生

101年度科學工業園區管理局優良環境保護專責人員

廢棄處理專責人員

台灣積體電路製造股份有限公司十二廠 袁阿欉 先生

現職

台灣積體電路製造股份有限公司十二廠 資深工程師

個人工作內容摘要

  • tsmc事業廢棄物儲存、清除、處理、再利用相關作業
  • 清除、處理、再利用機構管理
  • 廢棄物清運作業管理

公司簡介

主要產品:
台積電主要生產矽晶圓,是全球最大的專業積體電路製造服務(晶圓代工)公司。

對環境保護工作的理念:
台積公司張忠謀董事長揭櫫台積公司環保政策係以「致力於達成環境永續發展,成為世界級之環保標竿企業」為目標,同時以「遵守法規承諾、強化資源利用及污染預防、管控環境風險、深植環境保護文化、建構綠色供應鏈、善盡企業社會責任」為達成目標之策略。

工作環境描述:
廢棄物管理專責單位「廢棄物資源管理課」,負責統籌全公司廢棄物管理規劃及運作,整合各個廠 區廢棄物,有效率地執行廢棄物管理業務運作,分析整理全公司各廠廢棄物數據,掌控各廠廢棄物品質與異常,有效減少廢棄物異常產出。因為廢棄物專責單位的獨 立超然地位,可以利用廢棄物數據與比較,整合廠區內相關單位配合,推行廢棄物改善與源頭減廢目標。又因是廢棄物單一窗口,與業界廠商聯繫通暢,有利於廢棄 物再利用新技術開發資源。

具體事蹟

法規規定應執行業務辦理情形:

  1. 釐訂污染防制(治)設施、改善計畫
 
  • 台積公司廢棄物管理的觀念已由傳統的清理、處置轉化為綜合資源管理,設有廢棄物資源管理專責單位,將廢棄物視為有價值的資源盡量回收使用。為了資源永續 利用,廢棄物管理的原則首先是製程化學物質減用以減少廢棄物的產生量,再依序為廢棄物再生利用、能源回收,最後才是焚化、衛生掩埋等其他處理方式。
  • 創新的廢棄物3R專案
  民國一百年積極推動多項環保專案,盡可能選用危害性較低的化學原物料並減量使用,及用後回收再利用。例如:
 
  1. 硫酸減量:
    與製程機台廠商合作硫酸減量,同時減少廢棄物產生。
  2. 製程化學品替代:
    利用不含重金屬之一般稀釋化學品取代含銅蝕刻液,減少對環境的衝擊。
  3. 氟化鈣污泥減量:
    將製程機台端之廢液排放管線分流,收集高濃度廢氫氟酸交由回收廠商進行再利用。將廢氫氟酸製成純氟化鈣作為鋼鐵廠製程中的助熔劑,是世界 首例,也是台積公司與合作廠商共同開發的成果。它大量減少了廢水處理所需添加的藥劑使用量。設置氟化鈣污泥乾燥設備,減少其含水量以達到體積減量的目的。
  4. 與供應商持續合作開發化學品回收再利用新技術:
    如回收使用過之研磨液與顯影液等,使可重複再使用於本身或其他行業製程,減少資源耗用及廢棄物產生。
  2. 管理、維護污染防制(治)、處理設施之正常操作,與監督實施保養、維護、測試並作成相關紀錄
  廢棄物作業管理規範:
廢棄物的整體運作執行,皆訂有文件規範,統一管理辦法並明訂各部門權責,以供業務執行單位與人員從事廢棄物作業有所遵循,期能達成廢棄物減廢與運作流暢及符合環保法令。
 
   
  廢棄物分類與暫存:
廠區廢棄物產出時,必須先按其特性分類暫存,暫存於相容之容器。廢棄物分類明訂內部文件以供產出單位有所遵循,並有即時聯絡電話可供 諮 詢。廠內廢棄物區分為辦公室生活垃圾與事業廢棄物,規定源頭丟棄時務將廢棄物丟入正確收集容器,再由清潔同仁,依類別暫存廢棄物儲區,等待廢棄物清理廠商 清運。
 
   
  3. 辦理、審查有關許可或計畫書申請
  廢棄物清理計畫書:
撰寫及簽章竹科8個廠區事業廢棄物清理計畫書,彈性因應廠區廢棄物原物料、貯存設施、清除、處理變動,除符合法令規定外,也使廠區生產順暢
  廢棄物個案再利用申請:
積極尋找業界廠商共同推動廢棄物再利用,同時開發原物料製造商投入。藉助製造生產原物料技術,促使廢棄物充分回收再利用,同時也 利 用製造生產廠商原有產銷通路,讓廢棄物再利用產品順利出售,不會因再利用產品滯銷而變成隱性廢棄物。民國99年至民國100年共完成7件個案再利用申請。
 
   
  4. 辦理各項法規規定之監測、檢測、運作紀錄等工作,並定期申報
  主管機關廢棄物相關稽查:
民國100年相關環保主管機關到廠進行稽核9次,稽查結果皆無任何缺失。
依規定進行廢棄物相關申報:依法規規定定期上網申報廢棄物各項產出及清除情形。
 
