台灣積體電路製造股份有限公司二廠 彭建國 先生

102年度科學工業園區優良環境保護專責人員

毒化物專責人員

台灣積體電路製造股份有限公司二廠 彭建國 先生

現職

台灣積體電路製造股份有限公司二廠 主任工程師

個人工作內容摘要

  • 特殊氣體設備運轉操作及維護
  • 廠區氣體系統供應設計及擴充規劃
  • 毒化物申報
  • 演習規劃
  • 氣體設備持續改善
  • 參與專案計畫

公司簡介

台積公司業務範圍主要為積體電路晶圓之專業製造。公司秉持「誠信正直、承諾、創新、客戶夥伴關係」等核心價值,致力於達成「安全零事故、環境永續發展」的目標,成為世界級環保、安全與衛生標竿企業。
為達成目標,台積公司的策略是「遵守法規承諾、促進安全健康、強化資源利用及污染預防、管控環安衛風險、深值環安衛文化、建構綠色供應鏈、善進企業社會責任」。
公司承諾持續改善並做到:
1.遵守或超越國際環保、安全與衛生之相關法規、標準與承諾。
2.建構安全的工作環境,預防職業傷害與疾病,維護員工身心建康。
3.強化綠色設計與綠色製造、提供綠色產品及服務、興建綠色廠房,致力於改善地球環境。
4.關注全球性環保、安全與衛生議題,評估其風險並執行有效的管控措施。
5.深化全體員工對環保安全衛生的認知、責任承擔與文化塑造。
6.建構綠色供應鏈,經由分享經驗與合作改善,共同提升環保、安全與衛生績效。
7.加強與各利害相關者之溝通,主動揭露相關資訊與經驗,促進產業界安全衛生與地球環境的良性改變。
台積二廠為預防氣體外洩而引起災害,於使用場所裝置氣體偵測器、警報系統、語音合成自動廣播系統。並備有外洩鋼瓶之專用容器(ERCV),可處理鋼瓶本身之故障外洩事件。
設置24小時人員值班的緊急應變中心、相關同仁並定期進行完整之教育訓練(training)與定期演練(ERT Drill),以確認應變系統能夠正常運作。教育訓練之部分含蓋全廠同仁,頻率依本公司律定之OI文件進行(優於法規之規範)

具體事蹟

Review System

  1. 台積二廠該區所使用有相關毒化物的資料並列表管控(共四種)。
  第一類毒性化學物質:NA。
第二類毒性化學物質:NA。
第三類毒性化學物質:F2使用者有『Cl2』,『PH3』物質。
第四類毒性化學物質:F2使用者有『BF3』,『1.2-二氯乙烯』物質。
 
  2. 每日檢查前日氣體使用量及scrubbers 狀況,若發現異常使用可快速應變。
  3. 每月初按照毒化物申報規定填寫毒化物申報表。

Auto guard and Bar code integration system

  1. Innovation
  利用新設計一個是Piston式的Auto-guard;另一個是Bar-code系統和PLC控制的系統.這套自動化的系統會在做完pre-purge後並且將Bar-code掃描到的information透過PDA傳到電腦DataBase作比對,所有condition完全正確後透過PLC控制將該氣櫃鋼瓶Auto-guard的piston打開,TCGM才可以將拆鋼瓶工具套入pigtail connector繼續進行更換鋼瓶的動作,若掃到的人或鋼瓶條碼比對錯誤,系統會馬上彈跳出一個視窗,告訴操作人員錯誤的訊息,並且Auto-guard的piston不會開啟,立刻在第一時間避免掉MO事件的發生。
  2. Benefit
 

