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環保園地

首頁環保園地減碳企業績優獎 99年度低碳生產組

旺宏電子晶圓二廠

旺宏電子股份有限公司晶圓二廠

｜公司簡介｜低碳策略與未來目標｜低碳措施與效益｜低碳教育宣導｜特殊事蹟及貢獻｜

公司簡介

旺宏電子公司創立於78年12月，2009年資本額新台幣312億元，營業額新台幣264億元，全球最大唯讀記憶體(ROM)生產製造公司，亦是全球最大Serial NOR型快閃記憶體(Flash)生產製造公司。

低碳策略與未來目標

本公司秉持「低碳節能」原則，落實「綠色企業」的承諾，積極推動各項節能、節水、減廢、製程改善、污染控制、辦公室環保、資源回收再利用、生態保育與教育訓練等積極措施。

具體措施

目標設定

低碳措施與效益

一、省電節能

方案一：發電機冷卻水加熱系統改善
執行措施	改變發電機冷卻水加熱系統運轉模式，有效降低加熱器耗電量，並同時解決加熱器周邊管路因長期過溫而脆化漏水問題。
方案二：PFC 氣體排放減量
執行措施	1. CVD製程PFC gas取代：以C3F8(GWP值8830)取代C2F6 (GWP值12200)，使PFC使用量及排放量降低。PFC排放減量約10~15%，每年約可減量CO2 達10,094公噸。 2. PFC排放減量：增設4台PFC local scrubber，以降低PFC排放量，進而達到溫室氣體減量。設置PFC local scrubber進行減量，每年約可減量CO2達6,234公噸。
方案三：冰水一次pump變頻節能
執行措施
方案四：執行MAU盤管閥開度最佳效率
執行措施	本廠CR MAU(steam 加溼型)冰水盤管控制閥為球型閥(equal percentage)，應用盤管能力與閥開度流量關係，改善原負載動作機制，在同一外氣條件、負載下，尤其於夏月用量大時，可大幅降低冰水用量，減少冰水二次泵負載。＊共計496千度，抑制CO2排放309 公噸-CO2/年。
方案五：蒸氣鍋爐運轉最佳化
執行措施	調整蒸氣鍋爐使用設定壓力，減少廠內三台迴煙管式鍋爐啟停次數。以達減少啟停時所需浪費於膛體重新加溫的瓦斯能源。＊每年節省瓦斯24 千度及費用省47,822元。

二、製程水回收率提升工程

方案：
1. 酸鹼廢水回收系統
2. 低濃度含氟廢水回收系統
3. 氨氮氣提吸收處理系統流程

成果

提昇製程用水回收率 78 %→85 %，除節省自來水耗用,並可改善放流水質(丙酮 < 3ppm ； NH3-N < 20 ppm)。節水措施方案實施後，每年減少用水量328,500公噸，抑制CO2排放63,729 kg-CO2/年。

三、廢棄物減量


成果

四、生活減碳

包含辦公室節能，省水，低碳消費、綠色交通及環境綠美化等。

低碳教育宣導

訓練宣導方式，採以訓練課程及公告，包含新進人員訓練包含環保訓練、在職人員訓練宣導、獎勵同仁發揮節能創意方案、QCC 團結圈活動精神及手法，推廣各項節能觀念。

特殊事蹟及貢獻

	成立節能減碳團：參與經濟部能源局成立「旺宏電子公司節約能源服務團」，針對公司之生產與辦公區(包括空調、照明、電梯、停車場排氣設備、辦公室電腦…)進行節能服務
	製程水回收率提昇計劃：晶圓二廠雖是已運轉15年的8寸廠，98年率先業界,投資NTD75,000,000於製程用水回收率提昇計劃，透過先進的生物技術將每日製程用水回收率提昇至85%。
	配合行政院推動「產業溫室氣體盤查管理、策略分析、減量規劃及試行計畫之推動計畫」進行溫室氣體排放量查證與驗證。
	認養6公頃綠地公園，抑制二氧化碳21.75噸/年。
	近年獲環安衛相關獎項摘要於下表：