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台積公司民國七十六年在新竹科學園區成立，是全球第一家專業積體電路製造服務公司。身為業界的創始者與領導者，台積公司是全球規模最大專業積體電路製造公司，提供業界最先進的製程技術。製造生產過程需使用的能源、化學品及氣體，廠內所有運作皆符合相關環保、安全與衛生法令規定，並以國際相關規範為標竿。公司秉持「誠信正直、承諾、創新、客戶夥伴關係」等核心價值，致力於達成「安全零事故、環境永續發展」的目標，為達成目標，台積公司的策略是「遵守法規承諾、促進安全健康、強化資源利用及污染預防、管控環安衛風險、深植環安衛文化、建構綠色供應鏈、善盡企業社會責任」。公司承諾持續改善並做到：
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1. |
遵守或超越國際環保、安全與衛生相關之法規、標準與承諾。 |
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2. |
建構安全的工作環境，預防職業傷害與疾病，維護員工身心健康。 |
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3. |
強化綠色設計與綠色製造、提供綠色產品及服務、興建綠色廠房，致力於改善地球環境。 |
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4. |
關注全球性環保、安全與衛生議題，評估其風險並執行有效的管控措施。 |
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5. |
深化全體員工對環保安全衛生的認知、責任承擔與文化塑造。 |
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6. |
建構綠色供應鏈，經由分享經驗與合作改善，共同提升環保、安全與衛生績效。 |
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7. |
加強與各利害相關者之溝通，主動揭露相關資訊與經驗，促進產業界安全衛生與地球環境的良性改變。 |
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▲TOP
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台積電12廠致力於環境保護並積極參與環保活動，在推動節能減碳方面更是不遺餘力。節能減碳執行策略主要係經由廠長親自主持之節能委員會，訂定年度減碳方針與目標，透過ISO 14001、OHSAS 18001管理系統定期追蹤與持續改善，並搭配第三認證單位進行盤查，其結果作為減量策略及目標之參考，嚴格執行污染預防、能源及資源節約、廢棄物減量、預防意外事故及營造舒適安全的工作環境。
減碳未來目標
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節能：民國104年，單位產品用電量將較民國99年再降低2%。民國109年則較民國99年再降低12%。 |
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節水：民國104年，單位產品用水量將較民國99年再降低2%。民國109年則較民國99年再降低20%。 |
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❖ |
溫室氣體全氟化物減量：依循世界半導體協會之規定，全面採用其認可之最佳可行技術。民國109年，單位產品全氟化物排放量將較民國99年減少30%以上，單位產能全氟化物排放量目標為民國一百零九年較民國九十九年減少30%以上。 |
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❖ |
減廢：民國104年，廢棄物回收率將達到95%以上。民國109年則持續維持95%以上。 |
減碳策略及措施
台積電12廠持續推動節約能源措施除了達到降低溫室效應氣體CO2排放之目的外，也同時節約成本。
主要減碳措施如下說明：
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節能減碳：依據ISO 14001管理系統、提案與持續改善系統等進行節能減碳改善方案，節電達3,995萬度/年，減少CO2排放2,545萬噸/年，單位晶圓產品用電量較2010年降低4%。 |
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❖ |
節水：調整設備製程用水量及改善廢水回收系統，使製程水回收率持續提昇達90%，為全台積第一，節水量達946萬噸/年，精進改善達158萬噸/年，單位晶圓產品用水量較2010年降低18%。 |
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❖ |
原物料/製程減量：經由原物料使用參數調整與製程設備最適化，降低原物料使用量，如：減少製程步驟，降低30%化學品使用量；黃光製程利用理論計算，減少光阻使用量達66%；設備透過實驗方式延長耗材更換週期，減少耗材使用與廢棄物生成；引用SEMI-S23指引要求製程機台供應商檢討其化學品耗用能資源與化學品最適化，逐步達到最小用量之要求。 |
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原物料/製程回收再利用：製程產生之廢硫酸於廠內100%回收取代鹽酸使用，達成廢硫酸零產出；擴散製程改善設備，回收再利用92%機台用水量。 |
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❖ |
減廢：透過廢棄物減量、物質/能源回收再利用方式與相關創新計劃之推動，減廢效益達2億7千萬元/年，廢棄物回收率較2010年上升2%，單位晶圓產品廢棄物產量較2010年降低20%，為全台積第一。 |
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污染控制(溫室氣體減量)：製程與處理設施採行最佳可行性技術，以降低溫室氣體之使用列為優先考量，且新裝設機台將全面安裝可以處理全氟化物的防制設備，處理效率達到90%以上，溫室氣體減量效益達28萬噸/年。 |
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❖ |
綠色採購：推動「綠色採購」，要求原物料供應商提供保證其產品不含對環境有害之禁用物質聲明，確保產品符合客戶與歐盟對電子產品所列限用物質（如RoHS）法令的要求；而辦公室設施及用品，以選用具環保標章/能源之星標章/IT ECO等物品為優先考量，占比已超過50%，2014年參加新竹市綠色採購競賽績效更高達2千萬元。 |
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綠建築：榮獲美國綠建築協會-既有建築(LEED-EB:O&M)最高榮譽「白金級」認證，為全球第一座獲得白金級標章之晶圓廠。 |
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▲TOP
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台積電12廠依ISO 50001能源管理之精神，建置能源管理系統，並成立能源管理委員會，設置能源專責人員，負責訂定節約能源目標及計畫推動與執行，並定期記錄各種能資源耗用量及設備檢查，每季對廠區最高主管提報節能成效，持續推動節約資源措施；以利確實掌握及時用電資訊與管制流量，將電力系統使用效能提升，達電力最佳使用率。各項減碳措施如下說明。 |
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方案類型 |
方案說明 |
節能績效
(kWh/年) |
減碳績效
(公噸CO2e/年) |
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製程省電－外氣空調箱及冰水主機最佳化 |
外氣空調箱MAU節能
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1. |
Penthouse inlet面積加大 |
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2. |
Penthouse Bag filter面積加大 |
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3. |
MAU Bag filter靜電式濾網應用 |
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4. |
MAU Fan Diffuser new type |
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5. |
Air washer pump resizing＋高效率濾網 |
