網站地圖

環保園地

首頁 環保園地 優良環境保護專責人員 111年度

台灣積體電路製造股份有限公司12廠6期 蔡孟松

 

1.參選類別：

 

空氣污染防制專責人員


2.現職（參選時之職位）：

 

工程師


3.個人工作內容摘要

1. 空污改善計畫

2. 監督空污設備操作、空氣污染物之檢測作業

3. 設置、變更及操作許可證之申請，依法執行空污申報

4. 防制設備擴充、排氣管路擴充、機台拆裝機配管拆管

5. ESG 撰寫 109 年度企業社會責任空污文稿、沸石濃縮轉輪脫附風車加裝變頻器節能專案

6. 自動化 風車啟停自動化、防制設備排氣風車潤滑自動化

7. 課級教育訓練與環保安全衛生負責人

 

4.公司簡介

　　民國七十六年，台積公司成立於台灣新竹科學園區，並開創了專業積體電路製造服務商業模式。除了擁有及管理的年產能超過 1,200 萬片 十二吋晶圓約當量，在生產過程中須使用製程設備、矽晶片、化學品、氣體及水電能源等，其日常運作管制不僅要符合安全衛生環保法令規定，並與國際相關規範接軌。
　　台積公司劉德音董事長宣示公司環保政策，致力於「促進環境永續， 成為世界級環境保護與能資源節約的標竿企業」，綠色製造為公司永續經營的基石。我們秉持企業成長與生態環境共榮的信念，厚植綠色管理 於日常營運，透過導入創新的綠色技術，持續落實氣候變遷與能源管理、水管理、廢棄物管理及空氣污染防制，同時積極與員工、客戶、供應商、社會攜手建立永續未來。

5.具體事蹟

(以個人貢獻為主，在專責類別上對公司及環境之事蹟，必須有量化或具體事證，所述內容應參照評選項目，包含：1.法規規定應執行業務辦理情形，2.污染改善措施、具體效益及對任職機構之貢獻)

(一 )法規規定應執行業務辦理情形
1. 擬定及實施空氣污染防制及改善計畫：

(1) 跨廠別成立空污專案小組每月定期開會討論。

(2) 跨部門召開空氣污染改善計畫。

(3) 評估既有設備的效能提升與新增設備的規劃運用。

2. 空氣污染防制設施或監測設施之正常運作，並保存相關資料。
　　透過廠區之監測設施將運轉參數等資訊即時回傳廠務中控室，本人每日檢視操作參數趨勢圖確認防制設備運轉參數正常；另 測試環保專責人員簽核電子化系統以落實電子化管理日常保養，同 時將空污關鍵參數導入「廠務參數變更管理系統」，持續強化相關 監督作業。防制設備亦設有完整的警報機制，一旦系統故障，「雙軌獨立監控系統」將即刻啟動，通知「廠務運轉監控中心」及「工安環保緊急應變中心」，進行設備修復或開啟備援設備。資料保存透過 InSQL 設定每 10 秒儲存一筆數值；依據環保法規資料保存 6 年。
　　監督方式詳細說明如下：
(1) 雙軌監控及操作參數趨勢圖檢閱：除系統警報時即時處理及回報外，本人藉由每日定時產生空氣污染防 制設備環保參數 Auto trend chart 每月進行跨廠盒鬚圖比對，藉以隨時確認每日參數變化來防患未然。
(2) 設備保養電子化管理及精緻PM：防制設施或監測設施藉由電子化保養表單控管，定期提醒保養時程，不僅標準化作業流程，也提高PM運作效率。
(3) 空污參數抄表：每日針對空污許可規範之環保參數進行抄表作業，並設立各巡檢點進行稽核抄表及系統運轉狀況，確保各系統單元運作正常。
(4) 參數變更管理：為強化末端防制設備操作參數管控，使其在最佳參數運轉，本人負責定義晶圓十二 B 廠之空污關鍵參數近 1000 筆，將其導入「廠務參數變更管理系統」，每日固定時間自動與標準參數值進行比對，確保防制設備以最佳參數運轉，若有不一致情形即自動回報負責人進行系統確認，確保排氣正常無虞。此空污關鍵參數變更管理後續已展開至台積公司十二吋晶圓廠，為所有空污防制設備運轉參數把關。
3. 擬定、實施突發事故之緊急應變措施。

