台灣積體電路製造股份有限公司五廠

 

台灣積體電路製造股份有限公司五廠
 
公司簡介氨氮負荷主要來源掌握執行氨氮削減具體措施與成果持續削減目標及規劃
 
公司簡介

    台積公司民國七十六年在新竹科學園區成立,是全球第一家專業積體電路製造服務公司。身為業界的創始者與領導者,台積公司是全球規模最大專業積體電路製造公司,提供業界最先進的製程技術。製造生產過程需使用的能源、化學品及氣體,廠內所有運作皆符合相關環保、安全與衛生法令規定,並以國際相關規範為標竿。公司秉持「誠信正直、承諾、創新、客戶夥伴關係」等核心價值,致力於達成「安全零事故、環境永續發展」的目標,為達成目標,台積公司的策略是「遵守法規承諾、促進安全健康、強化資源利用及污染預防、管控環安衛風險、深植環安衛文化、建構綠色供應鏈、善盡企業社會責任」。公司承諾持續改善並做到:
1. 遵守或超越國際環保、安全與衛生相關之法規、標準與承諾。
2. 建構安全的工作環境,預防職業傷害與疾病,維護員工身心健康。
3. 強化綠色設計與綠色製造、提供綠色產品及服務、興建綠色廠房,致力於改善地球環境。
4. 關注全球性環保、安全與衛生議題,評估其風險並執行有效的管控措施。
5. 深化全體員工對環保安全衛生的認知、責任承擔與文化塑造。
6. 建構綠色供應鏈,經由分享經驗與合作改善,共同提升環保、安全與衛生績效。
7. 加強與各利害相關者之溝通,主動揭露相關資訊與經驗,促進產業界安全衛生與地球環境的良性改變。

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氨氮負荷主要來源掌握

 
1. 廠內含氮原物料種類及數量
  廠內含氮原物料主要可分為蝕刻緩衝液(BOE)、顯影液、氨氣、一氧化二氮、三氟化氮、氨水及六甲基二矽胺(HMDS)。

2. 執行削減前納管水量及氨氮排放濃度
  本廠已記錄削減前納管水量,及分析氨氮排放濃度。
3. 計算削減前單位產品含氮原料用量
  本廠已記錄削減前單位產品含氮之原料用量。
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執行氨氮削減具體措施與成果

1. 含氨氮廢水之分流狀況
  目前含氨氮廢水分流分別針對含NH4OH廢水、含N(CH3)4OH廢水與NH4(g)廢氣處理系統廢水分別獨立分流,並於103年底完成含N(CH3)4OH廢水(TMAH廢水)樹酯吸附處理系統。

2. 減量措施、投資及額度
 
(1) 採行源頭減量措施(含氮原物料減量使用)說明:目前廠區機台排放含有氨氮廢水之機台主要有6種,批次檢測機台排放氨氮濃度,分析此6種機台NH4OH使用機制、氨氮廢水濃度特性、排放時機等,再進行相關減量措施(將不同機型相似製程比較後標準化用量、相同機型比較後各機台用量標準化用量、依排放特性,檢查排放特徵現象是否異常、酸槽換酸特性與換酸次數標準化)。
(2) 採行管末處理措施(處理設備改善或新設)說明:依改善前32.2 mg/L計算,新管制標準廠區收費為19.3 M/y,藉由管路分流與管末處理設備設置(投資金額10 M,運轉成本4.5 M/y),不僅可符合納管標準,整體投資回收效益可於1年內回本。

(3) 相關措施投資及額度:
a. 管路分流與預留點:100萬(管路分流為既有管路,新增預留點)。
b. TMAH樹酯吸附處理系統:1,000萬(含管線/控制系統/儲槽/銜接介面,不含樹酯(處理設備商提供))。
3. 減量前/後排放濃度、穩定度及成果
(1) 減量前/後廢(污)水氨氮排放濃度:改善前後放流口氨氮濃度改善21.5 %(70→55 mg/L)。
(2) 符合納管標準及穩定度及成果:自103年以來配合管理局定期採樣日期,同步自行採樣委由SGS進行樣品分析,及早發現異常狀況,及早進行異常處置,103年10月後皆可符合氨氮廢水75 mg/L之管制標準,且104年1月起TMAH處理系統上線後,TMAH排放濃度亦可符合30 mg/L之管制標準。
4. 相關設施查驗、管理及運作情形
(1) 設施操作、維護機制及狀況(包含投入設施及措施):設置處理設備出口pH,以pH值作為樹酯吸附參考指標,達pH設定值時即進行備用樹酯切換,避免外排濃度異常。
(2) 是否設置即時監控設施或定期採樣檢測:隨管理局定期廢水水質採樣,同步採樣委由SGS檢測。
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持續削減目標及規劃

訂定含氮污染物削減計畫,目標106年1月1日前將納管氨氮濃度降至30 mg/L以下。

含氮污染物削減計畫,於104年度計畫目標為設置薄膜硫酸銨方法,針對Scrubber(廢棄處理設備)排水、機台NH4OH清洗製程進行處理,所需經費已於104年編列並已經董事會核可。

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