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6. |
Air washer高效率Packing應用 |
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7. |
冷凝水直接回近Air washer tank |
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8. |
Demister Best arrangement |
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9. |
Demister Filter new type |
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10. |
MAU DMS filter導風片安裝 |
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11. |
HEPA filter加長 |
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2,722萬 |
14,589 |
冰水主機最佳化
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1. |
冰水系統泵浦增設變頻控制 |
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2. |
使用冷媒添加劑，提高熱交換效率 |
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製程省電－智慧節能 |
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1. |
UPW RO Unit加設VFD使motor效能最適化 |
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2. |
UPS ECO模式 |
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3. |
CDA智慧節能(透過ASC監控系統) |
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4. |
VOC脫附風車增設VFD |
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1,087萬 |
5,826 |
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製程省電－照明管理節能 |
智慧自動照明控制系統
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1. |
三時段自動照明節能控制 |
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2. |
例假日照明再節能 |
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3. |
移燈具，提升照度 |
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4. |
加強局部照明 |
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5. |
無塵室夜間照明降低25% |
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806萬 |
4,320 |
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節約能源－設備能資源減量 |
使用Local scrubber設備循環水取代超純水降溫 |
1,095萬
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5,870 |
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Local scrubber停止N2供應，或以CDA取代N2 |
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廢氣處理時才開啟加熱器 |
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新增Heat pump for UPW，並停用鍋爐 |
481萬
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2,578 |
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泵浦塗抹複合陶瓷材質，減少腐蝕問題 |
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能源回饋裝置將熱能轉化為電能，回饋至電網 |
2,280萬
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12,219 |
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回收工廠廢熱，提供辦公室溫水，減少冷卻水塔每日2,600KW熱排放 |
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節約能源－辦公室節水節電 |
回收空調冷凝水 |
1,861萬 |
9,973 |
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方案類型 |
方案說明 |
節能績效
(M3/年) |
減碳績效
(公噸CO2e/年) |
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節省天然氣 |
煙囪排放廢熱回收，降低天然氣用量 |
13萬 |
275 |
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方案類型 |
方案說明 |
節能績效 |
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溫室氣體使用減量 |
量測取得實際全氟化物排放係數，經確計算溫室氣體排放量 |
溫室氣體排放量較2009減少34% |
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製程最佳化，並評估以溫室氣體排放量較低者取代較高者 |
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方案類型 |
方案說明 |
節水績效
(M3/年) |
減碳績效
(公噸CO2e/年) |
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製程節水及廢水回收利用 |
改善製程超純水用量，平均節水效益達30% |
21.8萬 |
42 |
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先進二級薄膜（海水淡化技術薄膜）回收製程廢水至純水系統 |
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DIR/CCR/LSR/AWR廢水回收 |
524萬 |
1,016 |
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機台臭氧(O3)廢水回收為二級用水 |
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Hot DI水回收至純水系統 |
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廢水回收最佳化，設置選別系統，回收廢水至純水系統 |
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廢顯影液回收(TMAH drain reclaim)為二級用水 |
88.8萬 |
172 |
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使用RO進行VOC廢液濃縮，減量廢液90%、增加清水回收，並節省委外處理費 |
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辦公室節水節電 |
Office HVAC Condensation water回收再利用 |
3.9萬 |
7.56 |
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雨水收集，經粗濾沉砂處理後回收為二級用水 |
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方案類型 |
方案說明 |
減量績效
(公噸/年)
