聯華電子股份有限公司Fab8A廠 彭增熊 先生

99年度科學工業園區優良環境保護專責人員

空氣污染防治專責人員

聯華電子股份有限公司Fab8A廠 彭增熊 先生

現職

聯華電子股份有限公司Fab8A廠 主任工程師

個人工作內容摘要

  • 廠務空調系統運轉維護與管理
  • 空氣污染防治設備運轉維護與管理
  • 空氣污染防治專責人員業務執行

公司簡介

聯華電子公司為世界一流的晶圓專工公司、台灣第一家上市的半導體公司、也是台灣第一家晶圓製造服務公司,提供先進製程技術與晶圓製造服務,為IC產業各項主要應用產品生產晶片。
聯電致力成為綠色企業,積極推行綠色發展及資源永續利用的理念,並將綠色經營及永續發展的策略,融入企業願景中創造綠色企業的核心競爭力,如:建構綠色供應鏈、評估產品生命週期、實施綠色生產、節約能源、資源以及廢棄物減量等。同時,可利用環境會計系統,確認及量測與環境相關之成本,促進企業相關經營決策的規劃與檢討。
聯電相信環境保護是企業永續發展的基石,因此,本公司的環境管理目標不僅在於符合政府環保法令的要求,更在於積極與國際趨勢結合,遵守國際環保公約,善盡世界公民應有的環境責任,並與自然環境永續共存,進而成為地球村的環保模範生,朝向永續經營、綠色生產的願景,大步邁進。

具體事蹟

  1.增設污染防治設備VOCs濃縮轉輪+直燃式焚化爐三套
  (1)依據民國89年7月1日正式施行--[半導體製造業空氣污染管制及
排放標準],設立VOCs有機廢氣處理設備,有效提升去除效率,由活性碳吸附的 65%提升到沸石轉輪濃縮燃燒的 95%以上。
(2)全程參與現場擴建施工設計、監造及設備試車等工作,於擴建施工期間亦確保原有設備正常運轉。
(3)訂定各操作系統單元之標準書,再教育訓練予現場操作員,提昇團隊空污處理及設備維護能力。
(4)進行沸石轉輪吸附濃縮焚化系統效率提升:適度調整轉輪之轉速、脫附溫度及脫附風量等操作參數,達到最佳化運轉,定期清洗轉輪,與定期以更高之溫度進行轉輪再生。節省瓦斯能源每年達88,992 NM3以上。
  2.推動設置THC分析儀/煙囪流量計之連續監測系統
  配合硬體設施及現場管理,隨時掌握煙道排氣狀況及處理設備之處理效率,有效杜?空污排放異常事件發生。
相關績效詳以下說明:
(1)負責本廠THC分析儀/煙囪流量計之自動連續監測系統。
(2)設立空污設備運轉監控管理系統,有效掌握設備運轉狀況。
(3)實施每日設備現場巡查機制,監控空污防制設備運轉狀況,並紀錄設備運轉數據填報分析追蹤,確保設備穩定運轉。
  3.VOCs Abatement System 脫附風車運轉效率提升專案
  (1)於脫附風車處設置安裝變頻器,將脫附風門開度保持全開狀態,
藉由調整變頻器控制脫附風車之轉速,達到脫附風量穩定控制之
目的。
(2)精準調整變頻器,以穩定控制脫附風量,使供氣與瓦斯充分混合
(發揮最佳燃燒效率),達到脫附風車運轉最佳化,進而節省瓦斯
燃料之消耗。
(3)平均可節省電費: 36,525 kwh/年 ; 瓦斯:180,456 m3/年。
  4.VOCs Abatement System 排氣風管管路改善,提升系統切換穩定度,確保防制設備正常運轉
  5.執行特定機台C2F6改用C3F8作為製程清潔氣體
  (1)以C3F8取代C2F6 來降低 PFC 排放量,符合世界半導體協會所定之目標。
(2)完成 A、B-LINE C3F8主供應系統設置,以低溫室效應氣體作為替代原料,供製程轉換使用。
(3)94.10完成 A-line 15台 PECVD 機台 26 Chamber ; B-line 16台 PECVD 機台18 Chamber C2F6 轉換 C3F8。
(4)每年將可節省 NT 26,400,000元。PFC 減量排放平均 > 60%。
  6.建置8AB Central Scrubber Reclaim 系統
  (1)建置執行CMP 循環水回收供廢氣洗滌塔循環水使用。
(2)CMP 循環水回收產水儲槽後,增加動力輸送管線沿管溝至S'棟管道間至頂樓,設置10T回收Buffer Tank,供Central Scrubber 使用。
(3)回收水PH約9.0左右,提供酸性排氣Central Scrubber 使用,不需加NaOH。
(4)可減少自來水費用:處理量 400CMD,回收率 85%計算。每年可節省自來水及污水費用NT 3,216,000元。
  7.VOCs燃燒式處理系統排放廢熱再利用,提昇處理系統燃燒機燃燒空氣熱量
  (1)設置第三段熱交換器,將排放出口廢熱回收,加熱升溫燃燒空氣溫度,節省瓦斯耗量。
(2)提升燃燒空氣熱量65℃,回收熱量106,826 kcal/hr,節省瓦斯燃料103,680 NM3/年。
(3)年節省瓦斯費用NT 1,417,902元。
  8.污染防制處理設施之管理、維護,並監督實施保養、維護、測試
  9.固定空氣污染源許可申請資料審查及試車檢測計劃執行(92.03~)
  10.固定污染源排放管道年度定期檢測執行 (92.03~)
  11.提供半導體製造業揮發性有機物及無機酸污染防制紀錄季申報相關資料 (92.03~)
  12.執行污染防制設備停用及啟用備用系統管理措施 (92.03~)
  13.規劃現場操作人員定期受訓及加強同仁面對事件發生時之應變能力
  (1)訂定作業標準及緊急應變計畫。(SOP: 00B-HCR-001、00B-BC1-003、00B-BA7-001)
(2)本組針對同仁實務操作以及面對事件發生時之應變能力部分,定期安排課程訓練。
  14.執行空氣污染物排放狀況之採樣設施檢查及維護保養作業
  15.規劃並推動環境管理系統及工業減廢
  (1)環境管理系統:
擔任廠務部門之環安衛管理系統推行幹事,負責工作包含擬定年度管理方案(如下所列)、配合安環部定期review進度、參與內部稽核計畫等。負責推動環境管理方案:如規劃增設洗滌塔藥劑防溢堤計劃。完成空污相關環境管理系統review,配合廠區進行每年EMS & OHSAS稽核及三年換証覆核。
(2)擔任廠區綠色生產,廠區Exhaust減量專案成員,負責推動Exhaust減量等事項。
  16.擔任Fab8A廠空氣污染防制專責人員,主導參與全廠空污設備改善規劃及試車,有效提高空污處理效率,大幅減少污染物排放及藥劑用量。並負責全廠空氣污染防治設備運轉、保養及維修,皆盡心努力保持運轉良好
  17.本廠建廠至今,有關空污管理方面沒有任何環保罰單紀錄

其他特殊事蹟

  以「提升排氣系統穩定度」為題,榮獲公司2002年QIT活動競賽-佳作獎,並將相關的技術及知識發表於「2004年園區廠務技術研討會」,與同業進行技術交流及知識分享 。