 
   
  廢棄物檢測:
為掌握廢棄物產出內容,監視廢棄物成分,民國100年共辦理廢棄物檢測110項。
  廢棄物流向追蹤與稽核:
對於廢棄物清除處理機構,公司訂有嚴謹之廢棄物清理商遴選規範,由相關單位共同至清理機構工廠實地勘查,審查廢棄物清理機構書面證照與實務作業流程,審查通過後遵守法領規定與清理機構簽訂合約,明訂清理機構需遵守環保法令相關規定運作,且善用環保署廢棄物管制資訊網資資源,掌握廢棄 物出廠後流向,利用管制資訊網35天處理期限功能,追蹤委外處理知廢棄物處理情形。為落實產源監督委外廢棄物出理之責,訂有廢棄物清除處理廠商之稽核規定,民國100年執行定期稽核34次,不定期稽核共執行48次,希望藉由廢棄物管制資訊網與現場實際稽核交互查核,確保廢棄物妥善處置
 
 
   
  5. 擬定並協調突發事故、緊急應變計畫及措施
  緊急應變計畫與組織:
台積公司為避免廢棄物儲存/清運灌充過程因異常而造成污染環境或危害人體健康,避免災害事故與損害範圍擴大,對於硬體設施面上設置 應 變器材防護櫃備妥相關應變器材,有效防堵控制,針對軟體設施面上緊急應變組織、疏散通報引導、緊急應變人員編制、全年度演習教育訓練計劃,提供最有效利 器。
 
   
  6. 其他法規規定事項辦理情形
  100年颱風重創宜蘭地區,因廠區汙泥都交由宜蘭水泥業再利用,緊急遴選清淨國際、欣瀛等污泥再利用處理廠加入清運行列,緊急辦理廢棄物清理計畫書(變更汙泥處理方法)變更審查及督導廠內廢汙泥清運作業。
訓練、講習、研討會及觀摩會:為使從事廢棄物環保人員充分明瞭與掌握環保法規異動情形,並能精進環保專業素養,本公司指派環保業務相關人員參加主管機關 舉 辦之環保相關說明會及研討會、毒性化學災害預防演練、環保專責人員座談會、環保法規說明或宣導會及科管局所辦理之研討會議,與國際環保步調密切接軌,盡力 對政府立法提出即時且具建設性的建言,也與其他企業進行經驗分享或是行動整合。參與活動如下:
 

污染改善措施、具體效益及對任職機構之貢獻

  1. 已採行污染改善措施之困難度、技術創新性、完整性
  在廢棄物管理方面,將傳統的清理與處置轉化為有效管理資源的觀念,眾多部門都將之落實於日常運作中,創新做法也一直受到鼓勵。將廢棄物視為資源加以管 理, 做法是在產生廢棄物源頭處確實做好分類收集設施,提高廢棄物的可回收性,並與廢棄物處理與回收再利用廠商合作,尋求及開發可能的回收再利用方式,降低最終 焚燒與掩埋量。更進一步地,台積公司亦積極與原物料供應商合作,盡可能在源頭減少化學品之使用量與廢化學品之產生,並共同研究由原物料供應商回收再製成原 物料,期能達到資源永續循環再利用的目標。
對於原物料的使用,一向秉持最適化的原則,盡量減少原物料的使用,以減少廢棄物的產生及減少生產 成本達到既經濟又環保雙贏的目的。廢棄物資源專責單位,定 期檢討全廠區減量績效。對內,在原物料使用參數不斷調整達到最適化與最少化要求,不但減少生產成本,同時亦減少污染物與廢棄物產生;對外,則要求製程機台 供應商檢討其化學品使用量之合理性,並逐步達到最小用量之要求。
   
  2. 污染改善具體效益
  積極尋找業界廠商共同推動廢棄物再利用,開發原物料製造商投入廢棄物再利用,藉助製造生產原物料技術,促使廢棄物充分回收再利用,同時也利用製造生產廠商原有產銷通路,讓廢棄物再利用產品順利出售,不會因再利用產品滯銷而變成潛在的另一種廢棄物。
近三年本廠共開發六家廠商共同申請廢棄物個案再利用,透過雙方廢棄物回收實際運作,取得廢棄物回收再利用實績後,幫助廠商申請通案再利用,其中五家已取 得 通案再利用。通案證照之取得除擴大廠商收受廢棄物層面,也惠及其他同業廢棄物回收出處。下列廢棄物為再利用後提供不同產業作為生產使用之原料
硫酸廢液產出後,交由再利用廠商產製不同成品,供其他工廠再使用。民國98年至民國100年硫酸廢液共回收約2萬噸,製成各類成品約4萬2仟噸,估計減少使用硫磺原物料2萬2仟噸。
 
