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力晶科技股份有限公司P1/2 |
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力晶科技股份有限公司於1994年12月創立，業務範圍涵蓋動態隨機存取記憶體製造及晶圓代工兩大類別。目前為國內領先之全方位的記憶體公司，不僅擁有最先進製程技術，更具備世界級水準之產品良率及品質。
目前力晶擁有全球最先進的十二吋製程晶圓廠共三座。在全體員工通力合作下，第一座十二吋晶圓廠（P1廠）滿載月產能四萬五千片，於2002年10月進入量產。力晶P1廠不僅是台灣第一座為製造先進記憶體而量身打造的十二吋晶圓廠，也是全球半導體業界前三座進入量產的十二吋晶圓廠。力晶更於2003年10月興建第二座十二吋晶圓廠（P2廠），已於2005年3月安裝生產設備，目前達滿載月產能四萬片五千片規模。此外，力晶更於2006年2月興建第二座十二吋晶圓廠（P3廠），已於2006年7月安裝生產設備，滿載月產能同樣可達四萬片五千片規模。
力晶除擁有領先技術、最低成本與穩定的產品品質外，在競爭激烈的DRAM產業中已取得長期立足點，並展現最佳的生產競爭力。未來在P1廠、P2廠、P3廠，更將以最尖端之十二吋製程設備及最先進的0.09、0.07微米乃至於最新研發的65奈米製程技術，生產高品質的新世代動態隨機存取記憶體產品，保持力晶在記憶體產業的領導地位；未來，力晶將強化國際合作策略，引進尖端科技，持續穩健投資，在快速變遷的高科技產業中不斷建立競爭優勢，成為與客戶共創雙贏的全方位記憶體供應商。
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除了持續實施既有之節能規劃與改善措施外，以下針對96~97年間力晶廠內推行的各項節能減碳措施及具體成效加以說明。
一、 辦公室區域改善措施及成效
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(一)空調溫度設定維持在26度
(二)會議室/主管辦公室離開超過5分鐘關閉空調
(三)會議室使用完畢後關閉照明
(四)主管離開辦公室超過5分鐘請隨手關燈
(五)會議室內各項附屬相關設備(公用電腦.投影機等),使用完畢後務必關閉
(六)請將電腦設定省電模式,待機時間為3分鐘
(七)下班後關閉個人電腦及其它電源(例:手機充電器或延長線電源)
(八)公用區影印機設定省電睡眠模式(統一由總務請廠商設定)
(九)在符合法規照度要求下，節省照明設備之使用
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在辦公室空調節能方面，總共節能1,663,432元/年，減少CO2排放量637.6噸/年。 |
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在辦公室照明節能方面，總共拆除燈管8591枝，節能3,144,988元/年，減少CO2排放量1,205.6噸/年。 |
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二、推行共乘之節能減碳改善措施及成效 |
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為減少因員工上下班造成的廢氣排放、交通阻塞、使用燃油造成溫室氣體排放等問題，公司鼓勵同仁上下班儘量共乘、搭乘大眾運輸工具，因此特別針對有搭乘接駁車上下班需求之同仁，共規劃14個交通路線提供同仁搭乘交通車上下班，如下表所示，力晶因推行上下班搭乘交通車減碳措施，每年約可減少5152公噸CO2之排放。
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三、製程設備機台改善措施及成效 |
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(一)低使用率設備機台停機
(二)調整廠務utility需求量及需求壓力
(三)未使用之附屬設備停機
(四)PM儘量在平常施作, 假日夜間生產為主
(五)N2櫃及Purge N2流量調低或減量
(六)調整運轉規格以節省能源耗用
(七)生產機台安裝多功能電表以監測用量
(八)設備儘量選擇高電壓供電, 以減少線損
在Fab廠製程設備節能方面，總共節省電費6,010,286元/年，減少CO2排放量2,303.9噸/年。
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四、廠務系統電力改善措施及成效 |
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(一)提高冰水機主機出水溫度以提高運轉效率
(二)無塵室依據清淨度調整FFU轉數及換氣回數
(三)無塵室依據清淨度和溫濕度調整外氣差壓
(四)降低無塵室與外氣差壓值及外調機不全量回溫
(五)Hot DI超純水依實際需求減量供應
(六)降低排氣靜差壓及低焓值熱排回收再利用
