台灣積體電路製造股份有限公司八廠

 

台灣積體電路製造股份有限公司八廠
 
公司簡介氨氮負荷主要來源掌握執行氨氮削減具體措施與成果持續削減目標及規劃
 
公司簡介

    台積公司民國七十六年在新竹科學園區成立,是全球第一家專業積體電路製造服務公司。身為業界的創始者與領導者,台積公司是全球規模最大專業積體電路製造公司,提供業界最先進的製程技術。製造生產過程需使用的能源、化學品及氣體,廠內所有運作皆符合相關環保、安全與衛生法令規定,並以國際相關規範為標竿。公司秉持「誠信正直、承諾、創新、客戶夥伴關係」等核心價值,致力於達成「安全零事故、環境永續發展」的目標,為達成目標,台積公司的策略是「遵守法規承諾、促進安全健康、強化資源利用及污染預防、管控環安衛風險、深植環安衛文化、建構綠色供應鏈、善盡企業社會責任」。公司承諾持續改善並做到:
1. 遵守或超越國際環保、安全與衛生相關之法規、標準與承諾。
2. 建構安全的工作環境,預防職業傷害與疾病,維護員工身心健康。
3. 強化綠色設計與綠色製造、提供綠色產品及服務、興建綠色廠房,致力於改善地球環境。
4. 關注全球性環保、安全與衛生議題,評估其風險並執行有效的管控措施。
5. 深化全體員工對環保安全衛生的認知、責任承擔與文化塑造。
6. 建構綠色供應鏈,經由分享經驗與合作改善,共同提升環保、安全與衛生績效。
7. 加強與各利害相關者之溝通,主動揭露相關資訊與經驗,促進產業界安全衛生與地球環境的良性改變。

  ▲TOP
 
氨氮負荷主要來源掌握

 
1. 廠內含氮原物料種類及數量
 

經分析廠內含氨氮原物料用量,絕大多數(約95 %)的原物料為氨水(29 % NH4OH),主要使用在化學機械研磨製程(CMP)與溼蝕刻(Wet bench)製程,另外,TMAH的前端來源為顯影液,主要使用於黃光顯影製程。

2. 執行削減前納管水量及氨氮排放濃度
 

本廠已記錄削減前納管水量,及分析氨氮排放濃度。

3. 計算削減前單位產品含氮原料用量
 

本廠已記錄削減前單位產品含氮之原料用量。

  ▲TOP
 
執行氨氮削減具體措施與成果

1. 含氨氮廢水之分流狀況
 
(1) 高低濃度分流、專管專槽收集:將廢水的鹼性管排重新分類,原本的鹼性廢水管改成兩項去處,一為高濃度氨氮廢水管排,二為低濃度氨氮廢水管排,另外TAMH廢水管排專管收集。
(2) 機台改造:本廠透過改管將超音波震盪槽純水單獨排至純水回收(DI reclaim)藉此提高氨水專管回收濃度、亦可提升廠區用水回收率。
2. 減量措施、投資及額度
 
(1) 採行源頭減量措施:CMP製程機台NH4OH減量(減量46 %),廠內在執行完成氨水原物料的調查後,發現大多數均使用在CMP製程,在裝設廢水削減措施前,先鎖定評估CMP製程原物料的減量方案可行。【Note: CMP為化學機械研磨製程,目的為增加晶圓平坦度,以增加晶圓良率。】
(2) 相關措施投資及額度:HF取代NH4OH二者的費用相近,而DIW較NH4OH便宜,加總而言無增加的花費。在工程的部分,包括修改製程機台化學品供應管路、酸鹼排氣管路、廢水排放管路相關花費亦僅數十萬元。
3. 減量前/後排放濃度、穩定度及成果
(1) 減量前/後廢(污)水氨氮排放濃度:2014年1月至2015年7月NH4OH用量減量46 %。
(2) 符合納管標準及穩定度及成果:全年廢水氨氮納管濃度全數符合標準,不合格率為0 %。
(3) 計算削減後單位產品含氨氮原料用量:2013年度含氨氮原物料用量為0.44 L/1,000 wafer.day,2014年度削減前單位產品含氨氮原料用量為0.37 L/1,000 wafer,到2015年6~7月,單位晶圓含氨氮原料用量已降低至0.24 L/1,000 wafer,相當於減量50 %。
4. 相關設施查驗、管理及運作情形
(1) 設施操作、維護機制及狀況:本廠建置TMAH 處理系統,處理黃光製程使用完後排放的廢水(濃度20 ppm,水量83 CMD),以樹脂吸附完後運送至再生廠再生完樹脂後再送至廠內繼續使用。

(2) 是否設置即時監控設施或定期採樣檢測:經由2015年06月份氨氮分析儀器安裝上線後,可連續檢測廢水濃度,以更能掌握廠區廢水排放狀態。另外,也可以透過分析儀器與委外送驗分析數據檢測比對(誤差值<10%)。
(3) 衍生廢棄物處理情形:台積電八廠氨氮採取原物料取代與原物料減量,並不需要安裝其他氨氮廢水去除裝置,故無多餘的衍生廢棄物產生處理問題。
(4) 環安人員執行績效:

5. 特殊績效或卓越事蹟
  特殊績效或卓越事蹟:本廠完成NH4OH濃淡分流收集、TMAH處理系統,將NH4OH濃度較高的廢水與TMAH處理完廢水收集起來,依照導電度(<250 us/cm)作為回收水使用在本廠次級用水(central/local scrubber洗滌水,沖廁用水),可增加300CMD的回收水量。
  ▲TOP
 
持續削減目標及規劃

1. 是否訂有明確減量目標並設為KPI
 

2016年度廠區已於年度計畫明確定義廢水氨氮濃度需於2016年第4季前低於30 mg/L。

2. 所訂目標及KPI是否符合管制需求及具挑戰性
 

近2年已成功將廢水氨氮濃度從約110 ppm,降低至45 ppm,已降低60 %廠區廢水排放量。2016年預計再降低至少50 %至22 ppm。

3. 所訂削減措施是否具體可行且有效益
 

雖廠區廢水氨氮廢水排放濃度已於2015年年中即符合2017年的廢水氨氮納管標準(NH3-N 50 mg/L),但廠區仍持續規劃廢水氨氮濃度削減計畫,以期能為環保更盡一份心力。

  ▲TOP