國家科學及技術委員會新竹科學園區管理局

環保園地

首頁環保園地優良環境保護專責人員 103年度

台灣積體電路製造股份有限公司十二廠六期盧銘駿先生

103年度新竹科學工業園區優良環境保護專責人員

空氣污染防制專責人員

台灣積體電路製造股份有限公司十二廠六期盧銘駿先生

現職

台灣積體電路製造股份有限公司十二廠六期主任工程師

個人工作內容摘要

．	空污防制設備運轉操作及維護
．	機台排氣系統供應設計及擴充規劃
．	處理毒性、燃燒性、PFCs local scrubber設計規劃與安裝
．	十二廠第六期空污環保專責人員

公司簡介

　　台灣積體電路製造股份有限公司(簡稱台積)，主要業務為專業積體電路製造服務，在生產過程中須使用製程設備、矽晶片、化學品、氣體及水電能源，其日常運作管制不僅要符合相關環保、安全與衛生法令規定，並以國際相關規範為標竿。在此前提下，台積公司環保、安全與衛生目標為「預防污染，提高資源使用效率，成為永續發展之企業；預防意外事故，促進員工安全衛生及保護公司資產，營造安全舒適的工作環境」。為達成上述目標，台積公司承諾持續改善，並做到：

	1.	維護環境品質及確保員工安全與衛生，是全體員工的責任。
	2.	遵守相關環保、安全與衛生法令，並致力符合先進國際相關環保、安全與衛生標準。
	3.	提供相關教育訓練及資源，提高員工對環保、安全與衛生的認知，並主動積極與各階層同仁溝通，同時尋求合作。
	4.	引進國際環保、安全與衛生之新觀念與相關技術，以提高管理效能。
	5.	製程研發設備及新物料使用前，經過環保、安全與衛生評估，以降低風險。
	6.	對供應商及承攬商在環保、安全與衛生議題上進行了解及溝通，以鼓勵其增進環保、安全與衛生績效。

具體事蹟

	1.	建立每日即時監控機制
		F12P6對於空氣污染防制不僅要符合法規定義的效率及操作條件，更將洗滌塔的操作條件中循環水流量及pH、VOC去除效率納入即時監控中，由每日二十四小時輪值之人員監控。系統效率檢知資訊也皆列入重點追蹤項目，如有異常可立即處理。並於每日review洗滌塔循環水量、pH、VOC去除效率之趨勢圖，可充分了解空污防制設備運轉品質。
	2.	排放源頭減量
		F12P6空污排放符合法定標準甚至遠超過操作條件標準，但是人的嗅覺及可忍受的感受程度遠遠嚴格於儀器偵測極限，顯示無論是從大氣或是交叉污染造成影響潔淨室的空氣品質來看，對於酸鹼廢氣的處理排放仍有減量的必要。我們建立廠區周界酸、鹼及有機氣體濃度之背景資料，對於改善前後的依據。為了實施源頭減量，我們調查所有排氣風管排放酸、鹼及有機氣體排放濃度，找出高濃度排放風管，於高濃度風管側設置自行設計之小型濕式洗滌塔(local wet scrubber)，先將高濃度廢氣經過小型洗滌塔後，再排入風管進入末段空污防制設備，減少對空污防制設備的負擔。

3.	末段空污防制設備效能提升
	為了增加洗滌塔去除效率做了許多改善，其中包括增加曝水量、更換較高比表面積洗滌球及增加擾流檔等來增加洗滌塔的去除效率。傳統式的洗滌塔有空間的限制，僅能強化操作條件，然而這些改善成效增加去除效率5%~10%之間，無法有效的且明顯的提升洗滌塔的去除效率。本廠團隊依據理論公式中影響洗滌塔效率參數設計二種新型洗滌塔：
	(1)	第一種為雙塔式洗滌塔運用於初步處理(local wet scrubber)設置於高濃度桶槽區，對於高濃度桶槽區排氣處理效率＞95%，對於污染物煙囪排放總量可達到減量5%～10%的效果，以減少對末端防制設備負荷。
	(2)	第二種為將暨有的立式洗滌塔改變計有的運轉操作條件，其中包括氣體停留於塔體填充層滯留時間(t, retention time)、自行設計高比表面積的拉西環以增加潤濕因子(Wetting Factor m2/hr)及氣狀值傳係數、二段式除霧層減少被水氣吸收的污染物再被釋出於環境、第一段水膜潤濕及前段勻狀分流板…等，污染物經過高效率洗滌塔後各污染物濃度可降至200 ppb以下，比傳統式洗滌塔增加15%～20%去除效率。

	4.	THC auto backup system
		F12P6 THC analyzer 配置方式為1對2(1組THC analyzer對應2套VOCs)，共有三套THC analyzer對應6套VOCs 沸石轉輪處理系統，任何一套THC analyzer PM或在異常的狀況下將造成VOCs處理系統無法監控；為達到100%有效監測，新增THC backup system，任何一套THC analyzer異常情況下能立即切換取代，避免VOCs處理設備無連續監測值。
	5.	持續不斷的空污減量
		持續不斷的空污改善策略進行中，找出所有可能的污染源，擬定正確有效的改善方法。空污改善方法從原先提升末段防制設備效能，朝向污染源減量作法。空污改善種類從原先酸、鹼及有機物染物，增加F2及造成煙囪不透光率的粒狀物染物。空污連續檢測設備從原先的THC分析儀，增加煙囪不透光率分析儀。 F12P6 2013年度委外檢測中空污總排放量7.33 ton/year，比上一年度10.56 ton/year減少3.23 ton/year（減量31%）。換算成單位機台空污貢獻量，2014年度為9.01kg/tool，較2013年度18.14kg/tool，減少9.13 kg/tool（減量50%）。

其他特殊事蹟

	1.	針對高濃度污染物排氣桶原物料及廢水桶槽，設計高效率濕式洗滌塔，有效降低整體空污排放量。該設計列入後續新建廠中原物料及廢水桶槽之標準配備。
	2.	設置煙囪不透光率分析儀，連續監控煙囪中的不透光率物質。
	3.	利用Dyson集塵原理，設計水渦流機，利用強力負壓產生強力渦流，去除排氣中的細微粒狀物，取代傳統灑水式洗滌塔（水渦流機對於煙囪不透光率減量6.4%→ 4.3%，不透光率減量30%）。