台灣積體電路製造股份有限公司 王正維 先生

99年度科學工業園區優良環境保護專責人員

廢水處理專責人員

台灣積體電路製造股份有限公司 王正維 先生

現職

台灣積體電路製造股份有限公司 資深工程師

個人工作內容摘要

  • 降低廢水排放量,並提升可再利用率
  • 維護處理系統,確保其運轉穩定
  • 在維持排放水質合乎標準之條件下,降低運轉成本

公司簡介

台積電主要業務為專業積體電路製造服務,在生產過程中須使用製程設備、矽晶片、化學品、氣體及水電能源,其日常運作管制不僅要符合相關環保、安全與衛生法令規定,並以國際相關規範為標竿。在此前提下,台積電之環保、安全與衛生目標為「預防污染,提高資源使用效率,成為永續發展之企業;預防意外事故,促進員工安全衛生及保護公司資產,營造安全舒適的工作環境」。為達成上述目標,台積電承諾持續改善。

具體事蹟

  1. 參與EPM系統設立,進行污染防制設備正常操作與保養維護之電子化管理及紀錄。
2.擬定廢水系統各處理單元之緊急處理流程SOP。
3.確實依法規規定,定期完成廢水各項申報作業,並完成有關許可及水措計劃書申請。
4.執行系統各單元之改善及定期清理作業。
5.設置化學機械研磨廢水超過濾(SWR)回收單元~增加300 CMD廢水資源化量。
6.EBO(光罩製造)酸鹼廢水收集tank改善~利用內外槽及外槽液位alarm設計,避免排放污染廢水至雨排。
7.CMP廢水處理藥劑減量~利用污泥迴流功能,達到polymer耗量減少20%,亦兼顧處理水質之穩定性。
8.CMP處理廢水之懸浮固體預偵測系統設立~當水質異常時,降低偵測時間97%、增加廢水資源化水量達117 m3,且避免增加排放廢水之SS濃度。
9.HF處理廢水藥劑減量~利用修改系統設計,達到CaCl2減量23%。
10.廢化學品抽清管路飽壓測試功能~於抽清前確認管路狀態,避免洩漏造成環境污染。
11.雨水溝pH meter增設工程~提早得知異常污染來源,避免外排影響環境。
12.設置廚房廢水處理系統~改善廚房排放廢水油脂含量及懸浮固體量達99%。
13.設置SWR-2系統~增加冬季廢水回收利用率,增加300 CMD廢水資源化量。
14.廢光阻排放管路阻塞預防改善~避免管路阻塞時溢流,造成環境AMC污染。
15.分析儀器排放水回收至cooling tower使用~增加 7 CMD廢水資源化量。
16.DHF廢水回收系統增設EDR (Electro Dialysis Reversal) system~以倒極式電透析方式處理HF廢水,增加300 CMD廢水資源化量。
17.空壓機冷凝水回收至cooling tower使用~增加20 CMD廢水資源化量。
18.設置雨水回收系統~增加20 CMD廢水資源化量。
19.切換sink tank water至回收系統~增加200 CMD廢水資源化量中和系統偏鹼廢水迴流功能設計~利用偏鹼廢水迴流至預中和槽達到NaOH減量5%,並使得放流廢水pH值更加穩定。

其他特殊事蹟

  1. 連續10年未有環保違規紀錄。
  2. 無環保方面可能或將違規受處分之事項。
  3. 98年度全國模範優良環保專責人員。