減量使用
a. NF3減量減排:CVD BP Layer NF3減量,在不影響產品良率下,藉由將Chamber Self Clean Cycle 延長,以減少NF3的使用量,達到節能減排效益。
b. VOC瓦斯用量最佳化:熱旁通風門開度調整,由手動模式修改為自動控制模式,依現有脫附風量進行調正,從6.4倍依序調整至15倍,取得最佳瓦斯使用量。
c. 廠內設置之Stripper廢液回收系統(SRS),利用物理沸點不同及物質氣、液態變化,將光阻、高、低不純物分離,回收、精餾由製程排出之Stripper廢液,經SRS處理後之Stripper則再供製程使用。
d. Review實際機台DI水用量,於機台裝機即開始進行用水查核,避免因機台閥件錯開或過度清洗造成用水浪費,及進行機台之排水狀況清查,避免因人為或配管錯誤造成用水之浪費。
e. WET機台修改,以時間及感應器控制避免導電度較高之排水進入回收系統,每年約可節省72,000 m3用水量。
.「世界又熱又平又擠」作者佛里曼訪台系列活動-贊助由遠見雜誌於2010年1月所 舉辦之「世界又熱又平又擠」作者佛里曼(Thomas L. Friedman)訪台系列活動,共吸引具高度環保意識企業團體、青年族群等超過3000人次的參與,除增加台灣及民眾的國際能見度、強化台灣綠能產業未 來發展方向之共識外,也喚起年輕一代對環保議題的關注。