國家科學及技術委員會新竹科學園區管理局

環保園地

首頁環保園地優良環境保護專責人員 111年度

台灣積體電路製造股份有限公司八廠吳以壯

1.參選類別：

廢水處理專責人員

2.現職（參選時之職位）：

工程師

3.個人工作內容摘要

1. 降低廢水排放量，並提升可再利用率

2. 降低自來水用量

3. 降低純水化學品用量

4. 維護處理系統，確保其運轉穩定

5. 在維持排放水質合乎標準之條件下，降低運轉成本

4.公司簡介

　　台積公司自成立以來，除在專業積體電路製造服務本業中謀求最大成就，同時亦善盡企業公民責任，積極與員工、股東／投資人、客戶、供應商／承攬商、社會等利害關係人建立良好互動，攜手建立永續未來。

台積電主要業務為專業積體電路製造，在生產過程中須使用製程設備、矽晶片、化學品、氣體及水電能源，其日常運作管制不僅要符合相關環保、安全與衛生法令規定，並以國際相關規範為標竿。在此前提下，台積電之環保、安全與衛生目標為「預防污染，提高資源使用效率，成為永續發展之企業；預防意外事故，促進員工安全衛生及保護公司資產，營造安全舒適的工作環境」。為達成上述目標，台積電承諾持續改善。

5.具體事蹟

(以個人貢獻為主，在專責類別上對公司及環境之事蹟，必須有量化或具體事證，所述內容應參照評選項目，包含：1.法規規定應執行業務辦理情形，2.污染改善措施、具體效益及對任職機構之貢獻)

1. 依法規規定進行廢水各項申報作業，參與有關許可及水措計劃書申請。

2. 執行系統改善及定期維護保養作業，以維持廢水處理系統之放流水質穩定。

3. 執行系統改善及定期維護保養作業，以維持回收水處理系統之回收水質穩定。

4. NMP 減量：為達到NMP減量環保承諾及法規標準: 排放濃度< 1.0 ppm (2021年1月1日開始實施)，TSMC Fab8 製程陸續停用NMP，並於2021.04 ~ 2022.01 連續10 個月檢測< 1.0 ppm。2022/1/14 廠務氣化課完全停止供應Fab tools (閥件關閉)。

5. 氨氮排放減量及硫酸銨減廢( 預計 2022.11)：增設 RO 提濃原廢水氨氮濃度以改善MD 膜去除效率，目標放流氨氮 < 20 ppm 。另可產出硫酸銨濃度穩定 > 30%，達到減廢效果。

6. Fab8廢水廠污泥脫水機翻新： Fab8 地球村脫水機已使用 24 年( 自 1998 年 )，2021年裝設 F3E 轉移之卜力斯脫水機，新型脫水機可穩定控制污泥含水率 < 50%，達到減廢效果。

7. 廢水廠化學藥品集中管理：Fab8 廢水/Scrubber/冷卻水塔使用的H₂SO₄、NaOH、CaCl₂、NaOCl、防蝕防垢劑儲槽、泵浦集中化管理，並設置Dike、防潑濺。而化學藥劑灌充口(CCB) 原設置戶外，2021年將CCB改裝至室內，設計均參考新建廠規格。此系列改善可將化學品洩漏影響範圍限縮於廢水廠，降低污染雨水溝或廠外管線之風險。

8. 設定DIW/Move為有效DIW節水指標執行節水：以W1905週為100%計，W2202週已降為23.49(越小代表越省水)，DIW節水率為21.7%。(持續執行)

9. 因應廠區Local Scrubber 擴充，新增LSR-2 回收製程廢水(720CMD)與節水及廢水減量(-353CMD)之目的。(2020.12 開始運轉)

10. 原回收系統 LDI 1 現地改造為 UPW system ，進而將空污防制設備 CentralScrubber (C/S) 水源由 RCW 供應改為 MAUR 產水供應，煙囪氫氟酸濃度可由4.8ppm 0 ppm 。 (2021.01 開始運轉)

11. 建立雨水排放預警pH 計/截流/抽回廢水廠處理功能，避免廢污水溢流至雨排排放至廠外。

12. 廠區每季針對化學品洩漏、廢污水洩漏等情境皆舉辦緊急應變演練，近期完成大型複合災害應變演練：六級地震引發H2SO4灌充管路脫落洩漏事件。

以上所列為本廠近年來在廢水資源回收再利用，以及放流水質控制之部分成果。綠色製造不僅為企業關鍵的競爭力，更是企業社會責任及義務的起點。本廠水處理課同仁不斷向穩定放流水質、提高回收率並降低運轉成本這三大目標努力。本廠將持續透過內外部專家合作，進一步研究廢水處理系統改善，以持續成為環保、安全與衛生標竿企業為目標。