　　本廠空氣污染防制設備均採用「N+1」之至少一套備援系統設置，搭配不斷電系統的電力備援，達到防制設備零失效的管理目標。在穩健的運轉下，我們仍須未雨綢繆增加同仁的應變能力，敝人每年安排「空氣污染突發事故通報與緊急應變」，如下劇本，達成於最短時間內將狀況排除，降低對環境的影響。

4. 辦理固定污染源設置、變更及操作許可證之申請。

　　因晶圓十二B廠同時為台積公司研發中心，經常面臨各式最新製程所需用到的特殊化學品，且化學品使用量隨著先進製程的變更而有所不同，因此本人每年確認與評估該年度化學品使用種類及使用量，及檢視防制設備是否有變更需求，以進行操作許可證變更之申請，使廠區隨時皆符合操作許可證運作。

　　近年空污相關法規的修改，本人主動參與固定污染源空氣污染防制費宣導說明會、專責人員在職訓練(每二年複訓一次)，使本人可於執行業務時充分了解相關規範，增加執行業務效率。

5. 監督依許可內容操作及申報污染源；擬定、實施排放管道及周界空氣污染物之檢測作業，監督採樣設施之設置、檢查及維護保養。

　　本人採取下列措施，有效監督管理排放管道狀況及定期申報污染源：

(1) 每月定期執行運作紀錄填寫及申報

(2) 每季進行空污季報申報及空污費繳納

(3) 每年進行空污排放定期檢測

(4) 定期自行檢測排放管道空氣污染排放狀況，追蹤及紀錄削減成效

(5) 依廠區製程需求提出操作許可異動，並依核定試車計畫書進行試車依需求提出操作許可異動，並依核定試車計畫書進行試車

6. 其他有關空氣污染防制之工作。

(1) 協助友廠先進封測三廠空污系統健檢及外部單位現場參訪學習

(2) 沸石濃縮轉輪溫度感測器保養 SOP 訂定

(3) 空污防制設備排氣風車潤滑自動化推行

　　空污防制設備排氣風車軸承保養因人工補油不易控制於潤滑最佳區間，本人推行風車潤滑自動化專案，藉由安裝自動潤滑器依軸承型號設定補油量，使軸承長期運轉於新油中 人工打油 1 次 月 自動定量 日 ，有效改善風車運轉振動值，達到防制設備零失效的管理目標。此專案已推廣於台積公司十二吋晶圓廠，並降低風車月保養 PM 總工時 4218 hr/ 年 以十二吋晶圓廠計算。

 

(二) 污染改善措施、具體效益及對任職機構之貢獻

　　針對空氣污染改善，本人付出不遺餘力，在公司內部「排放管道檢測基線管理機制」，台積公司每年列管數十支煙道，晶圓十二 B 廠六期保持無列管煙道佳績；於外部稽核單位進行空污環保稽核也尚無相關稽核缺失，望持續努力保持下去。另因揮發性有機氣體約佔台積公司空氣污染物排放量34％，是台積公司視為降低空氣污染物排放量的首要目標。因此本人對此提出改善三部曲 (THC 儀器升級、潔淨氣體脫附沸石濃縮轉輪、轉輪氣密補強 、低效沸石單轉輪汰新、第七套沸石濃縮轉輪系統擴充等減量作為，根據民國110年度空污定期檢測結果，揮發性有機氣體削減率最高可達99.5%，後續藉由高溫脫附氣體之氣密性改善持續提升其 削減率。在綠色製造持續推廣及眾人努力下，敝人所屬的廠區及單位「晶圓十二B 廠」及「廠務處」皆獲選為台積公司第二屆 ESG AWARD ESG 年度最佳貢獻獎；綠色管理亦獲國內外肯定，獲得全國綠色採購績優企業、溫室氣體盤查認證、能源管理系統認證等殊榮肯定，持續朝「世界級環境保護與能資源節約的標竿企業」的願景邁進。