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台積公司民國七十六年在新竹科學園區成立,是全球第一家專業積體電路製造服務公司。身為業界的創始者與領導者,台積公司是全球規模最大專業積體電路製造公司,提供業界最先進的製程技術。製造生產過程需使用的能源、化學品及氣體,廠內所有運作皆符合相關環保、安全與衛生法令規定,並以國際相關規範為標竿。公司秉持「誠信正直、承諾、創新、客戶夥伴關係」等核心價值,致力於達成「安全零事故、環境永續發展」的目標,為達成目標,台積公司的策略是「遵守法規承諾、促進安全健康、強化資源利用及污染預防、管控環安衛風險、深植環安衛文化、建構綠色供應鏈、善盡企業社會責任」。公司承諾持續改善並做到:
1. |
遵守或超越國際環保、安全與衛生相關之法規、標準與承諾。 |
2. |
建構安全的工作環境,預防職業傷害與疾病,維護員工身心健康。 |
3. |
強化綠色設計與綠色製造、提供綠色產品及服務、興建綠色廠房,致力於改善地球環境。 |
4. |
關注全球性環保、安全與衛生議題,評估其風險並執行有效的管控措施。 |
5. |
深化全體員工對環保安全衛生的認知、責任承擔與文化塑造。 |
6. |
建構綠色供應鏈,經由分享經驗與合作改善,共同提升環保、安全與衛生績效。 |
7. |
加強與各利害相關者之溝通,主動揭露相關資訊與經驗,促進產業界安全衛生與地球環境的良性改變。 |
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1. |
廠內含氮原物料種類及數量 |
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經分析廠內含氨氮原物料用量,絕大多數(約95 %)的原物料為氨水(29 % NH4OH),主要使用在化學機械研磨製程(CMP)與溼蝕刻(Wet bench)製程,另外,TMAH的前端來源為顯影液,主要使用於黃光顯影製程。
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2. |
執行削減前納管水量及氨氮排放濃度 |
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本廠已記錄削減前納管水量,及分析氨氮排放濃度。
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3. |
計算削減前單位產品含氮原料用量 |
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本廠已記錄削減前單位產品含氮之原料用量。
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1. |
含氨氮廢水之分流狀況 |
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(1) |
高低濃度分流、專管專槽收集:將廢水的鹼性管排重新分類,原本的鹼性廢水管改成兩項去處,一為高濃度氨氮廢水管排,二為低濃度氨氮廢水管排,另外TAMH廢水管排專管收集。 |
(2) |
機台改造:本廠透過改管將超音波震盪槽純水單獨排至純水回收(DI reclaim)藉此提高氨水專管回收濃度、亦可提升廠區用水回收率。 |
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2. |
減量措施、投資及額度 |
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(1) |
採行源頭減量措施:CMP製程機台NH4OH減量(減量46 %),廠內在執行完成氨水原物料的調查後,發現大多數均使用在CMP製程,在裝設廢水削減措施前,先鎖定評估CMP製程原物料的減量方案可行。【Note: CMP為化學機械研磨製程,目的為增加晶圓平坦度,以增加晶圓良率。】 |
(2) |
相關措施投資及額度:HF取代NH4OH二者的費用相近,而DIW較NH4OH便宜,加總而言無增加的花費。在工程的部分,包括修改製程機台化學品供應管路、酸鹼排氣管路、廢水排放管路相關花費亦僅數十萬元。 |
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3. |
減量前/後排放濃度、穩定度及成果
(1) |
減量前/後廢(污)水氨氮排放濃度:2014年1月至2015年7月NH4OH用量減量46 %。 |
(2) |
符合納管標準及穩定度及成果:全年廢水氨氮納管濃度全數符合標準,不合格率為0 %。 |
(3) |
計算削減後單位產品含氨氮原料用量:2013年度含氨氮原物料用量為0.44 L/1,000 wafer.day,2014年度削減前單位產品含氨氮原料用量為0.37 L/1,000 wafer,到2015年6~7月,單位晶圓含氨氮原料用量已降低至0.24 L/1,000 wafer,相當於減量50 %。 |
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4. |
相關設施查驗、管理及運作情形
(1) |
設施操作、維護機制及狀況:本廠建置TMAH 處理系統,處理黃光製程使用完後排放的廢水(濃度20 ppm,水量83 CMD),以樹脂吸附完後運送至再生廠再生完樹脂後再送至廠內繼續使用。
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(2) |
是否設置即時監控設施或定期採樣檢測:經由2015年06月份氨氮分析儀器安裝上線後,可連續檢測廢水濃度,以更能掌握廠區廢水排放狀態。另外,也可以透過分析儀器與委外送驗分析數據檢測比對(誤差值<10%)。 |
(3) |
衍生廢棄物處理情形:台積電八廠氨氮採取原物料取代與原物料減量,並不需要安裝其他氨氮廢水去除裝置,故無多餘的衍生廢棄物產生處理問題。 |
(4) |
環安人員執行績效:
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5. |
特殊績效或卓越事蹟 |
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特殊績效或卓越事蹟:本廠完成NH4OH濃淡分流收集、TMAH處理系統,將NH4OH濃度較高的廢水與TMAH處理完廢水收集起來,依照導電度(<250 us/cm)作為回收水使用在本廠次級用水(central/local scrubber洗滌水,沖廁用水),可增加300CMD的回收水量。 |
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1. |
是否訂有明確減量目標並設為KPI |
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2016年度廠區已於年度計畫明確定義廢水氨氮濃度需於2016年第4季前低於30 mg/L。
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2. |
所訂目標及KPI是否符合管制需求及具挑戰性 |
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近2年已成功將廢水氨氮濃度從約110 ppm,降低至45 ppm,已降低60 %廠區廢水排放量。2016年預計再降低至少50 %至22 ppm。
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3. |
所訂削減措施是否具體可行且有效益 |
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雖廠區廢水氨氮廢水排放濃度已於2015年年中即符合2017年的廢水氨氮納管標準(NH3-N 50 mg/L),但廠區仍持續規劃廢水氨氮濃度削減計畫,以期能為環保更盡一份心力。
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