  • 這套系統能確保"正確的人在正確的時候拆下正確的氣櫃鋼瓶並更換上正確的新鋼瓶"。

  • TCGM/Gas cabinet management: 當TCGM有新進人員加入時,Fac.會針對TCGM進行training,在更換鋼瓶方面,分成四種type之氣櫃進行訓練及認證,通過認證時,Fac會將該員資料鍵入氣櫃更換鋼瓶權限group,並允許該員操作更換該氣瓶櫃,未通過該氣瓶櫃認證之TCGM人員禁止操作更換該氣櫃鋼瓶,避免人員因不了解而發生MO事件。
  • Cylinder management: 固定氣瓶櫃限定放固定種類之鋼瓶,有時同一個氣櫃可放多種廠家之鋼瓶,氣瓶櫃可放置鋼瓶可由Web做設定。
  • Checklist following: 本系統中checklist需要一步一步去執行並且輸入相關數值,而該數值有內建上下限,若over range時則無法繼續執行下一個動作,可以完全讓TGCM必定要照checklist執行,若是over range時必須立刻處理而不被忽略。同時本表單上線可以將紙本checklist廢除,無紙化作業替地球盡一份心力。
  • Gas usage report/monitor automation system: 系統會自動產生每個氣瓶櫃之日用量報表及trend chard,供GC section daily meeting review。其他報表items有:鋼瓶更換數量(支) 、真實氣體用量查詢 、真實氣體異常用量查詢、PDA操作異常查詢 、鋼瓶更換記錄查詢 、特殊條件查詢 、鋼瓶過期查詢,共七項。
  • 真實氣體異常用量查詢: 當用量大於spec時會於server Intouch monitoring中即時發出警報,告知值班人員做應變處理,本用量異常查詢供Daily meeting時review或特殊用量異常時,可由此功能快速找出哪一時段用量有問題,釐清異常問題發生原因並縮短找root cause的時間,避免異常持續擴大。
  3. 殘量氣瓶用量管理
 
  • 修正鋼瓶切邊壓力與重量,以增加鋼瓶使用量及減少更換次數(共13種氣體,毒化物1種)降低瓶風險,已通過製程方實驗認證並已執行。
  • 計算毒化物各類之殘量計算,並依重量百分比例計算於毒化物申報內。Excel內建公式利用每日使用壓力及百分比計算成重量申報。

  

  4. Personal safety improve
 
  • 定期外洩鋼瓶之專用容器(ERCV)訓練 :每年定期針對所有可能操作之人員(含氣化課人員及TCGM)進行ERCV訓練,課堂上課介紹、可使用之氣體、使用限制及ERCV操作步驟並每人實際操作ERCV,以確保任何時間之值班人員接可正確操作外洩鋼瓶之專用容器(ERCV)。

     

  • PFC減量:為因應「京都議定書」之發展針對Chamber cleaning-CF4、C2F6以C3F8取代
    Reduce CF4 from 6 CYL/Month to 2 CYLs/Month (Reduce 65 %)
    Reduce C2F6 from 8 CYL/Month to 4 CYLs/Month (Reduce 50 %)
  5. 氯氣 災害預防及緊急應變計劃書

其他特殊事蹟

  1. Personal safety improve
氣瓶櫃測漏標準再精進: 經過漏率計算Tighten氣瓶櫃測漏標準,check 欲更換之鋼瓶頭閥是否內漏,避免造成鋼瓶更換時Gas Leak發生。
  2. 氣瓶櫃尾氣處理設備(GRC)濾心(Cartridge)更換測漏enhance:更換Cartridge後除了原有GRC保壓測漏功能外增加He leak test,避免造成Cartridge更換後Gas Leak發生。
  3. 台積二廠針對設備及廠務人員(可能拆裝管路人員)進行「 動感訓練,安全Superman」管路成功無洩漏訓練: 課程摘要: (1)管接頭介紹 (2)安全的考量 (3)VCR 接頭密封性 (4)VCR 接頭安裝/墊片選擇 (5)測漏規劃與手法 (6)管路配置觀念;訓練方式: 由專業廠商授課並以實務操作為主,上課前將寄送教材進行預習/課前測驗,課堂課進行術科測試。
  4. 特殊氣體拆管作業再進化
1) 拆管作業列為Level-1事前需提出申請Review拆管步驟(簽核至部門經理) ,拆管期間工程師/廠區工安人員/副理全程監工。
2) 拆管作業前先check過管路,沿欲拆除piping貼上"欲拆管路"之管路拆除標籤貼紙以供辨識。
3) 拆除時需將雙環套上欲拆除之piping,僅允許雙套環中間Cut管套到哪拆到哪,避免誤拆管事件發生。