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事業名稱: |
旺宏電子股份有限公司晶圓一廠 |
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事業地址: |
北部科學工業園區新竹市研新三路3號 |
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聯 絡 人 : |
賴膺仁 |
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電 話: |
03-5788888#3752 |
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傳 真: |
03-5788886 |
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資 本 額 : |
503億元新台幣(全公司) |
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員工人數: |
1010 人 |
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主要產品: |
積體電路 |
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 榮獲頒發協助推廣工業安全衛生技術及觀摩著有貢獻獎牌(1999)
經推行事業單位安全衛生自護制度評鑑，榮獲三年免檢榮譽(1999)
園區廠房綠美化評選特優獎(2000)
新竹市企業環境自評報告優良獎(2001)
第十一屆中華民國企業環保獎(2002)
全國工業減廢競賽績優工廠獎(2002)
榮獲工業減廢績優廠觀摩(2002)
節約能源優等獎(2003)
全國節約用水績優工廠獎(2003)
全國安全衛生優良單位(2003)
事業單位安全衛生自護制度評鑑，榮獲兩年免檢榮譽(2004) |
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廢棄物清理及資源減量回收再利用政策 |
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權利義務：全體同仁都能於舒適安全的環境中工作；並善盡環保安全衛生義務。 |
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遵守法規：確實遵守環保安全衛生法規，並落實環保安全衛生工作。 |
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危害預防：確實執行危害鑑別、危害評估以及環境影響衝擊分析，掌握各種危害源，預防災害之發生。 |
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教育訓練：提供優質且完整之教育訓練，使同仁都能妥善執行環保安全衛生工作。 |
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永續發展：以國際化之職業安全衛生管理系統以及環境管理系統為基準，秉持「持續改善」理念，有效應用整體資源，使環保安全衛生工作永續發展。 |
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廢棄物清理及資源減量回收再利用管理制度推動 |
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制訂有「廢棄物管理程序書」，使廠內廢棄物貯存、清理或回收再利用能符合環保法規規定，避免廢棄物滲漏流佈於環境中造成環境污染或人員傷害。 |
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制定有「廢棄物清理廠商評選辦法」，針對年度簽約廢棄物清理廠商進行每年至少一次的稽核及評鑑，透過稽核落實監督委外清理或回收商之作業。 |
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制定有「環保安全衛生教育訓練程序書」，以增進同仁環保安全衛生理念，並依其作業性質實施預防災變所必要之環保安全衛生教育訓練。 |
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新任人員訓練至少6小時，其中包含3小時危害通識課程與1小時以上之環境保護概論課程(包含環安衛政策之宣導傳達)。 |
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每年依公司內相關緊急應變計劃安排相關ERT演練，按計劃實施演習及訓練。 |
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透過公司內部網路之環安衛專欄或張貼海報，落實宣導環保法規、環保教材及國內外環保新聞。 |
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不定期參加環保相關說明會及研討會，並邀請主管機關與學術界到廠進行環保法規及環保政策之教授。 |
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※整體效益分析※ |
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減廢種類 |
經濟效益
(千元/年)
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環境效益
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能資源效益
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廢棄物減量
(噸/年)
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廢水減量
(噸/年)
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CO2減量
(噸/年)
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水資源
(噸/年)
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電力
(度/年)
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原物料
(噸/年)
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設備設施投資改善 |
33,656
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10.05
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111325
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6771.11
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133,538
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4,515,171
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945.45
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操作效能改善 |
10,728
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15.12
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5.3
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1130.2
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2,215,159
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221.14
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研究發展 |
15,830
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11.16
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-
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30.34
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30,952
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14,452
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※近年減量及資源回收再利用推行措施※ |
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項目
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方案名稱
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經濟效益
(千元/年)
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環境效益
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1
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DI玻璃屋區與水回收計畫 |
7.7
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節水水量387噸/年 |
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2
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Cooling Tower加裝風桶策略 |