(七)調降CDA露點溫度減少再生排氣浪費
(八)調低CDA出口壓力提昇設備運轉效率Fab廠製程設備節能統計
在Fab廠廠務系統節能方面，總共節省電費10,235,624元/年，減少CO2排放量4,242.6噸/年。
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五、廠務有機廢氣(VOCs)處理設備效能提昇改善工程 |
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半導體製程廢氣中，有機廢氣(VOCs)處理設備通常採用沸石濃縮轉輪(ROTOR)加直燃式廢氣焚化爐(TO)方式設置，主要的原因為此處理系統廢氣平均去除效率可達符合法規要求的90%以上，且沸石為可吸脫附廢氣的疏水性材質，使用壽命可達5~7年，但廢氣焚化爐則需耗用輔助燃料，以達到破壞分解污染物所需的溫度(約700~800℃)，而燃燒所產生的熱能則以熱交換器做熱回收，一般平均的回收效能為40~60%，非常不經濟。在考量製程操作穩定度的需求前提下，我們經審慎評估後採用了蓄熱式焚化爐(RTO)取代既有的直燃式焚化爐(TO)，由於RTO可有效回收熱平均達90%以上的熱能，故每年可有效節省燃料費的操作成本約22000仟元/年，相當於1,944,000m3之天然氣用量(每年約減少4,000 公噸 CO2排放)。
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六、製程PFCs氣體減量之管制措施及具體成效 |
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1995年起WSC(世界半導體協會)即主動地以溫室氣體排放減量為各會員國在全球ESH上共同努力的目標，TSIA(台灣半導體協會)亦自1998年起積極參與WSC對PFCs減量的活動，並同意至2010年時將減少PFCs的排放量至2,420,000公噸CO2當量以下，其中力晶承諾將於2010年將PFCs排放量降至115,000公噸CO2當量以下。
WSC目前管制之PFCs有CF4、C2F6、C3F8、C4F8、CHF3、NF3及SF6等七種，這些氣體主要使用在半導體之乾蝕刻(dry etch)製程，以及化學氣相沉積之反應腔清洗製程(CVD chamber cleaning)中，由於各生產機台在運轉操作過程中，有部分製程氣體未能被機台利用或分解，因此製程尾氣中常常還會殘留高濃度之PFCs，由於PFCs具有不易分解之特性，必須藉由高能(如高溫、電漿等)方能破壞處理，因此一般水洗或乾式吸附式之Local Scrubber(局部尾氣處理設備)以及中央洗滌塔是無法有效將其去除，有鑑於此，力晶公司自設立12吋廠以來，在不影響生產的條件下，除使用替代性氣體與減少前端製程用量持續降低溫室氣體排放外，對於所選購裝設之Local Scrubber除了必須達到有效處理尾氣中有害物質之基本要求，針對PFCs也必須達到95%以上之去除效果，並且要求設備廠商提供第三公證單位之檢測報告，以確認可符合力晶公司之驗收規範。目前聯合國IPCC(跨政府氣候變遷問題小組)所認可對PFCs有90%以上處理效率之Local Scrubber包括燃燒、觸媒、電漿以及電熱等四種型式，至2008年9月，力晶廠內共設置282台上述四種型式之PFCs Local Scrubber，若以每台平均設置費用超過新台幣200萬元計算(不含每年維修保養、零件更換等費用)，力晶公司花費在處理PFCs之操作成本，保守估計已超過新台幣5億6千萬元。2000~2007年間力晶公司因持續裝設Local Scrubber，PFCs減量績效已從2000年的4%大幅提昇至2007年的65%(2007年之PFCs減量為217,273公噸CO2當量)，至2007年為止，PFCs排放總計已減量達790,000公噸CO2當量，而2007年總排放量116,674公噸CO2當量，與2010年之承諾值115,000公噸CO2當量僅差距不到2%。
綜合上述各項節能措施及改善方案之成效，由下表可知，96年力晶共減少234,815公噸CO2當量，減量比例達22%(96年未進行節能減碳措施前之總排放量為1,048,288公噸CO2當量)，其中以製程PFCs排放減量佔全公司之92.53%最為顯著，未來更將持續致力於溫室氣體之排放減量管制，預期於2010年能將PFCs排放量順利降至額配量115,000公噸CO2當量以下。
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推動低碳措施之教育宣導
一、建立節能減碳觀念推行管道
為便於公司各部門同仁工作上的溝通以及訊息的分享，並減少紙張的列印與消耗，由MIS於公司內部入口網站系統上設計一訊息公佈欄，風險安環部則透過此系統不定期將各項工安及環保資訊轉載於該佈告欄上，方便同仁及時取得相關資訊，同時達成觀念宣導及教育訓練的目的，也達到節能減碳的雙重效益，佈告欄訊息如圖1範例所示。
二、響應節能減碳護地球連署活動
