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課程類別:關鍵專業技術人才培訓計畫-半導體

課程名稱 課程介紹 收費方式
【竹科管理局補助課程】半導體製程實作(實作)

**報名已截止**
1.半導體製程概論
2.NMOS製程流程解說(NMOS Process Introduction)
3.標準清洗 (Wafer Clean)
4.Field Oxide氧化製程(High Temperature Oxidation-Field Oxide)
5.Nanospec、橢圓儀厚度量測
6.黃光製程,第一道光罩 (Photo-Lithography MASK I)
7.BOE濕蝕刻(Wet Etching)
8.高溫磷擴散(Phosphorous Diffusion)
9.四點探針(4 point Probe)
10.氧化矽蝕刻 (Oxide Etching)
11.Gate Oxide 氧化製程(High Temperature Oxidation-Gate Oxide)
12.黃光製程,第二道光罩 (Photo- Lithography MASK II)
13.BOE濕蝕刻(Wet Etching)
14.濺鍍鋁金屬膜 (Sputter Al Deposition)
15.表面輪廓儀量測
16.黃光製程,第三道光罩(Photo- Lithography MASK III)
17.濕式鋁蝕刻 (Al Etching)
18.反應離子蝕刻去光阻(RIE PR Stripper)
收費

* 報名截止日:
2021/08/27

* 開課日期:
2021/08/31~2021/09/28
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