台灣積體電路製造股份有限公司八廠 馮徐凱 先生

101年度科學工業園區優良環境保護專責人員

空氣污染防制專責人員

台灣積體電路製造股份有限公司八廠 馮徐凱 先生

現職

台灣積體電路製造股份有限公司八廠 工程師

個人工作內容摘要

  • 降低生產廢氣排放量,並提升系統處理效率。
  • 維護處理系統運轉穩定,降低廢氣排放量。
  • 在維持排放空污廢氣合乎標準之前提下,降低操作運轉成本。

公司簡介

台積電主要業務為專業積體電路製造服務,在生產過程中須使用製程設備、矽晶片、化學品、氣體及水電能源,其日常運作管制不僅要符合相關環保、安全與衛生法令規定,並以國際相關規範為標竿。在此前提下,台積電之環保、安全與衛生目標為「預防污染,提高資源使用效率,成為永續發展之企業;預防意外事故,促進員工安全衛生及保護公司資產,營造安全舒適的工作環境」。為達成上述目標,台積電承諾持續改善。台積公司承諾持續改善,並做到:

(1)維護環境品質及確保員工安全與衛生,是全體員工的責任。
(2)遵守相關環保、安全與衛生法令,並致力符合先進國際相關環保、安全與衛生標準。
(3)提供相關教育訓練及資源,提高員工對環保、安全與衛生的認知,並主動積極與各階層同仁溝通,同時尋求合作。
(4)引進國際環保、安全與衛生之新觀念與相關技術,以提高管理效能。
(5)製程研發設備及新物料使用前,經過環保、安全與衛生評估,以降低風險。
對供應商及承攬商在環保、安全與衛生議題上進行了解及溝通,以鼓勵其增進環保、安全與衛生績效。

具體事蹟

  台積電八廠對於空氣污染防制十分的重視,不僅要求符合法規。更積極尋求新的改善方法以提昇空污防制設備的去除效率及減少空污排放廢氣的產出,為達到這個目標,台積電八廠空污專責人員工作包括:
  2.1. 建立每日即時監控機制:
  F8對於空氣污染防制不僅要符合法規定義的效率及操作條件,更將洗滌塔的操作條件中循環水流量及pH,VOC去除效率納入即時監控中,由每日二十四小時輪 值之人員監控。系統運轉參數檢知資訊也皆列入重點追蹤項目,設有預知警報可立即處理。並於每日review 洗滌塔循環水量,pH,VOC去除效率,以及現場集氣壓力之trend chart,可充分了解空污防制設備運轉品質。
  2.2. 使用端一般氣體排放源減量及污染廢氣減量措施
  2009 年實施源頭廢氣減量,減少對空污防制設備的負擔及煙囪排放量。以降低使用端超抽風量及製程廢氣產生量為此方案之目標達成降低環境污染並節能減碳,以下為本廠之執行方案:
  槽車清運安全管理:
(1)CVD 區域廠內機台其中128 台電源供應器AC Box 上方有銜接一般排氣集氣管路,供應設備AC Power Rack 一般散熱排氣使用,進行風量排放非無塵區內冷卻再回收再利用。
(2)Photo 區共計廠內42 台曝光機將機台溫控裝置ACC 及TCU 之一般散熱排氣系統抽風脫離中央供氣後,採自有風扇以導管改接排放非無塵區內冷卻再回收再利用。
(3)TFE 區Gas Box(一般排氣)共計461 台風管靜壓調整至-50pa 靜壓(大於SEMI S2-0303 需求-25 pa)降低超抽風量。
(4)化倉依法規最低排風量為依樓板面積計算抽風量0.3M3/M3,經計算1~4 樓總排氣量超抽566CMM(將超抽空間排氣調降減量)並維持有效環境換氣量
(5)製程PFC 氣體取代計畫(降低251,351ton CO2e)
  1) CVD 機台以C3F8 GWP 較低取代CF4 及C2F6 製程氣體,可減少約60%的碳排放。
  2) CVD 機台NVLS Sequel 八吋機台PFC 排放量最高的機台,以NF3 取代C3F8 (台積八廠創新做法),替代後提昇NF3 製程利用率,可減少約80%的碳排放,已推展至全公司全面執行。
(6) 製程氣體參數最佳化及尾氣處理設備安裝/維護計劃(降低5,588 ton CO2e)
   1)製程參數最佳化採縮短PFC 氣體使用時間(ex:從60 秒調整至20 秒)減少PFC 氣體clean 次數或取消不必要的clean 步驟。
   2) 尾氣處理設備安裝與維護避免local scrubber 管路阻塞及元件故障,降低故障率安裝De-PFC local scrubber。  
  (1)~(4)項共計一般廢氣減量167,897 CMH(12%),相當於總節能成效達(604KW)減少溫室氣體減量2043 公噸二氧化碳當量(5)~(6)項製程PFC 氣體減量及尾氣處理設備維護共計減少溫室氣體256939 公噸二氧化碳當量減量
 
   
  2.3. 末段空污防制設備效能提升
  酸鹼氣體末段防制設備洗因長時間運轉造即使操作條件符合法規規範,洗滌塔內部常因結垢,長菌,填充物及格柵結晶使得風無法通過scrubber 塔體,短流現象… 等原因。直接或間接影響洗滌塔去除效率。為解決洗滌塔操作上的問題進行診斷並提出有效改善方法,其中洗提塔常見的問題包括:1.灑水潤濕不足、氣流短流、 灑水管路容易阻塞、延長氣體滯留時間、除霧效果不佳等問題、洒水nozzle 的工作角度覆蓋不佳等問題,為確保Scrubber 有效達到潤濕因子(>0.1m2/hr)
  發揮效能進行提升改善。
 
 
   

其他特殊事蹟

  1. 2008 年在油價日益高漲情況下,更改其中一台8BVOC 處理設備與Boiler 處理設施之燃料改採節能雙燃料燃燒機爐頭及變更燃料種類(從柴油更改為天然氣),平常時採NG 燃料操作,使能源成本及溫室氣體排放降低,皆優於使用柴油或電力消耗燃料,將可減少240,000L 柴油使用排放(Sox,Nox,CO2… )排放,溫室氣體CO2 排放量減量達約2,043 公噸,在操作燃料費用共計有NTD$36,214,304 萬元/年節省。(2010 年已編列預算修改另一台8AVOC 成節能雙燃料系統,並已於2011 年年中開始進行試車動作)。
  2. 2009 調整運轉中兩台運轉VOC 系統參數(脫附風量,轉輪轉速… )提高濃縮倍率(13 倍→ 15 倍)達最佳燃燒處理效能及熱交換器定時保養達最佳熱回收效能(~80%),調整後燃燒處理效率仍維持處理效率92%以上,NG 燃料使用量降低平均約500CMD,相當減少溫室氣體CO2 減量排放量376.2 公噸/年,在操作費用共計節省NTD$261 萬元/年。