   
  磷酸廢液回收後製成各類成品約2仟6百噸。
 
   
  廢溶劑回收後製成之產品供面板業使用或化工廠作原料,估計近三年省有機溶劑原物料約1仟7百噸。另利用廢溶劑之熱能,替代燃煤能源約1百噸,產生蒸汽熱能1272噸。
 
   
  其他各類廢棄物回收後,依其特性作不同用途供其他行業再利用,廢棄物回收數量與產品數量如下附表
 
   
  3. 於業務上之表現(如:作業管理、操作、維護及保養制度等之推動)
  全國首創廢液槽車清運作業,使用 Barcode System 強化廢液槽車清運作業安全機制。為防堵廢液槽車抽取廢液因人為疏忽,將廢液誤抽至不相容裝載槽體,導致工安事件發生,嚴重威脅廢液操作人員安全與財產。
為避免上述工安事件發生,針對廠區廢液抽取設備進行改二階段改善。
 
   
  槽車清運安全管理:
為持續預防公司內廢棄物清運槽車作業可能造成之危害,針對槽車作業之個人防護具及墜落預防,所有槽車作業人員,於Hot zone區作業,作業人員頭部須配帶全罩式防護具;針對2米以上之槽車作業有墜落之虞者,應使人員確實配掛安全帶、安全帽及其他必要之防護具。但槽車上經採其他必要之安全措施者不在此限。
協同廠區相關單位建立tsmc設施標準化:
1. 廢液充填口管徑、尺寸、材質2.廠務儲槽容量、監控項目、作業規範、儲區使用率。
 
   
  廢棄物設施效能改善情形:
為落實及提昇廢棄物再利用成效,將廢棄物加以分類後妥善暫存,並依各類廢棄物屬性及型態設置大型廢棄物儲存區存放。另對於製程 所 產生之廢液,為使能達到減少廢棄物及回收再利用之目的,本廠設置有分流管線進行收集,包括:廢硫酸、廢磷酸、廢IPA、廢NMP、廢光阻液等廢液回收系 統,並訂有標準作業流程規範,建立設施維護相關規則。民國100年度投入廢液回收系統(氫氟酸與磷酸回收系統)之建置,共計金額4仟5百萬元,相關操作維 護皆投入大量人力與物力進行,於廢棄物改善方面不遺餘力。
  廢棄物槽車清運設施改善情形:
為防堵廢液槽車在抽取廢液過程中,因管線晃動或壓力不均等相關問題,導致管線鬆脫而造成廢液溢漏情形,將槽車管線設施加強固定。同時預防槽車抽取廢液發生滿溢或超重之情事,於槽車液位管處張貼標示,清楚顯示槽車裝載高液位高度
 
   
  4. 對任職機構之貢獻度
  廢棄物回收再利用經努力多年來已達到顯著的成果。雖然廢棄物的種類越發複雜,藉由與廠商共同持續發展新的廢棄物回收再利用技術,提升了回收率也降低了廢棄 物掩埋量。民國一百年台積公司廢棄物回收率為91.8%,連續四年優於90%;掩埋率則連續四年維持在1%以下。
所呈現之環保效益包括有實質金錢收入的部分,例如廢棄物之回收再利用收益,以及其他因執行環保計劃而節省之成本,民國一百年總計獲得超過新台幣7億1,700萬元之效益。
 

其他特殊事蹟

積極協助竹科各廠區參予各環保主管機關環保獎項比賽,民國100年協助各廠區共獲得8個環保獎項;其中協助十二廠第四、五廠區獲得環保署企業環保獎、五廠獲得環保署節能減碳行動標章北區特優獎。三廠獲得科管局低碳企業特優獎。

民國100年,配合公司政策與15家國內主要供應商夥伴參加由工業局主辦、工研院輔導之產品碳足跡建置計畫,共同完成國內首例「半導體供應鏈產品碳足 跡」查證;同時也依照PAS2050 與 ISO14067CD 國際標準完成了12吋產品封裝後碳足跡第三者(third-party)認證,成為國內第一家帶領上下游供應商完成產品碳足跡之企業。此外,晶圓五廠亦代 表公司完成八吋晶圓產品碳足跡盤查,所有相關行動與數據皆經由驗證機構挪威商立恩威驗證公司(DNV) 查證,核發第三者獨立查證且為合理保證等級之聲明書,為台積公司的碳管理寫下新頁。

與專業電腦大廠合作推廣公益活動,捐贈廢資訊物品,透過專業電腦製造廠的整修,組裝成完整良好電腦,捐贈給需要團體。從2007年至今仍然 持續捐贈本公司廢棄資訊的相關物品,捐贈統計數量高達34,115件 (估算減少約250萬的廢棄物轉賣收入),捐贈比例約佔捐贈總數量超過30%,是本活動的最大支持者。為使本活動得以持續良善的進行,2011年也派員稽 核整個活動進行作業。捐贈的廢棄資訊物品,透過協力廠商的整修,將組裝完好的電腦,捐贈給偏遠地區學校或弱勢團體,受贈團體已超過100個,受贈地區已遠 到國外的瓜地馬拉。參與本活動不僅從事社會公益,也延緩廢棄資訊物品丟棄壽命,更減少對自然資源的取用。