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事業名稱: |
台灣積體電路製造股份有限公司八廠 |
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事業地址: |
北部科學工業園區管理局力行路25號 |
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聯 絡 人 : |
林俐伶 |
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電 話: |
03-5636688 |
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傳 真: |
03-5662047 |
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資 本 額 : |
2460億元新台幣 |
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員工人數: |
2,351人 |
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主要產品: |
積體電路 |
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廢棄物減量、再利用推動組織、管理制度完善，各項減廢、再利用及節省能資源績效卓著。 |
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對改善廢棄物減量、再利用設計「提案獎勵」鼓勵員工自發性及積極性進行減量措施及作法。 |
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該廠每單位晶圓產生之廢棄物量較相近製程工廠低，且廢棄物回收再利用比率達93.75 %，成效顯著。 |
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設立廢棄物專責管理單位，且建立委外廢棄物廠商稽核制度，處理機制依承包商評比結果採定期及不定期且制度化審核，且稽查制度落實執行。 |
建立產業綠色供應鏈體系機制。
建立綠色採購程序，環保採購金額比例逐年增加，顯示綠色採購觀念已逐步落實。 |
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積極推動員工環保概念提升，辦理相關教育訓練並定期針對廢棄物管理進行內部管考。 |
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榮獲QS9000及ISO9001:2000品質驗證(2001)。
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通過VPP評鑑，榮獲「三年自護榮譽單位」(2001)。 |
北部科學工業園區企業環境自評優等獎(2001)。
榮獲ISO/TS16949:2002品保驗證(2001)。
園區廠房綠美化優勝獎(2001~2002、2004)。
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通過ISO14001驗證及OHSAS18001管理系統驗證(2001)。 |
經濟部節約能源傑出廠商(2002)。
北部科學工業園區管理局環境維護特優廠商(2002)。
北部科學工業園區廠家環保優良評鑑第二名(2002)。 |
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榮獲經濟部節約能源傑出廠商(2002)。
配合新竹市環保局擔任示範觀摩廠(2002)。
北部科學工業園區管理局推動勞工安全衛生單位五星獎(2003)。
配合經濟部節約能源傑出工廠示範廠(2003)。
第十三屆中華民國企業環保獎(2004)。
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榮獲94年事業廢棄物清理及資源減量回收再利用績效優良評鑑特優獎(2005) |
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環境管理理念
本公司一直秉持「永續發展」的理念，用積極的態度看待環保工作，我們相信，【為環境而設計】、【污染預防】、【工業減廢】、【清潔生產】等能夠使企業經濟 與環保兼顧，是『雙贏策略(Win-Win)』。因此，台積電的環境保護策略，在於提供不僅符合政府環保法令的需求，甚且降低污染物排放量，積極推動污染 預防、節約能源及生態保育，致力成為綠色環保企業。 |
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工安環保衛生企劃部就公司整體考量，於每年底規劃下一年廢棄物減量方向，交各廠工安環保部參考，本廠於每年年底訂定明年年度環安衛目標，並於每月ESH review meeting檢視目標達成情況。 |
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獨立設置廢棄物專責處理單位-廢棄物資源管理課及管理權責單位，包括：工安環保衛生企劃單位、廠區工安環保單位、產出單位、廢棄物資源管理單位、倉儲管理單位、員工服務單位、廠務單位、公共設施服務單位。 |
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廢棄物產出單位依據環境管理系統之要求，負責評估、訂定減量目標並執行。 |
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工安環保衛生企劃部及廢棄物資源管理單位制定清除處理廠商遴選標準及合約簽訂程序。 |
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廢棄物資源管理單位制定並執行清除處理廠商之年度稽核計劃、稽核標準及稽核程序。 |
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廢棄物清理及資源減量回收再利用管理制度推動 |
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制訂有「廢棄物儲存管理程序」，以有效管理台積電因從事生產相關作業活動時所產生的相關廢棄物方向及各部門權責範圍。 |
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廢棄物處理之相關文件明定專責單位、處理方式及標準作業程序予以電子化作業。並設有廢棄物清查制度、操作管理制度、廢棄物廠商稽核制度及設備維護與操作制度。 |
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每年舉行ESH金質管理方案評比活動，提昇同仁參與ESH活動意願。 |
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推行辦公室自動化、無紙化及資源回收活動。 |
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持續推動綠色採購，並邀請原物料供應商參與「綠色供應鏈」計畫。 |
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新進同仁接受六小時之環境保護及安全衛生課程。 |
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內部建立系統化的學習體系與環境，其中也設計了環保相關課程如ISO14001 / OHSAS 18001 及工業廢棄物減量等。並且不定期針對不同主題進行開課介紹外，並將其製作成e-learning，讓所有同仁可以隨時進入系統進行線上學習。 |
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定訂【tsmc環境保護暨安全衛生教育訓練程序】規定各相關人員需接受適當之訓練。 |
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不定期指派環保業務相關人員參加環保相關說明會及研討會、配合世界地球日活動、毒性化學災害預防演練、毒災應變演練及每年舉辦環境保護月宣導環保知識及環保政策。 |
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配合環保局及北部科學工業園區管理局舉辦相關觀摩及宣導活動。 |
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每八吋單位晶圓廢棄物產生量逐年下降，2004年廢棄物產生量4.527公斤/片，其中又有93.75%廢棄物回收再利用，即晶圓實際產生之廢棄物為0.283公斤/片。 |
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※近年資源減量及能源節省之效益※ |
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類別
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項目
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數量
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經濟效益
(千元/年)
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資源減量
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減少廢紙產生量 |
211.8萬張 |
2,512
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減少投影片使用量 |
80萬張 |
780
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減少化學品使用量 |
43.1萬公升 |
27,397
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減少溶劑使用量 |
31.3萬公升 |
26,862
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降低廢污泥產出量 |
180公噸/年 |
1,500
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節能 |
減少製程用水量 |
2.63萬公噸 |
40,765
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降低用電量 |
3,020萬度 |
73,821
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降低燃油使用量 |
1,460公秉 |
24,309
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※近年資源及廢棄物減量回收再利用推行措施※ |
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類別
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項目
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回收/減量/再利用措施