隨著人類快速發展，排放大量溫室氣體，造成全球暖化與氣候變遷的效應日益明顯，此已經是當今國際上最為關注的重大議題，是地球村上每一份子須共同承擔的後果。台灣是一個海洋國家，海洋帶來的威脅和衝擊是最為直接和嚴重的，如何因應氣候變遷的衝擊無疑是全民刻不容緩的首要任務。
力晶公司本著以綠色企業形象目標為導向，對於愛護地球環境與珍惜然資源更是責無旁貸。除在工廠營運方面除了持續進行污染排放減量及資源回收再利用外，公司內部也開始推動辦公室同仁節能減碳的行動，希望藉由力晶人的自發性努力來實踐愛護地球的承諾，雖然這只是每個人的綿薄之力及生活中的小改變，但若能長久持續地努力，所累積出來的能量一定會維持地球的生命力。同時，力晶也架設節能減碳行動宣言簽署活動網站以廣邀同仁呼應這項因應國際趨勢的新生活行動，以及提供個人節能減碳小撇步，作為減碳資訊交流的園地，並藉此共同與台灣打造成為低碳社會、永續國家。
三、推動節能減碳評比活動-具體行動
推行各項辦公室節能減碳措施及評比活動，將可以量化的部份進行簡易計算(參考環保署節能試算表)。選出績效最優部門給予表揚及獎勵，增進公司全體同仁參與節能減碳活動的動力。藉由活動之推行實施，讓公司全體同仁實際進行辦公室節能減碳措施，並養成良好的日常生活習慣，共同為我們地球環境的永續發展盡一份心力。
試算表內容包含了同仁工作一天中的大部份共同活動，如上下班、中午午休，辦公室空調、照明，飲食生活習慣、嚮應吃素等項目均可列入節能減碳的個人執行措施及成果計算，讓同仁可進一步了解一天中可能產生了多少的CO2排放。
四、推動資源性垃圾分類回收
為落實同仁生活做節省能資源舉手做環保之習慣，本公司於廠內各定點設有資源回收箱，進行生活垃圾及資源垃圾分類回收；另外亦推動再生紙使用、單面紙雙面影印及廢電池回收，廚餘回收及餐具分類等舉手作環保的活動，如下圖2至圖4範例所示
五、落實節水、省紙、節電宣導及作為
為響應資源永續再利用政策，並降低耗用資源對環境之衝擊，本公司持續推行各項節水、省紙、節電活動，如更換省水型水龍頭、使用省電燈管並於現場、各用水點張貼節水小標語及節水海報等，如圖5範例所示。
六、推動電子化教材（e-learning）
為減少廢棄物產生量及降低資源耗用，公司於2002年度開始推行e-learning線上訓練課程，並建立屬於力晶人的電子教育訓練系統，如圖所示；藉由電子化課程的實施，簡化了教育訓練流程及提昇了同仁的到課率，而電子系統同時能迅速提供教材、簽到及測驗等訓練紀錄，也更能配合同仁的時間需求隨時開課隨時訓練。風險安環部也善用此系統，將環境保護、節能減碳相關的宣導教材，製作成電腦動畫或互動式的教材，以更生動活潑的教學方式來提昇教學成效。如圖6、圖7範例所示。
七、舉辦工安環保月節能減碳活動
為強化同仁工安環保意識，公司於每年10月定期舉辦工安環保月，藉由一些較具活潑性、趣味性的活動來推廣環保觀念，今年更擴大舉辦以「節能減碳謢地球、力求晶采GO環保」做為節能減碳宣導主軸，活動宣傳如圖4.1-9，主要辦理的活動有：節能減碳評比、響應節能減碳護地球連署活動、綠色商品(環保局-環保標章)展、機車定檢服務、節能減碳宣導短片、節能減碳護地球系列報導、節能減碳活動標語票選、運動節能疏食減碳活動等，而往年更有居民蒞廠參觀、環保生態之旅及影片欣賞、以及有獎徵答等一系列活動，並深獲同仁熱烈參與及迴響，並且也會積極向公司同仁宣導及鼓勵同仁踴躍參加園區工安環保月相關系列活動。相關活動剪影如圖8所示。
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教育宣導與低碳措施之契合情形
一、建立綠色產品供應鏈(GP)
力晶公司主要從事動態隨機存取記憶體(DRAM)的生產與製造，在產品研發階段即導入綠色產品設計觀念，配合歐盟WEEE、RoHS等環保指令及客戶對產品之環保要求，避免選用含鉛、鎘、汞、六價鉻等重金屬的原物料或屬於氟氯碳類化合物之原物料，以減少對環境的衝擊；因此力晶公司自2005年開始導入綠色產品供應鏈管理制度起，已制定相關環境限用物質管制規範(EGG-P021)及管制標準(EGG-I035)，力晶公司亦於2006年起全面生產綠色產品，並同時要求供應商及外包商供應給力晶公司的產品，也必須符合力晶公司之環境限用物質管制標準及建置綠色供應鏈管理網站平台。
二、實施綠色採購
針對本公司所使用之公共用品，則跨部門與總務部及採購單位進行宣導及溝通，進行公共事務用品於選用採購時，必須選用具有環保標章認證之物品，以落實推行節能減廢及綠色採購之目的，相關環保標章選用之物品及照片，如下表所示。
三、配合節能減碳相關推行工作
為落實具體節能減碳政策之推行，主要之措施及作法如下，各部門承諾遵守下述節能理念與致力執行節能工作推動，為永續環境資源做努力：
(一)各級主管承諾並落實節能管理。
(二)宣導同仁節能能源觀念並致力遵守。
(三)努力提昇節能技術。
(四)全力配合政府節能政策與推動。
(五)執行節能減碳的活動，促進資源有效使用。
(六)持續地檢討與改善，以提昇節能管理成效。
(七)配合公司環安衛政策，期使環安衛政策與節能政策相輔相成。如圖9範例所示。
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