世界先進積體電路公司晶圓二廠

事業名稱: 世界先進積體電路公司晶圓二廠
事業地址: 新竹科學工業園區新竹市力行路9號
聯 絡 人 : 蘇昭吉
電  話: (03) 5632111#8085
傳  真: (03) 5632119
資 本 額 :  
員工人數:  
主要產品:  
 
獲獎事評相關優良事蹟及其推廣管理制度摘要教育訓練推動
廢棄物清理、減量、再利用績效設備、設施投資改善績效
廢棄物清理及資源減量回收再利用研究發展之貢獻
 
獲獎事評

 
秉持“永續經營.資源永續”的理念,積極提倡綠色產品。
廢棄物減量以“源頭減量.資源永續”為優先考量並獲得良好成效。
廢污泥、廢溶劑與廢酸產出量近年來均呈現遞減現象。
推動廢棄物回收減量再利用成效佳,99年、100年廢棄資源再利用率達93.9%、95.7%,近三年每片wafer產出廢棄物量(廢污泥、廢溶劑、廢酸)均有顯著降低
依F-濃度控制CaCl2加入量大幅減少CaF2污泥量,極具源頭減量之效益,此經驗應可提供其他業者參考、觀摩學習。
積極投入研究發展提高再利用率,並減少原物料的使用量。

相關優良事蹟及其推廣

 
98年科學工業園區節約用水績優廠商獎
99年協助新竹市環保局辦理毒災聯合防救演練擔任示範廠。
通過ISO 9001、ISO 14001、OHSAS 18001、SONY Green Partner及TOSHMS之認證。

管理制度摘要

 
環保政策
 
秉持“永續經營.資源永續”的理念,以“源頭減量.資源永續”為優先考量。
針對廢棄物廠內清運流程,制定「槽車灌充、廢液抽取及載運作業管理辦法」。
實施ISO-14001環境管理系統並制定管理辦法作為管理系統之依據。
ESH方案申請系統:99~100年提案廢棄物減量共54件,回收再利用共5件,節約能資源共13件。
e化申請系統之建立,大幅減少用紙及文件往返時間。
   

教育訓練推動

 
所有員工均接受ISO-14001訓練課程。
內部網站開設環保設施訓練課程(E-Learning)。
公司內部藉由網路系統及張貼海報定期宣導。
 

廢棄物清理、減量、再利用績效

 
廢棄物減量、資源回收再利用情形
近三年生產每片晶圓之廢棄物產生量自98年7.7公斤/片減少至100年4.1公斤/片,其兩者間降低幅度更高達48%。
過去三年,本公司晶圓二廠產能已大幅度攀升,但單位產品之廢棄物產出量在全員努力控制之下未隨之上揚,而且廢棄物再利用率仍維持於95%以上。

 

設備、設施投資改善績效

 

投資設備
相關設備及設施操作效能之改善情形如下:

 
設備、設施名稱 投入金額 效益    
    環境效益
(kg CO2e/年)
經濟效益
(萬元/年)
能/資源節約
(KWH/年)
Dry機台由無熱式改為外熱式 344 684,457 226 1,076,190
廠區外圍路燈改用高效率光源 77 24,834 8 39,048
設置熱回收式空調箱 80 96,914 32 152,381
冰水系統運轉效率(COP)提昇 1012 1,792,914 592 2,819,048
總計 1443 2,599,120 858 4,086,667
   

設施操作管理及改善
本廠2009年相關操作管理改善項目及成果效益共計6大項,因主要為針對現有操作管理研擬更佳策略並強化管理等,故投入金額為零元,各項措施總能資源效益 為720,979 KWH/年、減少37 Kg/年 酸鹼廢液處理與排放、減少37 Kg/年 的NaOH(液鹼)與HCl(酸液)原物料使用、減少458,543 Kg CO2e/年 碳排放,總經濟效益為284 萬元/年。

 
項目 主要節能方案 效益
    投資金額
(TWD)
節省電能
(Kw-h/年)
抑抵Co2排放量
(Tons/年)
1 減少冰機系統耗電量 19,756 414,720 258
2 CDA Dryer Upgrade 節能改善案 6,800,000 3,425,508 2,134
3 無塵室照明節能改善 143,280 473,988 295
4 冷卻水塔節能改善 376,490 1,017,792 634
5 冰水系統節能改善工程 11,700,000 3,348,864 2,086
6 Dry Coil Pump 節能工程 3,860,000 1,178,220 734
7 Fab2C潔淨室結構體氣密改善 14,140 1,412,813 880
8 熱水鍋爐系統節能改善 12,616 136,217 362
9 低真空清潔系統電話啟動節能工程 168,932 107,160 67
10 冰水機出水溫設定非夏月由5度C調升至5.5度C節能改善 11,288 2,444,903 1,523
11 停用CDO CDA 空壓機及乾燥機改以大型CDA供應CDO Local Scrubber 13,280 1,252,680 780
12 即熱式高溫熱泵節能系統 4,180,000 46,630 780
179,057 476
13 設備機台N2 用量節能專案 180,608 - -
14 Fab-2C 增設PCW 加壓泵機組 節能執行中
Total 27,480,390 15,438,552 10,260
   

廢棄物清理及資源減量回收再利用研究發展之貢獻

 

廢離子交換樹脂,再生後可再供給工業用廠商使用。
EKC+NMP之廢溶劑郊遊廢棄物廠商作為輔助燃料使用。