258
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節省用電：155520度/年
減少CO2排放79.3噸/年 |
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3
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洗手台水龍頭節水計畫 |
36.5
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節水水量1825噸/年 |
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4
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系統最佳化/設備最高效率運轉策略 |
3145
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節省用電：1894605度/年
減少CO2排放1250噸/年 |
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5
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水路系統及送排風系統裝設變頻器 |
4012
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節省用電：2147040度/年
減少CO2排放1595噸/年 |
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6
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Local Scrubber廢水回收再利用專案 |
2190
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節水水量109500噸/年 |
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7
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HTO石英耗材減量 |
1735
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事業廢棄物減量0.085噸/年 |
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8
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Chiller system提高冰水供應溫度策略 |
2230
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節省用電1343520度/年
減少CO2排放685.2噸/年 |
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9
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控檔片wafer使用減量 |
258
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節省原物料使用量0.282噸/年 |
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10
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VOCs沸石濃縮轉輪處理系統之運轉參數最佳化與節能之研究 |
219.38
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減少CO2排放30.34噸/年
廢棄物減量4.86噸/年
節省用電30952度/年 |
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11
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Photo Resist光阻減量 |
6315.8
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廢棄物減量5.46噸/年 |
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12
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SOG材料用量減量 |
9294.82
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廢棄物減量0.835噸/年 |
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※Local Scrubber廢水回收再利用專案※ |
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主要內容 |
用水設備改用次級替代水源並提高次級用水再使用率，進而降低自來水使用量 |
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投資金額 |
2600萬元 |
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效益 |
1.節省自來水 10.95 萬噸/年
2.減少廢水 10.95萬噸/年
3.每年節省成本219萬元
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※Photo Resist 光阻減量改善※ |
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主要內容 |
利用QCC手法，控制泵浦噴出量及光阻噴灑時間，以減少光阻使用量 |
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投資金額 |
6萬元 |
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效益 |
1.節省光阻使用量5.33噸/年
2.節省成本631.5萬元
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※VOCs沸石濃縮轉輪處理系統之運轉參數最佳化與節能之研究※ |
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主要內容 |
嘗試藉由各項操作參數調整，以達到能源耗費及溫室氣體排放的減低，並兼顧有機廢氣排放量合乎法規要求雙贏的目的。 |
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投資金額 |
0元 |
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效益 |
1.節省原物料(NG用量)：減低14,446 M3/年，相當抑制二氧化碳排放量30噸-CO2/年。
2.一般事業廢棄物減量(保養清洗廢液處理量)：4.86噸/年。
3.用電量減低約30,952 kw-h/年
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※Chiller system提高冰水供應溫度策略※ |
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主要內容 |
1.調整提高冰水供應溫度。
2.將熱回收冰水主機溫水設定最佳化
3.冰水主機依其效率優劣，做為開機priority標準 |
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投資金額 |
0元 |
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效益 |
1.節省之電量為 134萬度/年
2.節省電費金額為 223萬元/年
3.抑制二氧化碳排放量685.2 噸/年
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91年至93年本公司針對提昇製程良率、減少原物料使用量及降低廢棄物產出提出國家專利： |
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專利名稱
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專利內容
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效益
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減少排放廢氣量之蝕刻方法 |
一種減少廢氣排放量的的蝕刻方式，特別是有關在特地參數範圍內使用C3F8蝕刻介電層，以減少副產品數量之方式 |
減少溫室氣體C3F8排放 |
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一種改善光阻曝光像差的方法 |
利用一種具光活性之化學成分之光阻層，來改善光阻像差之方式 |
提升製程的良率，減少晶圓報廢量及降低原物料的使用 |
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可去除乾蝕刻製程後的殘留聚合物且同時降低氧化物損失之方法 |
一種聚合物的去除方式，特別是有關於一種去除聚合物且同時降低氧化物損失之製程 |
減少產品氧化物層之損失，提昇產品之良率 |
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多層化學氣相沉積之積體電路護層及其製造方法 |
一種機體電路護層之結構，特別針對快閃記憶體(Flash memory)的積體電路護層及其製造方式 |
省去固化程序，具有簡化製程、降低生產成本之優點 |
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預防晶圓重複沈積之方法 |
一種預防晶圓重複沉積之方法，特別是有關狀態重設訊號出現時，會使機台停止運作之晶圓重複沉積之方法 |
防止晶圓重複沉積，降低晶圓報廢機率，並減少用物量靶材使用 |
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