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效益
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減量
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紙張
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建立電子化交接系統 |
800,000(張/年)
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建立E-goods(電子化領貨)系統 |
72,000(張/年)
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Run貨系統E化 |
588,000(張/年)
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建置值班人員訓練及測驗之電子化系統 |
758,000 (張/年)
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化學品
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光阻液供應系統中增加一備用槽 |
472,500(公升/年)
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降低回收槽體NMP之含水量 |
36(噸/年)
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降低EKC廢液及延長化學品生命週期方案 |
240(噸/年)
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SLURRY減量計劃 |
210(m3/年)
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取消 Polyimide rework 專用槽 |
NMP-11,700(公升/年)
EKC-11,700(公升/年)
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Transfer Polyimide rework lots |
NMP-5,840(公升/年)
EKC-5,840(公升/年)
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EBO 化學品中央供應系統建立 |
219(公升/年)
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延長超純水系統離子交換樹脂再生週期 |
HCl-879(噸/年)
NaOH- 452(噸/年)
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廢污泥
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降低污泥含水率 |
180(噸/年)
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回收/
再利用 |
熱能回收
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廢溶劑作為水泥窯輔助燃料 |
1,075(噸/年)
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其他
產品原料
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氟化鈣污泥當成水泥添加劑 |
1,549(噸/年)
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硫酸回收再利用-作為次級原料 |
579(噸/年)
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磷酸回收再利用-作為清潔劑原料 |
61(噸/年)
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NMP回收再利用----作為次級原料 |
100(噸/年)
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原物料
再利用
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Chiller乙二醇冷卻劑回收再利用 |
96(加崙/年)
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Mirra Mesa Kinik disk 回收利用 |
2,304(個/年)
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溶劑FC-3283(冷卻劑)回收再利用 |
960(公斤/年)
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※水資源回收再利用-製程廢水回收率達85%※ |
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主要內容 |
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1. |
分析廠區之用水需求及排水特性，針對各廢水特性不同，擬定不同之回收節水策略。 |
2.製程廢水分流，進行製程廢水分管分流作業。
3.CMP混凝沉降系統回收及CMP UF回收系統設置。 |
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投資金額 |
4,750萬元 |
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效益 |
1.製程廢水回收率達85%
2.每年節省水量2,630,000公噸。
3.每年節省經費4,076.5萬元。 |
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改善後 |
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※CMP 研磨廢液減量※ |
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主要內容 |
調整研磨液預流時間及流量並降低研磨厚度，以減少研磨液使用量。 |
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投資金額 |
0元 |
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效益 |
1.每年研磨廢液減少221公噸。
2.每年減少經費155萬元。 |
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改善後 |
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※減少EKC廢液及延長化學品生命週期之改善案※ |
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主要內容 |
改良EKC cover設計以避免含水量及HDA之損失，以達到延長EKC生命週期並減少EKC廢液產生之目的。 |
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投資金額 |
4.5萬元 |
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效益 |
1.每年減少EKC廢液28.8公噸。
2.每年減少經費1,215萬元。 |
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改善後 |
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※NMP含水率小於20%※ |
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主要內容 |
NMP sink drain的改管，由原本的DSOL -1改為接 DWWA，防止DIW溢流到NMP回收槽。 |
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投資金額 |
7萬元 |
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效益 |
1.NMP含水率小於10%。
2.每年減少 NMP廢液產生量36公噸 。
3.每年減少NMP 回收費用98萬元。
4.NMP廢液可由廠商再回收利用，降低燃燒所產生之二次污染。 |
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改善後 |
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※推動電子化系統※ |
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主要內容 |
1.推動領料系統電子化。
2.Run貨系統E化。
3.交接作業E化。
4.建置值班人員訓練及測驗之電子化系統。 |
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投資金額 |
50萬元 |
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效益 |
1.每年紙張用量減少211.8萬張。
2.每年節省經費251萬元。 |
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改善後 |
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製程廢水回收率達85%，每年減少用水2,630,000立方米。
降低廢NMP之含水量，每年減少廢NMP36公噸。
降低EKC廢液及延長化學品生命週期方案，每年降低廢EKC溶劑28.8公噸。
CMP 研磨廢液減量，每年減少使用研磨液220,902公升。
取消 Polyimide rework 專用槽，每年減少EKC廢液11,700公升。
光阻液供應系統中增加一備用槽每年可減少472.5公升光阻廢液量。
建立光罩區化學品中央供應系統，每年減少219公升化學品廢液量。
溶劑 FC-3283回收再利用，每年減少FC-3283(冷卻劑)廢液量960公斤。
Chiller 乙二醇冷卻劑回收再利用，每年可減少乙二醇96加崙廢液量。 |
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推動領料系統電子化(e-GR收貨報告無紙化)，每各部門可透過電子化系統，領取自己所需的原物料，此電子化可使每年約減少30萬張的A4紙張。 |
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建置晶圓生命週期評估報告，對其資源、原物料和環境污染排放物進行數據收集與運算，提供客戶每晶片生產相關之環境特性說明書。 |
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