環保園地
台灣積體電路製造股份有限公司12廠6期 蔡宇軒
1.參選類別：
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廢水處理專責人員 |
2.現職（參選時之職位）：
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工程師 |
3.個人工作內容摘要
- F12P7 廢水系統/回收水系統工程建置人員 (CCR/LSR/MD system)
- F12P6 CWR/LSR/CCR/CCRR/HFDR/MD system回收水系統建置工程及運轉操作
- F12P6 AWD/HF/CMP/CuCMP/BW/Sludge system廢水處理系統運轉操作
- F12P6 Bio 生物系統建置工程設計規劃
- 放流水質管控(水質超標事件0件)、定期檢測、放流水質改善與水回收技術推廣
4.公司簡介
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台積公司於民國七十六年在新竹科學園區成立，全球第一家專業積體電路製造服務公司。身為業界的創始者與領導者與全球規模最大專業積體電路製造公司，除在專業積體電路製造服務本業中謀求最大成就，同時也善盡企業公民責任，積極與員工、股東、客戶、子公司、合資公司、供應商、社會等利害關係人建立良好互動，共同追求永續未來。
台積公司為提高水資源的使用效率，將純水設備及製程機台的排放水依照其純淨程度分級，最乾淨者優先循環純化回製程使用；次之者經水回收設備處理後，做為非製程次級用水；最後，無法回收使用的廢水則排至廠區內設置的廢水處理廠進行終端廢水處理。台積公司著重建置各種用水回收系統，將可再次使用的水經過精製後循環使用，藉此層層循環再利用模式提高廠內回收水量，不輕易浪費一滴水。民國106 年度製程用水回收率平均達87.5%，不僅優於園區管理局規範85%，更優於前年度回收成果，成功突破因隨先進製程發展而使用水量同步增加的困境。民國106 年，持續執行既有節水措施並加上15 項新增節水措施，使得總回收水量達103.4 百萬公噸，相當於3.2 座寶二水庫。
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5.具體事蹟
(以個人貢獻為主，在專責類別上對公司及環境之事蹟，必須有量化或具體事證，所述內容應參照評選項目，包含：1.法規規定應執行業務辦理情形，2.污染改善措施、具體效益及對任職機構之貢獻)
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改善內容 |
改善效益 |
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新設廢硫酸處理系統回收處理含氧化性物質之廢硫酸，並增設灌充/外運模組收集各廠廢酸，處理後再行分送它廠重複利用 |
提升本廠廢硫酸處理系統利用率(9%→83%)，並降低全12廠外購新鮮硫酸176CMM，廠內系統完全使用再生廢硫酸，省去4.8M NTD/Y外購硫酸、廢硫酸外運之成本7.13M NTD/Y、廢硫酸委外處理費21.38M NTD/Y，與硫酸販售效益0.71 M NTD/Y。 |
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新設廢硫酸銅電解回收系統，還原含銅廢液中銅離子，轉化為有價銅金屬，並增設灌充模組收集各廠廢液集中處理 |
節省委外清運硫酸銅廢液量1,577 ton/Y(約當2.83M NTD/Y)，使用電解還原設備，處理竹科12吋廠硫酸銅廢液成為99.5% 銅管，轉化為2,985kg/M額外金屬銅販售收益。 |
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新設鈷廢水提濃/電解回收系統，提濃含鈷廢水中游離鈷離子，並搭配電解法轉化為有價鈷金屬，並增設灌充模組收集各廠提濃後之鈷廢液集中處理 |
預計新製程使用後，將節省每年委外清運鈷廢液量達139.8 ton/Y(約當48.77M NTD/Y)，使用電解還原設備，處理竹科12吋廠鈷廢液成為鈷管，轉化為2,003 kg/M額外金屬鈷販售收益。含鈷廢水以樹脂吸附後，達成放流外排鈷零檢出(N.D. =0.0023 mg/L)。 |
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增設氫氟酸廢水與現址式廢氣洗滌塔 逆滲透濃縮水之二次逆滲透濃縮系統HFDR |
機台氫氟酸排水與現址式廢氣洗滌塔洗滌廢水氨氮濃度高，經RO濃縮後其濃縮水會造成放流水氨氮值超標(>30mg/L)，經由HFDR系統設置可使放流氨氮值穩定<30mg/L，並額外提升455CMD之次級回收水量。 |
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新增氫氟酸廢水系統檢測電極自動清洗裝置，確保讀值與靈敏度保持常態性正確，以利提升化混用藥效率，進而穩定出流水質 |
氫氟廢水系統檢測電極易受化混過程產生之結晶包覆影響測值靈敏度，連帶影響加藥功能導致水質穩定度不佳。新增自動藥洗裝置，解決過去大量人力清潔負擔(1,460 hr/Y)並大幅提升用藥效率，放流氟鹽濃度震盪幅度由44%降至17%。 |
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TMAH處理系統游離低濃度廢水由直接排放一般酸鹼廢水系統，新增管路排回原系統二次處理 |
所有含TMAH廢水全數納管不外流，污染零排放，放流TMAH平均濃度由2降至0.5mg/L。 |
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調整廢水系統操作流程，尋求最佳化之高效率運轉模式，將使用之化學藥劑進行減量，以最少資源達成穩定成效 |
1.新增含臭氧氟化銨廢水收集管路，納管收集至氨氮系統合併處理，折點加氯劑減量成效達240 ton/M(約當0.984M NTD/Y )，減量幅度64%。
2.含銅製程研磨廢水系統pH調整槽改為雙槽控制，並以瓶杯試驗做操作參數最佳化，混凝劑用量減量成效達15 ton/M(約當1.71M NTD/Y )，減量幅度71%。 |
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新增放流水COD、異丙醇與丙酮線上連續偵測儀器 |
增進放流水水質監控能力，確保污染零排放 |