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台積公司民國七十六年在新竹科學園區成立，是全球第一家專業積體電路製造服務公司。身為業界的創始者與領導者，台積公司是全球規模最大專業積體電路製造公司，提供業界最先進的製程技術。製造生產過程需使用的能源、化學品及氣體，廠內所有運作皆符合相關環保、安全與衛生法令規定，並以國際相關規範為標竿。公司秉持「誠信正直、承諾、創新、客戶夥伴關係」等核心價值，致力於達成「安全零事故、環境永續發展」的目標，為達成目標，台積公司的策略是「遵守法規承諾、促進安全健康、強化資源利用及污染預防、管控環安衛風險、深植環安衛文化、建構綠色供應鏈、善盡企業社會責任」。公司承諾持續改善並做到：
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1. |
遵守或超越國際環保、安全與衛生相關之法規、標準與承諾。 |
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2. |
建構安全的工作環境，預防職業傷害與疾病，維護員工身心健康。 |
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3. |
強化綠色設計與綠色製造、提供綠色產品及服務、興建綠色廠房，致力於改善地球環境。 |
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4. |
關注全球性環保、安全與衛生議題，評估其風險並執行有效的管控措施。 |
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5. |
深化全體員工對環保安全衛生的認知、責任承擔與文化塑造。 |
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6. |
建構綠色供應鏈，經由分享經驗與合作改善，共同提升環保、安全與衛生績效。 |
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7. |
加強與各利害相關者之溝通，主動揭露相關資訊與經驗，促進產業界安全衛生與地球環境的良性改變。 |
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1. |
廠內含氮原物料種類及數量 |
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廠內含氮原物料主要可分為蝕刻緩衝液(BOE)、顯影液、氨氣、一氧化二氮、三氟化氮、氨水及六甲基二矽胺(HMDS)。
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2. |
執行削減前納管水量及氨氮排放濃度 |
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本廠已記錄削減前納管水量，及分析氨氮排放濃度。 |
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3. |
計算削減前單位產品含氮原料用量 |
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本廠已記錄削減前單位產品含氮之原料用量。 |
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1. |
含氨氮廢水之分流狀況 |
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目前含氨氮廢水分流分別針對含NH4OH廢水、含N(CH3)4OH廢水與NH4(g)廢氣處理系統廢水分別獨立分流，並於103年底完成含N(CH3)4OH廢水(TMAH廢水)樹酯吸附處理系統。
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2. |
減量措施、投資及額度 |
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(1) |
採行源頭減量措施(含氮原物料減量使用)說明：目前廠區機台排放含有氨氮廢水之機台主要有6種，批次檢測機台排放氨氮濃度，分析此6種機台NH4OH使用機制、氨氮廢水濃度特性、排放時機等，再進行相關減量措施（將不同機型相似製程比較後標準化用量、相同機型比較後各機台用量標準化用量、依排放特性，檢查排放特徵現象是否異常、酸槽換酸特性與換酸次數標準化）。 |
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(2) |
採行管末處理措施(處理設備改善或新設)說明：依改善前32.2 mg/L計算，新管制標準廠區收費為19.3 M/y，藉由管路分流與管末處理設備設置(投資金額10 M，運轉成本4.5 M/y)，不僅可符合納管標準，整體投資回收效益可於1年內回本。
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(3) |
相關措施投資及額度：
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a. |
管路分流與預留點：100萬(管路分流為既有管路，新增預留點)。 |
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b. |
TMAH樹酯吸附處理系統：1,000萬(含管線/控制系統/儲槽/銜接介面，不含樹酯(處理設備商提供))。 |
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3. |
減量前/後排放濃度、穩定度及成果
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(1) |
減量前/後廢(污)水氨氮排放濃度：改善前後放流口氨氮濃度改善21.5 %(70→55 mg/L)。 |
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(2) |
符合納管標準及穩定度及成果：自103年以來配合管理局定期採樣日期，同步自行採樣委由SGS進行樣品分析，及早發現異常狀況，及早進行異常處置，103年10月後皆可符合氨氮廢水75 mg/L之管制標準，且104年1月起TMAH處理系統上線後，TMAH排放濃度亦可符合30 mg/L之管制標準。 |
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4. |
相關設施查驗、管理及運作情形
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(1) |
設施操作、維護機制及狀況(包含投入設施及措施)：設置處理設備出口pH，以pH值作為樹酯吸附參考指標，達pH設定值時即進行備用樹酯切換，避免外排濃度異常。 |
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(2) |
是否設置即時監控設施或定期採樣檢測：隨管理局定期廢水水質採樣，同步採樣委由SGS檢測。 |
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訂定含氮污染物削減計畫，目標106年1月1日前將納管氨氮濃度降至30 mg/L以下。
含氮污染物削減計畫，於104年度計畫目標為設置薄膜硫酸銨方法，針對Scrubber(廢棄處理設備)排水、機台NH4OH清洗製程進行處理，所需經費已於104年編列並已經董事會核可。
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