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製程減廢 |
鉛酸電池檢測技術大突破
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1. |
平衡電池單顆充電電壓，減少電池過充及充電不足問題 |
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2. |
利用比較每串電池浮充漣波電流的大小，來判斷電池是否有異常 |
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3. |
採用智慧型脈衝波技術，分解硫酸鉛結晶，使電池回復蓄電功能 |
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13.5萬 |
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乾燥機耗材更換再進化，利用新方法來快速達成更換乾燥粒步驟同時可減少煙塵污染 |
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研磨殘液回收再利用 |
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CMP製程CO2減量，以CDA取代CO2 |
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廢棄物回收再利用 |
廢硫酸"零"清運，世界首創使用廢硫酸利用鹽酸法去除雙氧水之專利已通過審查委員會，創新應用樹脂再生及氨氮廢水處理 |
9,980 |
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VOC廢液90%減量，利用清水回收系統可將廢液濃縮後再利用 |
980 |
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洗手間擦手紙回收 |
50 |
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(1) |
使用低污染車輛 |
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為達到節能減碳之目標，於101年率先導入電動公務車，並持續推動電動公務車之使用；另外，103年更導入各廠區間之電動交通車，同時設置GPS系統，可提高行車效率與管理，降低CO2排放量，響應節能減碳，環保愛地球的承諾。 |
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(2) |
推動自行車及步行 |
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台積電12廠為鼓勵員工使用低污染甚至無污染之交通工具上下班以減少CO2排放，於102年導入「移動污染源評鑑制度」，其內容包含移動污染源檢測、機車健檢、獎勵共乘、員工交通接駁巴士、推動騎乘自行車，同時設置自行車停車專區及員工沐浴設施；為鼓勵員工跨廠區移動利用步行方式，於103年規劃設置一綠色景觀通道，如此一年可減少約9,500噸燃燒汽油所產生的CO2排放量，相當於十座台北市大安森林公園一年所吸收的CO2量。 |
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(3) |
推動共乘減碳與低碳駕駛 |
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❖ |
提供員工超過40條路線之上下班交通車、新竹/台中/台南廠區差旅區間車、環廠區間車，使員工於跨廠區作業時能搭乘共乘交通運輸工具。 |
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❖ |
為鼓勵員工上下班實施共乘制度，保留共乘車輛專用停車位，提供共乘車輛專使停車權益，廠區每日搭載約1000人次，相較自行開車，每年可減少約2,000噸CO2排放量。 |
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▲TOP
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台積電12廠持續推動員工減碳宣導，並規劃完整減碳教育架構，建立系統化的教育課程專案，規劃公司級/廠區級/工作職務新進人員減碳教育課程，建立工程師能力指標訓練系統(L1～L4)，並將部分課程製作成線上學習系統(e-Learning)，讓所有同仁可以隨時進入系統進行線上學習。相關措施說明如下。 |
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實施新進人員指標訓練系統、環境管理系統、環境工程、綠建築…等課程。 |
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成立「工安環保研發小組」，透過環保訓練資訊平台的建置，持續提昇環保人力素質，追蹤管理同仁參加專責人員訓練。 |
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(1) |
工程知識管理(EKM)網站：提供同仁平日完成工作報告，與大家分享傳承經驗及縮短學習時間。 |
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(2) |
環境管理提案系統(TSM)：透過此平台鼓勵同仁分享環保構思，提升同仁環保意識，亦養成自我思考之成效。 |
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(3) |
持續改善(CIT)管理系統：藉持續改善管理之手法，讓每位同仁皆能參與環境改善專案，並透過公開發表平台激勵優良作品。 |
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(1) |
環境日歷宣導：於世界地球日、世界水資源日等國際性環保節日舉辦海報宣導活動，增加同仁對於環保議題之重視，並與國際環保知識接軌。 |
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(2) |
辦公室做環保：影印室提供再生紙、集中資源回收箱（辦公室不設垃圾桶）等作法。 |
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(3) |
環保促進活動：低碳蔬食活動、每月環保Email有獎徵答等活動。 |
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(4) |
文宣生活化：「拔拔」我愛你、「省」長選舉、廁所環保文宣等創意宣導作法。 |
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(5) |
月會環保宣導：於月報人員集中時，舉行環保產品特賣會、環保講習會等活動。 |
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(6) |
創新環保活動：環保獎勵方案競賽、環保讀書會等作法。 |
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▲TOP
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(1) |
碳足跡 |
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台積電12廠帶領其十五家供應商完成積體電路產品碳足跡並取得PAS2050認證。 |
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(2) |
水足跡 |
： |
台積電12廠帶領五家主要供應商合作完成十二吋晶圓之產品水足跡，最終數據結果亦經第三單位的高標準驗證。 |
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(3) |
溫室氣體盤查 |
： |
台積電12廠建立溫室氣體盤查制度，每一年完成前一年度廠區的溫室氣體盤查，且須通過外部驗證機構，符合ISO 14064-1標準之查驗。 |
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(4) |
綠建築 |
： |
台積電12廠獲得全球首座LEED EB白金級認證之綠色晶圓廠。 |
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(5) |
政府稽核示範廠 |
： |
台積電12廠與環保署合作，首創擔任政府稽核示範廠。 |
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(6) |
歷屆得獎資訊 |
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▲TOP
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